一种可调节大小的硅片夹具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种可调节大小的硅片夹具，包括安装板、夹紧模块、驱动模块，夹紧模块、驱动模块安装于安装板上。夹紧模块包括线性滑轨、滑块连接板、靠板安装板、靠板，驱动模块包括驱动气缸、旋转板、连杆一、连杆二，滑轨固定于安装板上，驱动气缸通过旋转板驱动连接于连杆一、连杆二上的滑块连接板滑动，从而使设置于滑块连接板上的靠板安装板与靠板对硅片进行夹紧或松开，本实用新型专利技术的可调节大小的硅片夹具硅片夹取效率高，人员依赖性低，具有夹取的硅片完整性好，速度快的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种可调节大小的硅片夹具
本技术涉硅片装盒设备，具体涉及一种可调节大小的硅片夹具。
技术介绍
在由于硅片属于易碎品，在运输途中为了避免损坏，所以采用泡沫盒将硅片装起来，每盒硅片之间用泡棉隔起来，最外层再各放一片瓦楞纸板，这样硅片在泡沫盒里面相对是静止的，在运送途中有泡棉的缓冲保护避免了碰撞损坏，由于这种“夹心”形式的装盒方式比较繁琐，目前传统的装盒还是采用人工方式装盒，装盒过程中，夹取、运输效率不高，人员依赖性高，增加装盒成本。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题在于，针对上述问题，提供一种可调节大小的硅片夹具。本技术通过以下技术方案来实现上述目的：一种可调节大小的硅片夹具，其中：包括安装板、夹紧模块、驱动模块，夹紧模块、驱动模块分别安装于安装板的两个面上，且驱动模块驱动连接夹紧模块；夹紧模块包括线性滑轨、滑块连接板、靠板安装板、靠板，线性滑轨固定于安装板的两端，每条线性滑轨上滑动设置设有一块滑块连接板，靠板安装板卡接在滑块连接板上，靠板固定于靠板安装板上；驱动模块包括驱动气缸、旋转板、连杆一、连杆二，驱动气缸固定于安装板，旋转板转动安装于安装板上，旋转板的一端连接驱动气缸、连杆一，连杆一的另一端连接一块滑块连接板的底面，旋转板的另一端连接连杆二，连杆二连接另一块滑块连接板的底面；滑块连接板上设有多对定位销，靠板安装板上开设有与定位销位置相对应的定位孔，定位销卡接于定位孔内。作为本技术的进一步优化方案，安装板的一侧开设有通孔，连杆二穿过通孔与连接板相连接。r>作为本技术的进一步优化方案，安装板上设有硅片放置板，硅片放置板位于两块靠板安装板之间。作为本技术的进一步优化方案，靠板安装板呈V形结构，两块靠板安装于靠板安装板的两端。作为本技术的进一步优化方案，每条线性滑轨上设有两个止顶销，止顶销设置于线性滑轨的两端。本技术的有益效果是：通过设置定位销与定位孔，实现了夹取硅片大小的调节。通过设置止顶销，实现了对两端滑块连接块的滑动位置的限定，保证靠板在夹紧的过程中不会损坏硅片。通过设置旋转板与连杆一、连杆二，实现靠板安装板之间的同步开合。附图说明图1是本技术硅片装盒机构结构示意图；图2是本技术硅片装盒机构俯视图；图3是本技术硅片装盒机构仰视图；1-安装板、2-夹紧模块、3-驱动模块、4-硅片放置板、5-止顶销、21-线性滑轨、22-滑块连接板、23-靠板安装板、24-靠板、31-驱动气缸、32-旋转板、33-连杆一、34-连杆二、221-定位销、231-定位孔。具体实施方式下面结合附图对本申请作进一步详细描述，有必要在此指出的是，以下具体实施方式只用于对本申请进行进一步的说明，不能理解为对本申请保护范围的限制，该领域的技术人员可以根据上述申请内容对本申请作出一些非本质的改进和调整。实施例1如图1所示的一种可调节大小的硅片夹具，包括安装板1、夹紧模块2、驱动模块3，夹紧模块2、驱动模块3分别安装于安装板1的两个相对面上，且驱动模块3驱动夹紧模块2开合。如图2所示，夹紧模块2包括两条线性滑轨21、两块滑块连接板22、两块靠板安装板23、四块靠板24，两条线性滑轨21固定于安装板1的两端，每条线性滑轨21上滑动设置设有一块滑块连接板22，靠板安装板23卡接在滑块连接板22上，每块靠板安装板23固定两块靠板24，靠板24起到对硅片夹紧的作用。如图3所示，驱动模块3包括驱动气缸31、旋转板32、连杆一33、连杆二34，驱动气缸31固定于安装板1，旋转板32转动安装于安装板1上，旋转板32的一端连接驱动气缸31、连杆一33，连杆一33的另一端连接一块滑块连接板22的底面，旋转板32的另一端连接连杆二34，连杆二34连接另一块滑块连接板22的底面。通过驱动气缸31伸缩，带动旋转板32转动，旋转板32转动带动连杆一33、连杆二34伸缩，从而拉动与之连接的滑块连接板22滑动。滑块连接板22上设有多对定位销221，靠板安装板23上开设有与定位销221位置相对应的定位孔231，定位销221卡接于定位孔231内，当所需夹取的硅片大小发生变化时，靠板安装板23从定位销221上取下，卡接到另外的定位销221上，实现两块靠板安装板23间距的调整，从而满足不同尺寸硅片的夹取。工作时，驱动气缸31伸缩，从而驱动旋转板32发生转动，旋转板32转动驱动连杆一33、连杆二34使滑块连接板22发生滑动，从而使靠板安装板23与靠板24对硅片进行夹紧或松开。实施例2如实施例1所示的一种可调节大小的硅片夹具，其区别仅在于，安装板1的一侧开设有通孔11，连杆二34穿过通孔11与连接板22相连接。通过开设通孔11，实现了连接杆二34与滑块连接板22的连接，从而由驱动气缸31带动滑板连接板22开合夹紧。实施例3如实施例1所示的一种可调节大小的硅片夹具，其区别仅在于，安装板1上设有硅片放置板4，硅片放置板4位于两块靠板安装板23之间。通过设置硅片放置板4，可保证硅片在放置过程中不会被轻易损坏，保证硅片的完整性。实施例3如实施例1所示的一种可调节大小的硅片夹具，其区别仅在于，靠板安装板23呈V形结构，两块靠板24安装于靠板安装板23的两端。由于硅片呈矩形结构，在夹取过程中防止出现破损，因此可将靠板安装设置成V形结构，且在靠板安装板23的两端设置靠板24，使两个靠板安装板23在闭合中形成刚好夹紧硅片的矩形结构，在夹紧硅片的同时，保护了硅片的完整性。实施例4如实施例1所示的一种可调节大小的硅片夹具，其区别仅在于，每条线性滑轨21上设有两个止顶销5，止顶销5设置于线性滑轨21的两端。通过在每条线性滑轨21的两端设置止顶销5，保证在靠板24夹取过程中不会损坏硅片，起到了限定滑块连接板22滑动位置的作用。上面所述的实施例仅仅是对本技术的优选实施方式进行描述，并非对本技术的构思和范围进行限定。在不脱离本技术设计构思的前提下，本领域普通人员对本技术的技术方案做出的各种变型和改进，均应落入到本技术的保护范围，本技术请求保护的
技术实现思路
，已经全部记载在权利要求书中。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可调节大小的硅片夹具，其特征在于：包括安装板(1)、夹紧模块(2)、驱动模块(3)，夹紧模块(2)、驱动模块(3)分别安装于安装板(1)的两个面上，且驱动模块(3)驱动连接夹紧模块(2)；/n夹紧模块(2)包括线性滑轨(21)、滑块连接板(22)、靠板安装板(23)、靠板(24)，线性滑轨(21)固定于安装板(1)的两端，每条线性滑轨(21)上滑动设置设有一块滑块连接板(22)，靠板安装板(23)卡接在滑块连接板(22)上，靠板(24)固定于靠板安装板(23)上；/n驱动模块(3)包括驱动气缸(31)、旋转板(32)、连杆一(33)、连杆二(34)，驱动气缸(31)固定于安装板(1)，旋转板(32)转动安装于安装板(1)上，旋转板(32)的一端连接驱动气缸(31)、连杆一(33)，连杆一(33)的另一端连接一块滑块连接板(22)的底面，旋转板(32)的另一端连接连杆二(34)，连杆二(34)连接另一块滑块连接板(22)的底面；/n滑块连接板(22)上设有多对定位销(221)，靠板安装板(23)上开设有与定位销(221)位置相对应的定位孔(231)，定位销(221)卡接于定位孔(231)内。/n...

【技术特征摘要】
1.一种可调节大小的硅片夹具，其特征在于：包括安装板(1)、夹紧模块(2)、驱动模块(3)，夹紧模块(2)、驱动模块(3)分别安装于安装板(1)的两个面上，且驱动模块(3)驱动连接夹紧模块(2)；
夹紧模块(2)包括线性滑轨(21)、滑块连接板(22)、靠板安装板(23)、靠板(24)，线性滑轨(21)固定于安装板(1)的两端，每条线性滑轨(21)上滑动设置设有一块滑块连接板(22)，靠板安装板(23)卡接在滑块连接板(22)上，靠板(24)固定于靠板安装板(23)上；
驱动模块(3)包括驱动气缸(31)、旋转板(32)、连杆一(33)、连杆二(34)，驱动气缸(31)固定于安装板(1)，旋转板(32)转动安装于安装板(1)上，旋转板(32)的一端连接驱动气缸(31)、连杆一(33)，连杆一(33)的另一端连接一块滑块连接板(22)的底面，旋转板(32)的另一端连接连杆二(34)，连杆二(34)连接另一块滑块连接板(2...

【专利技术属性】
技术研发人员：叶欣，胡普查，张广犬，孙培文，王俊，王亚伟，黄游，谢可馨，
申请(专利权)人：杭州中为光电技术有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33