晶圆支撑装置制造方法及图纸

本申请涉及一种晶圆支撑装置，包括：晶圆支撑轮组，其包括相对设置的第一晶圆支撑轮组和第二晶圆支撑轮组，以通过第一晶圆支撑轮组的滚轮与第二晶圆支撑轮组的滚轮支撑晶圆；和对心支架，其包括相对设置的第一对心支架和第二对心支架，以在第一晶圆支撑轮组的滚轮和第二晶圆支撑轮组的滚轮未支撑所述晶圆时支撑所述晶圆，从而确保所述晶圆始终得到支撑并被保持在期望的位置。本申请能够确保在晶圆处理过程中的任何时候均有支撑结构对晶圆起到支撑作用并将晶圆保持在期望的位置，从而有效避免由于滚轮粘附晶圆引起的跌落和交互失败，提高晶圆处理操作的可靠性和稳定性。

【技术实现步骤摘要】
晶圆支撑装置
本申请涉及一种晶圆支撑装置，其包括晶圆支撑轮组和对心支架，以确保晶圆在超精密加工作业中得到支撑并被保持在期望的位置。
技术介绍
在诸如研磨刷洗、抛光刷洗等引入外界化学介质的晶圆的超精密加工的后处理作业中，晶圆的夹持和驱动由两对相对设置的精密滚轮提供。在对晶圆夹持和释放的过程中，可能会存在滚轮将晶圆粘附带偏的风险，并最终会导致晶圆掉落，同时也会导致与机械手与晶圆之间的交互失稳甚至于失败。此外，用于卡合晶圆并带动晶圆水平旋转的滚轮具有形成为截锥状(圆台状)的上半部分和下半部分，并且晶圆从滚轮组件夹持中松脱同时机械手接托住晶圆的过程中，机械手向上移动晶圆与滚轮的上半部分干涉的事故风险，希望的是，晶圆在上方不存在任何阻碍的情况下，并且恰好在预先设定好的位置处，被机械手向上托移至其他位置。
技术实现思路
鉴于以上问题，本申请的目的之一在于提供一种晶圆支撑装置，其至少能够在一定程度上解决现有技术中的上述问题中的一部分或全部。根据本申请的一个方面，提供了一种一种晶圆支撑装置，其包括：晶圆支撑轮组，其包括相对设置的第一晶圆支撑轮组和第二晶圆支撑轮组，以通过第一晶圆支撑轮组的滚轮与第二晶圆支撑轮组的滚轮支撑晶圆；和对心支架，其包括相对设置的第一对心支架和第二对心支架，以在第一晶圆支撑轮组的滚轮和第二晶圆支撑轮组的滚轮未支撑所述晶圆时支撑所述晶圆，从而确保所述晶圆始终得到支撑并被保持在期望的位置。根据本申请的该方面，通过同时设置晶圆支撑轮组和对心支架，能够确保在晶圆处理过程中的任何时候均有支撑结构对晶圆起到支撑作用并将晶圆保持在期望的位置，从而有效避免由于滚轮粘附晶圆引起的跌落和交互失败，提高晶圆处理操作的可靠性和稳定性。优选地，所述第一晶圆支撑轮组包括安装在第一底座上的第一对滚轮，所述第二晶圆支撑轮组包括安装在第二底座上的第二对滚轮，所述第一底座和所述第二底座沿水平方向相对设置；所述第一对心支架设置在所述第一对滚轮之间并通过第一安装臂与位于相对侧的所述第二底座相连以与所述第二底座形成联动，所述第二对心支架设置在所述第二对滚轮之间并通过第二安装臂与位于相对侧的所述第一底座相连以与所述第一底座形成联动；所述第一底座和所述第二底座设置成能沿水平方向相向移动，以使所述第一对滚轮与所述第二对滚轮相互靠近，同时使所述第一对心支架与所述第二对心支架相互远离，从而使所述第一对滚轮与所述第二对滚轮夹持所述晶圆，同时使所述第一对心支架与所述第二对心支架解除对所述晶圆的支撑；并且所述第一底座和所述第二底座设置成能沿水平方向背向移动，以使所述第一对滚轮与所述第二对滚轮相互远离，同时使所述第一对心支架与所述第二对心支架相互靠近，从而使所述第一对滚轮与所述第二对滚轮解除对所述晶圆的夹持，同时使所述第一对心支架与所述第二对心支架对所述晶圆形成支撑，以将所述晶圆保持在期望的位置。优选地，所述第一安装臂和所述第二安装臂构造成榫卯式结构，或者构造成左右错位或上下错位，以便在空间上相互交错没有干涉。优选地，所述第一对心支架和第二对心支架各自包括一对卡爪，每个卡爪包括卡爪支撑面，所述卡爪支撑面设置在所述卡爪的靠近晶圆一侧的端部上，以便通过所述卡爪支撑面对所述晶圆形成支撑。优选地，所述卡爪进一步包括卡爪凸台，所述卡爪凸台设置在所述卡爪支撑面的远离晶圆一侧的末端上并且包括面向晶圆一侧的端面，以通过所述端面限制所述晶圆沿水平方向的位移，从而将所述晶圆保持在稳定的位置。优选地，所述卡爪支撑面设置为斜坡形态，使得所述卡爪支撑面与水平方向之间存在锐角夹角。优选地，所述滚轮包括滚轮轴肩支撑面，其在所述卡爪支撑面未对所述晶圆形成支撑时支撑所述晶圆，所述滚轮轴肩支撑面设置为斜坡形态，使得所述滚轮轴肩支撑面与水平方向之间的锐角夹角小于所述卡爪支撑面与水平方向之间的锐角夹角。优选地，所述卡爪构造成在起点位置与终点位置之间来回平移，在所述起点位置时所述卡爪凸台距晶圆边缘最远，在所述终点位置时所述卡爪凸台距晶圆边缘最近，并且在所述终点位置时所述卡爪凸台与晶圆边缘之间沿平移方向的距离为0到2S，其中S为大于零的预定值。优选地，所述滚轮轴肩支撑面构造成使得其沿水平方向的长度La＞(L+S)cosθ1，其中L为所述卡爪从其起点位置平移到终点位置时的平移距离，θ1为所述晶圆与所述滚轮接触时的接触点到晶圆中心点的连线与所述平移方向形成的锐角夹角。优选地，所述卡爪支撑面构造成使得其沿水平方向的长度Lb＞(L+S)cosθ2，其中θ2为所述晶圆与所述卡爪凸台接触时的接触点到晶圆中心点的连线与所述平移方向形成的锐角夹角。优选地，所述卡爪支撑面沿水平方向的长度Lb＜L+S，并且所述滚轮轴肩支撑面沿水平方向的长度La＞L+S。优选地，所述滚轮包括滚轮夹持槽，所述滚轮夹持槽构造成在晶圆处理操作期间将晶圆的边缘夹持在所述滚轮夹持槽中，所述卡爪凸台的所述端面在竖直方向上的最低点平齐于或略低于所述滚轮夹持槽在竖直方向上的最低点。优选地，所述卡爪支撑面的靠近晶圆一侧的端点低于所述滚轮轴肩支撑面的靠近晶圆一侧的端点。优选地，所述卡爪凸台的所述端面在竖直方向上的最低点与所述卡爪凸台的上表面的最大距离大于1/2晶圆厚度。优选地，所述端面在竖直方向上的最低点与所述卡爪凸台的上表面的最大距离为2倍晶圆厚度。附图说明图1-3示出了本申请一实施例的晶圆支撑装置的立体图。图4示出了本申请一实施例的晶圆支撑装置的俯视图。图5a和5b示出了本申请一实施例的对心支架的示意图。图6a-6c示出了对心支架和滚轮的一部分的示意图，其中图6a示出了对心支架和滚轮的相互配合状态下的示意图，图6b和6c分别示出了单独的对心支架和单独的滚轮的示意图。图7-9用于说明滚轮和对心支架的相关尺寸设计的优选实施例。具体实施方式下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，本文所描述的具体实施例仅用于解释相关技术，而非对该技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与技术相关的部分，并且附图并不一定按实际比例进行绘制。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。此外，还需要说明的是，本申请中使用的例如前、后、上、下、左、右、顶、底、正、背、水平、竖直等表示方位的术语仅仅是为了便于说明，用以帮助对相对位置或方向的理解，并非旨在限制任何装置或结构的取向。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。图1-3示出了本申请一实施例的晶圆支撑装置100的立体图。在该实施例中，晶圆支撑装置100可以包括两个晶圆支撑轮组110。每个晶圆支撑轮组110可以包括两个滚轮111。两个晶圆支撑轮组110可以相对设置并从两侧通过滚轮111夹持晶圆130。在该实施例中，晶圆支撑装置100还可以包括两个对心支架120。这两个对心支架120也可以相对设置，并且可以从两侧对晶圆130形成支撑。...

【技术保护点】
1.一种晶圆支撑装置，其特征在于，包括：/n晶圆支撑轮组，其包括相对设置的第一晶圆支撑轮组和第二晶圆支撑轮组，以通过第一晶圆支撑轮组的滚轮与第二晶圆支撑轮组的滚轮支撑晶圆，以及对心支架，其包括相对设置的第一对心支架和第二对心支架，以在第一晶圆支撑轮组的滚轮和第二晶圆支撑轮组的滚轮未支撑所述晶圆时支撑所述晶圆，从而确保所述晶圆始终得到支撑并被保持在期望的位置；/n所述第一晶圆支撑轮组包括安装在第一底座上的第一对滚轮，所述第二晶圆支撑轮组包括安装在第二底座上的第二对滚轮，所述第一底座和所述第二底座沿水平方向相对设置，/n所述第一对心支架设置在所述第一对滚轮之间并通过第一安装臂与位于相对侧的所述第二底座相连以与所述第二底座形成联动，所述第二对心支架设置在所述第二对滚轮之间并通过第二安装臂与位于相对侧的所述第一底座相连以与所述第一底座形成联动。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶圆支撑装置，其特征在于，包括：
晶圆支撑轮组，其包括相对设置的第一晶圆支撑轮组和第二晶圆支撑轮组，以通过第一晶圆支撑轮组的滚轮与第二晶圆支撑轮组的滚轮支撑晶圆，以及对心支架，其包括相对设置的第一对心支架和第二对心支架，以在第一晶圆支撑轮组的滚轮和第二晶圆支撑轮组的滚轮未支撑所述晶圆时支撑所述晶圆，从而确保所述晶圆始终得到支撑并被保持在期望的位置；
所述第一晶圆支撑轮组包括安装在第一底座上的第一对滚轮，所述第二晶圆支撑轮组包括安装在第二底座上的第二对滚轮，所述第一底座和所述第二底座沿水平方向相对设置，
所述第一对心支架设置在所述第一对滚轮之间并通过第一安装臂与位于相对侧的所述第二底座相连以与所述第二底座形成联动，所述第二对心支架设置在所述第二对滚轮之间并通过第二安装臂与位于相对侧的所述第一底座相连以与所述第一底座形成联动。


2.根据权利要求1所述的晶圆支撑装置，其特征在于，
所述第一底座和所述第二底座设置成沿水平方向相向移动，以使所述第一对滚轮与所述第二对滚轮相互靠近，同时使所述第一对心支架与所述第二对心支架相互远离，从而使所述第一对滚轮与所述第二对滚轮夹持所述晶圆，同时使所述第一对心支架与所述第二对心支架解除对所述晶圆的支撑，并且
所述第一底座和所述第二底座设置成沿水平方向背向移动，以使所述第一对滚轮与所述第二对滚轮相互远离，同时使所述第一对心支架与所述第二对心支架相互靠近，从而使所述第一对滚轮与所述第二对滚轮解除对所述晶圆的夹持，同时使所述第一对心支架与所述第二对心支架对所述晶圆形成支撑，以将所述晶圆保持在期望的位置。


3.根据权利要求2所述的晶圆支撑装置，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵德文，刘远航，王江涛，李长坤，
申请(专利权)人：华海清科北京科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11