缺陷检查装置及其方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及缺陷检查装置及其方法，缺陷检查装置包括第一光学系统，第二光学系统及运算装置。第一光学系统设有将光同轴反射照射在被检查物表面上的第一光源（６）和受取来自被检查物的正反射光将其变换成第一电信号的第一摄像手段（１０）；第二光学系统设有使光斜射在被检查物上的第二光源（１１）和受取来自被检查物的散射光将其变换成第二电信号的第二摄像手段（１３）；运算装置（１４）将第一电信号与预先设定的第一阈值比较，检出被检查物表面凹凸状缺陷，将第二电信号与预先设定的第二阈值比较，检出被检查物的色浓淡不匀状缺陷。能高效地检查凹凸状缺陷和浓淡不匀状缺陷，减少因过剩检查而引起的损失。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及，更详细地说，涉及用于检查复印机、打印机、传真机等中使用的电子照相用感光体表面的。
技术介绍
复印机、打印机、传真机等中使用的电子照相用感光体在制造工序中其表面有时会有损伤、异物、涂布不匀等缺陷发生，作为这类缺陷的检查方法一般由检验员进行目视检查。但是，在目视检查中因检验员的个人差别会发生偏差等，因此，提出了各种自动检查方法及检查装置以代替上述目视检验。例如，作为先有技术可以列举特开平9-325120号公报(以下简记为“先有技术例1”)中公开的检查装置，从一光源将光照射在电子照相用感光体上，用一摄像机接收来自电子照相用感光体的反射光，根据其输出的电信号检查针孔、伤痕、涂膜损伤、垃圾等电子照相用感光体表面的表面凹凸变化率大的凹凸状缺陷，以及感光层的涂膜不匀等的表面凹凸变化率小的浓淡不匀状缺陷。另外，在特开平7-128240号公报(以下简记为“先有技术例2”)及特开平7-128241号公报(以下简记为“先有技术例3”)中，公开了下述检查装置相对一光源设置若干CCD摄像机，或相对一台CCD摄像机设置若干台光源，分若干次对凹凸状缺陷和浓淡不匀状缺陷进行摄影。但是，若按照上述先有技术例1，由于凹凸状缺陷和浓淡不匀状缺陷的是否合格的判定基准不同，在不区别两种缺陷进行摄影的光学系统中，只能按照判定基准严的缺陷进行合格与否的判定，这样，本来应是合格品的可能作为不合格品废弃，或者通过检验员对缺陷检查装置判定的不合格品再次进行检查。另外，虽然由于结构简单，具有光学系统调整容易的优点，但是，若希望提高凹凸状缺陷、浓淡不匀状缺陷中某一方的摄影灵敏度，存在另一方的摄影灵敏度低下的问题。若按照上述先有技术例2和3，虽然通过使用若干台光源或若干台CCD摄像机能提高凹凸状缺陷和浓淡不匀状缺陷两方的摄影灵敏度，但是，由于分若干次进行摄影，存在检查时间长的问题。且相对一台光源或CCD摄像机设置若干CCD摄像机或光源，存在调整作业烦杂的问题。
技术实现思路
本专利技术就是为解决上述先有技术所存在的问题而提出来的，本专利技术的目的在于，提供一种，其通过各光学系统对表面凹凸变化率大的缺陷以及表面凹凸变化率小的缺陷进行摄影，能高效地检查凹凸状缺陷和浓淡不匀状缺陷，降低过剩检查所引起的损失。为了实现上述目的，本专利技术提出一种缺陷检查装置，其特征在于，包括第一光学系统，设有将光同轴反射照射在被检查物表面上的第一光源以及受取来自被检查物的正反射光再将其变换成第一电信号的第一摄像手段；第二光学系统，设有使光斜射照在被检查物上的第二光源以及受取来自被检查物的散射光再将其变换成第二电信号的第二摄像手段；运算装置，将来自第一摄像手段的第一电信号与预先设定的第一阈值进行此较，检出被检查物表面凹凸状缺陷，将来自第二摄像手段的第二电信号与预先设定的第二阈值进行比较，检出被检查物的色浓淡不匀状缺陷。因此，通过各自的光学系统检出被检查物的凹凸状缺陷、色浓淡不匀状缺陷，能用适合各缺陷种类的合格与否判定算法进行判定，能正确地判定是否合格。根据本专利技术的缺陷检查装置，其特征还在于，运算处理使用上述第一光学系统所得到的图象，算出缺陷位置存储，运算处理使用上述第二光学系统所得到的图象，算出缺陷位置存储，将存储在存储手段中的上述两方的位置信息进行比较，位置信息一致场合，将第一电信号与预先设定的和上述第一阈值不同的第三阈值进行比较，检出被检查物表面凹凸状缺陷，将第二电信号与预先设定的和上述第二阈值不同的第四阈值进行比较，检出被检查物的色浓淡不匀状缺陷。因此，能判定是凹凸状缺陷，还是色浓淡不匀状缺陷，根据判定结果，使用各专用的合格与否判定算法进行判定，能正确地判定缺陷。根据本专利技术的缺陷检查装置，其特征还在于，使得使用上述第一光学系统所得到的图象位置与使用上述第二光学系统所得到的图象位置一致。因此，能正确计算缺陷位置，更正确地判定缺陷种类。根据本专利技术的缺陷检查装置，其特征还在于，上述第二摄像手段设定在不受取正反射光的位置。因此，能防止第二摄像手段检出凹凸状缺陷，更正确地判定缺陷种类。根据本专利技术的缺陷检查装置，其特征还在于，在上述第二光源与被检查物之间的光通道上设置扩散板。因此，能使光均一地照射在被检查物上，更正确地判定色浓淡不匀状缺陷的浓度变化。根据本专利技术的缺陷检查装置，其特征还在于，在上述第二光源与被检查物之间的光通道上设置颜色滤光片。因此，能以高对比度摄得色浓淡不匀状缺陷，容易从所摄图象提取缺陷。根据本专利技术的缺陷检查装置，其特征还在于，上述颜色滤光片使用与被检查物同类色的颜色滤光片。因此，容易提取正常部分与缺陷部分色调不同那种色浓淡不匀状缺陷。根据本专利技术的缺陷检查装置，其特征还在于，使用远心透镜作为将来自被检查物的正反射光集光到上述第一摄像手段上的受光透镜。因此，即使由于被检查物摇晃等引起被检查物与受光透镜之间距离变化也能使摄得的缺陷大小为一定，能正确地判定凹凸缺陷大小。为了实现上述目的，本专利技术提出一种缺陷检查方法，其特征在于，从第一光源经同轴反射将光照射在被检查物表面上，在第一受光手段受取来自被检查物表面的正反射光，将其变换成电信号，存储在存储手段中，与此同时，从第二光源以偏离被检查物表面法线方向所定角度的倾斜方向将光照射在被检查物表面上，在第二受光手段受取来自被检查物表面的散射光，将其变换成电信号，存储在存储手段中，将来自第一受光手段的电信号与第一阈值进行比较，检出被检查物表面凹凸状缺陷，将来自第二受光手段的电信号与第二阈值进行比较，检出被检查物的色浓淡不匀状缺陷。因此，能高效地检查凹凸状缺陷和浓淡不匀状缺陷，减少因过剩检查而引起的损失。根据本专利技术的缺陷检查方法，其特征还在于，运算处理使用上述第一光学系统所得到的图象，算出缺陷位置存储，运算处理使用上述第二光学系统所得到的图象，算出缺陷位置存储，将存储的上述两方的位置信息进行比较，位置信息一致场合，将第一电信号与预先设定的和上述第一阈值不同的第三阈值进行比较，检出被检查物表面凹凸状缺陷，将第二电信号与预先设定的和上述第二阈值不同的第四阈值进行比较，检出被检查物的色浓淡不匀状缺陷。因此，能判定是凹凸状缺陷，还是色浓淡不匀状缺陷，根据判定结果，使用各专用的合格与否判定算法进行判定，能正确地判定缺陷。下面说明本专利技术的效果。按照本专利技术的缺陷检查装置，包括第一光学系统，设有将光同轴反射照射在被检查物表面上的第一光源以及受取来自被检查物的正反射光再将其变换成第一电信号的第一摄像手段；第二光学系统，设有使光斜射照在被检查物上的第二光源以及受取来自被检查物的散射光再将其变换成第二电信号的第二摄像手段；运算装置，将来自第一摄像手段的第一电信号与预先设定的第一阈值进行此较，检出被检查物表面凹凸状缺陷，将来自第二摄像手段的第二电信号与预先设定的第二阈值进行比较，检出被检查物的色浓淡不匀状缺陷。因此，通过各自的光学系统检出被检查物的凹凸状缺陷，色浓淡不匀状缺陷，能用适合各缺陷种类的合格与否判定算法进行判定，能正确地判定是否合格。按照本专利技术的缺陷检查装置，运算处理使用上述第一光学系统所得到的图象，算出缺陷位置存储，运算处理使用上述第二光学系统所得到的图象，算出缺陷位置存储，将存储在存储手段中的上述两方的位置信息进行比较，位置信息一致场合，将第本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种缺陷检查装置，其特征在于，包括： 第一光学系统，设有将光同轴反射照射在被检查物表面上的第一光源以及受取来自被检查物的正反射光再将其变换成第一电信号的第一摄像手段； 第二光学系统，设有使光斜射照在被检查物上的第二光源以及受取来自被检查物的散射光再将其变换成第二电信号的第二摄像手段； 运算装置，将来自第一摄像手段的第一电信号与预先设定的第一阈值进行比较，检出被检查物表面凹凸状缺陷，将来自第二摄像手段的第二电信号与预先设定的第二阈值进行比较，检出被检查物的色浓淡不匀状缺陷。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：石浦资昭，宫崎邦彦，一藤克己，
申请(专利权)人：株式会社理光，
类型：发明
国别省市：JP[日本]