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一种激光束检查仪，适于检查诸如安装在一基底上的诸ＩＣ的电子元件。检查仪包括一扫描机构。该扫描机构的作用是移动激光发射器发射的激光束，以在一给定扫描范围中扫描电子元件的一对象目标物。扫描机构被设计成可以根据对象电子元件的类型（例如尺寸）改变激...
该专利属于松下电器产业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过松下电器产业株式会社授权不得商用。

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