激光气体分析仪制造技术

一种激光气体分析仪，包括：波长可变激光器，其具有宽波长可变宽度；分光模块，其构造为将所述波长可变激光器的输出分光为测量光和参考光；第一气室，在其中引入待测量的气体，并且使所述测量光入射到其上；以及数据处理器，其构造为基于与所述参考光相关的参考信号和与所述第一气室的输出光相关的吸收信号来获得待测量的气体中每一种气体的吸收光谱，并且构造为获得待测量的各种气体的浓度。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种激光气体分析仪，其以来自光源的光照射各待测量的气体并根据各待测量的气体的吸收光谱获得各待测量的气体的浓度，其中，所述光源是MEMS垂直腔表面发射激光器。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：平田隆昭，光本康彦，大山将也，蒲原敦彦，藤村直之，前田稔，杉山直，艾伦·考伊，朱捷，
申请(专利权)人：横河电机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP