加工方法技术

提供加工方法，缩短被加工物的加工时间。利用具有对被加工物进行保持的保持工作台和喷射加工液的喷射喷嘴的加工装置对设定有沿着第1方向的第1加工预定线和沿着第2方向的第2加工预定线的被加工物进行加工，加工方法具有如下步骤：第1定位步骤，使被加工物的第1方向与加工进给方向一致并将喷射喷嘴定位于第1加工预定线的一端；第1加工步骤，利用加工液沿着第1加工预定线对被加工物进行加工；以及第2定位步骤，使保持工作台旋转而使被加工物的第2方向与加工进给方向一致，并且将喷射喷嘴定位于第2加工预定线的一端，在第2定位步骤中，按照在保持工作台的旋转中加工液被持续喷射至被加工物的方式使保持工作台和喷射喷嘴相对地移动。

【技术实现步骤摘要】
加工方法
本专利技术涉及加工方法，通过喷射加压的液体而对被加工物进行加工。
技术介绍
板状的被加工物典型地有将配置在基板上的多个器件芯片利用由树脂构成的密封材料(模制树脂)包覆而成的封装基板、形成有多个器件的半导体晶片等，当按照每个器件对该板状的被加工物进行分割时，得到各个芯片。在被加工物上例如设定有沿着第1方向的第1加工预定线以及沿着与该第1方向交叉的第2方向的第2加工预定线。并且，在形成各个芯片时，沿着各加工预定线将被加工物分割。另外，有时沿着各加工预定线对被加工物进行加工而在被加工物的正面上形成规定的深度的槽(被称为半切割槽)。在被加工物的分割或加工中例如使用具有圆环状的切削刀具的切削装置。当使该切削刀具旋转而使该切削刀具沿着该被加工物的各加工预定线从正面切入至规定的深度时，能够形成该槽。然后，在对被加工物实施了镀覆等加工之后，利用该切削刀具进一步对该槽的底面进行切削而将被加工物分割时，能够形成各个芯片。另外，有时在粘贴于环状框架的粘接带上粘贴被加工物的外周部。被加工物、粘接带以及环状框架的一体物例如被称为框架单元。当被加工物成为框架单元的状态时，被加工物的搬送变得容易，并且能够利用粘接带支承将被加工物分割而形成的芯片。当在加工预定线上存在具有高延展性的金属等部件时，在通过切削刀具对被加工物进行切削而形成槽时，有时该部件与切削刀具接触而被拉长，从所形成的槽产生被称为飞边的须状的突起物。然后，当在将被加工物分割而得到的芯片上残留飞边时，有时经由飞边而产生短路、或者在将芯片安装于规定的安装对象时飞边从芯片落下等而产生安装不良。因此，为了将飞边去除，开发了能够沿着通过切削而在正面上形成有槽的被加工物的该槽喷射加压的水等加工液的加工装置(例如参照专利文献1)。该加工装置被称为水射流加工装置。该加工装置进行如下的加工：对加工液进行加压而朝向被加工物的该槽进行喷射，从而将飞边从该被加工物去除等。该加工装置具有：保持工作台，其上表面作为保持面；以及喷射喷嘴，其向该保持工作台所保持的被加工物喷射加工液。该加工装置能够使保持工作台和喷射喷嘴沿着加工进给方向和与该加工进给方向垂直的分度进给方向相对地移动。在将被加工物的飞边去除时，将被切削而产生了飞边的被加工物搬入至保持工作台的保持面上，通过该保持工作台对被加工物进行保持。并且，使保持工作台绕与该保持面垂直的轴旋转，使被加工物的该第1方向与该加工装置的加工进给方向一致。并且，当一边从喷射喷嘴喷射加工液一边使保持工作台和喷射喷嘴沿着加工进给方向相对地移动时，沿着第1加工预定线对被加工物进行加工。然后，在使保持工作台和喷射喷嘴沿着分度进给方向相对地移动之后，当再次使保持工作台和喷射喷嘴沿着加工进给方向相对地移动时，沿着其他第1加工预定线对被加工物进行加工。在沿着所有的第1加工预定线对被加工物进行了加工之后，使该保持工作台旋转而使被加工物的第2加工预定线与该加工装置的加工进给方向一致。并且，当使保持工作台和喷射喷嘴在加工进给方向上相对地移动时，沿着第2加工预定线对被加工物进行加工。专利文献1：日本特开2018-186133号公报当在粘贴于环状框架的粘接带上粘贴有被加工物的情况下将加工液喷射至粘接带时，粘接带会断裂。另外，当将加工液喷射至保持工作台的保持面时，有时保持工作台会破损。因此，在沿着第1加工预定线对被加工物进行加工之后且在沿着第2加工预定线对被加工物进行加工之前使保持工作台旋转时，停止来自喷射喷嘴的加工液的喷射，以便加工液不会意外地喷射至被加工物以外的物体上。但是，在完成保持工作台的旋转之后再次开始来自喷射喷嘴的加工液的喷出时，需要使被加工物的加工等待至可按照规定的喷射条件再次稳定地从喷射喷嘴喷出加工液为止。因此，为了减少被加工物的加工时间，期望缩短未实施被加工物的加工的等待时间。
技术实现思路
本专利技术是鉴于该问题而完成的，其课题在于提供加工方法，能够防止粘接带或保持工作台等的损伤，并且能够缩短被加工物的加工时间。根据本专利技术的一个方式，提供加工方法，利用加工装置对被加工物进行加工，该加工装置具有：保持工作台，其具有对该被加工物进行保持的保持面；喷射喷嘴，其对该保持工作台所保持的被加工物喷射加工液；加工进给单元，其使该保持工作台和该喷射喷嘴沿着加工进给方向相对地移动；以及旋转单元，其使该保持工作台绕沿着与该保持面垂直的方向的轴旋转，该被加工物在正面上设定有沿着第1方向的第1加工预定线以及沿着与该第1方向交叉的第2方向的第2加工预定线，其特征在于，该加工方法具有如下的步骤：保持步骤，利用该保持工作台对该被加工物进行保持；第1定位步骤，在实施了该保持步骤之后，利用该旋转单元使该保持工作台旋转而使该被加工物的该第1方向与该加工进给方向一致，并且将该喷射喷嘴定位于该第1加工预定线的一端；第1加工步骤，在实施了该第1定位步骤之后，开始从该喷射喷嘴喷射加工液，然后使该保持工作台和该喷射喷嘴沿着该加工进给方向相对地移动，从而利用该加工液沿着该第1加工预定线对该被加工物进行加工；第2定位步骤，在实施了该第1加工步骤之后，利用该旋转单元使该保持工作台旋转而使该被加工物的该第2方向与该加工进给方向一致，并且将该喷射喷嘴定位于该第2加工预定线的一端；以及第2加工步骤，在实施了该第2定位步骤之后，使该保持工作台和该喷射喷嘴沿着该加工进给方向相对地移动，利用从该喷射喷嘴喷射的该加工液沿着该第2加工预定线对该被加工物进行加工，在该第2定位步骤中，按照在该保持工作台的旋转中该加工液被持续喷射至该被加工物的方式使该保持工作台和该喷射喷嘴相对地移动。优选在该被加工物的该正面上设定有多条该第1加工预定线和多条该第2加工预定线，该被加工物在该正面上具有在由该第1加工预定线和该第2加工预定线划分的各区域内分别配设有器件的器件区域以及围绕该器件区域的外周剩余区域，在该第2定位步骤中，在该保持工作台的旋转中该加工液被持续喷射至该被加工物的该外周剩余区域。或者，优选在该被加工物的该正面上形成有沿着该第1加工预定线的第1槽以及沿着该第2加工预定线的第2槽，在该第2定位步骤中，在该保持工作台的旋转中该加工液被持续喷射至该被加工物的该第1槽或该第2槽中的任意一方。在本专利技术的一个方式的加工方法中，在第2定位步骤中使保持工作台旋转时，按照加工液被持续喷射至被加工物的方式使保持工作台和喷射喷嘴相对地移动。在该情况下，即使在使保持工作台旋转时未使来自喷射喷嘴的加工液的喷射停止，加工液也不会直接喷射至被加工物以外的物体上。即，无需在使保持工作台旋转时使来自喷射喷嘴的加工液的喷射停止。若未使加工液的喷射停止，则加工液按照规定的喷射条件持续稳定地从喷射喷嘴喷射，因此在实施了第2定位步骤之后，无需等待第2加工步骤的实施。由此，能够缩短被加工物的加工时间。因此，通过本专利技术，能够提供加工方法，能够防止粘接带或保持工作台等的损伤，并且能够缩短被加工物的加工时间。附图说明图1是示意性示出加工装置的立体图。<本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种加工方法，利用加工装置对被加工物进行加工，/n该加工装置具有：/n保持工作台，其具有对该被加工物进行保持的保持面；/n喷射喷嘴，其对该保持工作台所保持的被加工物喷射加工液；/n加工进给单元，其使该保持工作台和该喷射喷嘴沿着加工进给方向相对地移动；以及/n旋转单元，其使该保持工作台绕沿着与该保持面垂直的方向的轴旋转，/n该被加工物在正面上设定有沿着第1方向的第1加工预定线以及沿着与该第1方向交叉的第2方向的第2加工预定线，/n其特征在于，/n该加工方法具有如下的步骤：/n保持步骤，利用该保持工作台对该被加工物进行保持；/n第1定位步骤，在实施了该保持步骤之后，利用该旋转单元使该保持工作台旋转而使该被加工物的该第1方向与该加工进给方向一致，并且将该喷射喷嘴定位于该第1加工预定线的一端；/n第1加工步骤，在实施了该第1定位步骤之后，开始从该喷射喷嘴喷射加工液，然后使该保持工作台和该喷射喷嘴沿着该加工进给方向相对地移动，从而利用该加工液沿着该第1加工预定线对该被加工物进行加工；/n第2定位步骤，在实施了该第1加工步骤之后，利用该旋转单元使该保持工作台旋转而使该被加工物的该第2方向与该加工进给方向一致，并且将该喷射喷嘴定位于该第2加工预定线的一端；以及/n第2加工步骤，在实施了该第2定位步骤之后，使该保持工作台和该喷射喷嘴沿着该加工进给方向相对地移动，利用从该喷射喷嘴喷射的该加工液沿着该第2加工预定线对该被加工物进行加工，/n在该第2定位步骤中，按照在该保持工作台的旋转中该加工液被持续喷射至该被加工物的方式使该保持工作台和该喷射喷嘴相对地移动。/n...

【技术特征摘要】
20190225 JP 2019-0316111.一种加工方法，利用加工装置对被加工物进行加工，
该加工装置具有：
保持工作台，其具有对该被加工物进行保持的保持面；
喷射喷嘴，其对该保持工作台所保持的被加工物喷射加工液；
加工进给单元，其使该保持工作台和该喷射喷嘴沿着加工进给方向相对地移动；以及
旋转单元，其使该保持工作台绕沿着与该保持面垂直的方向的轴旋转，
该被加工物在正面上设定有沿着第1方向的第1加工预定线以及沿着与该第1方向交叉的第2方向的第2加工预定线，
其特征在于，
该加工方法具有如下的步骤：
保持步骤，利用该保持工作台对该被加工物进行保持；
第1定位步骤，在实施了该保持步骤之后，利用该旋转单元使该保持工作台旋转而使该被加工物的该第1方向与该加工进给方向一致，并且将该喷射喷嘴定位于该第1加工预定线的一端；
第1加工步骤，在实施了该第1定位步骤之后，开始从该喷射喷嘴喷射加工液，然后使该保持工作台和该喷射喷嘴沿着该加工进给方向相对地移动，从而利用该加工液沿着该第1加工预定线对该被加工物进行加工；
第2定位步骤，在实施了该第1加工步骤之后，利用该旋转单元使...

【专利技术属性】
技术研发人员：包家亘，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：日本;JP