【技术实现步骤摘要】
一种上下料传送结构
本技术涉及上/下料
,尤其涉及用于一种半导体材料或光伏材料加工的上/下料传送结构。
技术介绍
半导体或光伏材料广泛应用于电子、新能源等行业,半导体和光伏材料通常都需要经过加工处理才能够应用到产品上,CVD技术、扩散工艺或氧化工艺是其中的一种处理方式,其中CVD即化学气相沉积,CVD技术目前已经广泛用于半导体或光伏材料加工,常见的加工设备有PECVD、LPCVD、APCVD等,除了CVD之外还有扩散工艺包括磷扩散、硼扩散等,它们中有许多加工工艺需要在高温条件下进行,比如材料的镀膜、扩散、氧化、LPCVD等管式炉上下料,例如超薄硅片,它需要在低压高温氛围下实现化学反应和沉积成膜,对于超薄硅片这一类的片状材料镀膜,一般是通过气体的化学反应,使产物沉降在基片表面,并通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜,现实生产中,一般只需要对片状材料加工较好的一面进行镀膜,因此在进炉烧结前,需要将两片片状原料不烧结面进行背对背的组合。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种上下料传送结构,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的一种上下料传送结构,包括上料通道、下料通道和升降机构,上料通道包括内含至少一对传送带的第一传送带装置,下料通道包括内含至少一对传送带的第二传送带装置,第一传送带装置与第二传送带装置跨层布置,第一传送带装置内的传送带数量与第二传送带装置内的传送带数量相同,且第一传送带装置和第二传送带装置内的传送带皆平行布置,第一传送带装置内相邻的两个传送 ...
【技术保护点】
1.一种上下料传送结构,其特征在于,包括上料通道、下料通道和升降机构,上料通道包括内含至少一对传送带的第一传送带装置,下料通道包括内含至少一对传送带的第二传送带装置,第一传送带装置与第二传送带装置跨层布置,升降机构能够用于对接第一传送带装置和第二传送带装置。/n
【技术特征摘要】
1.一种上下料传送结构,其特征在于,包括上料通道、下料通道和升降机构,上料通道包括内含至少一对传送带的第一传送带装置,下料通道包括内含至少一对传送带的第二传送带装置,第一传送带装置与第二传送带装置跨层布置,升降机构能够用于对接第一传送带装置和第二传送带装置。
2.根据权利要求1所述的一种上下料传送结构,其特征在于,上料通道包括上料工位、取放片工位,上料工位为人工摆放花篮的区域,花篮内装有片状原料,取放片工位为装置配套的机械手装置取、放片状原料的区域。
3.根据权利要求2所述的一种上下料传送结构,其特征在于,花篮包括至少两块固定板、限位杆、支撑杆,固定板之间通过限位杆进行连接,限位杆上间隔、密布设有与片状原料边缘形状相匹配的卡槽,花篮上还设有支撑杆,支撑杆与限位杆共同承载花篮。
4.根据权利要求1所述的一种上下料传送结构,其特征在于,第一传送带装置内的传送带和第二传送带装置内的传送带相对应。
5.根据权利要求1所述的一种上下料传送结构,其特征在于,第一传送带装置设于第一固定台上,第二传送带装置设于第二固定台上,第一固定台与第二固定台之间设有支撑柱。
6.根据权利要求1所述的一种上下料传送结构,其特征在于,第一传送带装置内的传送带运动方向相同,第二传送带装置内的传送带运动方向相同,第一传送带装置内的传送带与第二传送带装置内的传送带运动方向相反。
7.根据权利要求1所述的一种上下料传送结构,其特征在于,升降机构包括底座,底座上设有升降台,升降台上设有辅助传送带装置。
8.根据权利要求7所述的一种上下料传送结构,其特征在于,辅助传送带装置内的传送带与第一传送带装置内的传送带相对应,辅助传送带装置能够用于与第一传送带装置/第二传送带装置的对接,辅助传送带装置内的传送带同向运动。
9.根据权利要求6所述的一种上下料传送结构,其特征在于,升降台能够控制辅助传送带装置与第一传送带装置、第二传送带装置的高度相匹配,通过控制升降台高度能够实现辅助传送带装置分别与第一传送带装置、第二传送带装置的对接。
10.根据权利要求1或2所述的一种上下料传送结构,其特征在于,第一传送带装置内的传送带数量和第二传送带装置内的传送带数量相同,且第一传送带装置和第二传送带装置内的传送带平行布置,第一传送带装置内相邻的两个传送带之间的间距应等于第二传送带装置内对应传送带之间的间距,第一传送带装置包括第一传送带和第二传送带,第二传送带装置包括第三传送带和第四传送带,第一传送带、第二传送带、第三传送带、第四传送带选用相同的传送带,第一传送带和第二传送带上摆放的花篮方向相反,第一传送带上花篮内片状原料的朝向与第二传送带上花篮内片状原料的朝向相反,第三传送带和第四传送带位于第一传送带和第二传送带的正下方,升降机构包括底座,底座上设有升降台,升降台上设有辅助传送带装置,辅助传送带装置包括第五传送带和第六传送带,第五传送带和第六传送带的运动方向始终相同,花篮包括两块相互平行的花篮固定板、四根限位杆,两根支撑杆,花篮固定板之间通过四根对称布置的限位杆进行连接,限位杆上间隔、密布设有与片状原料边缘形状相匹配的卡槽,花篮固定板底部位置上对称设有两根支撑杆,第一传送带和第二传送带固定于第一固定台,第三传送带和第四...
【专利技术属性】
技术研发人员:林佳继,庞爱锁,刘群,林依婷,
申请(专利权)人:深圳市拉普拉斯能源技术有限公司,
类型:新型
国别省市:广东;44
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