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本实用新型公开了一种可调节大小的硅片夹具，包括安装板、夹紧模块、驱动模块，夹紧模块、驱动模块安装于安装板上。夹紧模块包括线性滑轨、滑块连接板、靠板安装板、靠板，驱动模块包括驱动气缸、旋转板、连杆一、连杆二，滑轨固定于安装板上，驱动气缸通过旋...
该专利属于杭州中为光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州中为光电技术有限公司授权不得商用。

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