一种拆卸磨轮的方法、装置、计算机可读存储介质及系统制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种拆卸磨轮的方法、装置、计算机可读存储介质及系统，所述拆卸磨轮的方法包括：使所述磨轮保持当前所处的第一位置；将所述螺丝拧至第二位置并保留最后一颗螺丝，以所述最后一颗螺丝作为目标螺丝，在所述第二位置时，所述螺丝与所述法兰的安装孔分离；将所述目标螺丝拧至第三位置，在所述第三位置时，所述目标螺丝与所述磨轮的螺丝孔分离，并留在所述法兰的安装孔内；旋转所述磨轮预设角度，以使所述目标螺丝与所述磨轮的螺丝孔错开；沿所述目标螺丝的轴向驱动所述目标螺钉抵压所述磨轮，以使所述磨轮处于与所述法兰分离的第四位置整个拆卸过程不需要依靠很大的外力，实现方便安全地拆卸磨轮，减少磨轮拆卸造成的损伤。

【技术实现步骤摘要】
一种拆卸磨轮的方法、装置、计算机可读存储介质及系统
本专利技术涉及磨轮设备
，尤其涉及一种拆卸磨轮的方法、装置、计算机可读存储介质以系统。
技术介绍
在集成电路封装之前，通常需要对晶片背面多余的基体材料去除一定的厚度，这一工艺过程称之为晶片减薄工艺，对应采用的设备是晶片减薄机或晶圆减薄机BG。晶圆减薄机包括空气轴承、法兰和磨轮，空气轴承与法兰固定，磨轮与法兰可拆卸连接，磨轮与法兰通过螺丝进行锁紧固定。根据加工产品类型的不同经常会涉及到对不同类型的磨轮的更换，而对磨轮传统的拆卸方法是直接将磨轮掰离法兰。但是，由于磨轮与法兰下表面液体的表面张力的存在，需要施加不小的力度才能将磨轮拆卸下来，而这一力度的施加往往存在撞损磨轮或晶圆减薄机设备内旋转台的风险。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是：提供一种拆卸磨轮的方法、装置、计算机可读存储介质以系统，实现安全拆卸磨轮，减少磨轮拆卸造成的损伤。为了解决上述技术问题，本专利技术采用的一种技术方案为：一种拆卸磨轮的方法，所述磨轮与法兰通过螺丝锁紧固定，包括步骤：使所述磨轮保持当前所处的第一位置；将所述螺丝拧至第二位置并保留最后一颗螺丝，以所述最后一颗螺丝作为目标螺丝，在所述第二位置时，所述螺丝与所述法兰的安装孔分离；将所述目标螺丝拧至第三位置，在所述第三位置时，所述目标螺丝与所述磨轮的螺丝孔分离，并留在所述法兰的安装孔内；旋转所述磨轮预设角度，以使所述目标螺丝与所述磨轮的螺丝孔错开；沿所述目标螺丝的轴向驱动所述目标螺丝抵压所述磨轮，以使所述磨轮处于与所述法兰分离的第四位置。为了解决上述技术问题，本专利技术采用的另一种技术方案为：一种拆卸磨轮的装置，包括第一存储器、第一处理器及存储在第一存储器上并可在第一处理器上运行的第一计算机程序，所述第一处理器执行所述第一计算机程序时实现上述拆卸磨轮的方法中的各个步骤。为了解决上述技术问题，本专利技术采用的另一种技术方案为：一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现上述拆卸磨轮的方法中的各个步骤。为了解决上述技术问题，本专利技术采用的另一种技术方案为：一种拆卸磨轮的系统，包括第一机械手、第二机械手以及控制器，所述控制器包括第二存储器、第二处理器及存储在第二存储器上并可在第二处理器上运行的第二计算机程序，所述磨轮与法兰通过螺丝锁紧固定，所述第二处理器执行所述第二计算机程序时执行如下步骤：控制所述第一机械手托住所述磨轮，使所述磨轮保持当前所处的第一位置；控制所述第二机械手将所述螺丝拧至第二位置并保留最后一颗螺丝，以所述最后一颗螺丝作为目标螺丝，在所述第二位置时，所述螺丝与所述法兰的安装孔分离；控制所述第二机械手将所述目标螺丝拧至第三位置，在所述第三位置时，所述目标螺丝与所述磨轮的螺丝孔分离，并留在所述法兰的安装孔内；控制所述第二机械手旋转所述磨轮预设角度，以使所述目标螺丝与所述磨轮的螺丝孔错开；控制所述第二机械手沿所述目标螺丝的轴向驱动所述目标螺钉抵压所述磨轮，以使所述磨轮处于与所述法兰分离的第四位置。本专利技术的有益效果在于：将磨轮上的螺丝拧出并取走直至剩下最后一颗螺丝，作为目标螺丝，将目标螺丝拧出磨轮的螺丝孔，并留在法兰的安装孔内，通过旋转将磨轮与法兰错位，使得目标螺丝对着磨轮的非螺丝孔区域，然后将目标螺丝往磨轮方向按压以克服磨轮与法兰下表面液体的表面张力，使得磨轮与法兰脱离；通过将螺丝依次拧出并取走直至剩下最后一颗，令最后一颗螺丝脱离磨轮并留在法兰的安装孔内，再将磨轮与法兰错位，由于磨轮与法兰下表面液体的表面张力在取走螺丝的过程中逐渐减弱，最后借助最后一颗螺丝的下压力便能够轻松克服磨轮与法兰下表面液体的表面张力，实现磨轮的拆卸，整个拆卸过程不需要依靠很大的外力，实现方便安全地拆卸磨轮，减少磨轮拆卸造成的损伤。附图说明图1为本专利技术实施例的一种拆卸磨轮的方法的步骤流程图；图2为本专利技术实施例的一种拆卸磨轮的装置的结构示意图；图3为本专利技术实施例的一种拆卸磨轮的系统的结构示意图；图4为本专利技术实施例的法兰与磨轮装配结构的侧视图；图5为本专利技术实施例的法兰与磨轮装配结构的俯视图；图6为本专利技术实施例的将螺丝从磨轮上取下的示意图；标号说明：1-1、螺丝；1-2、法兰；1-3、磨轮。具体实施方式为详细说明本专利技术的
技术实现思路
、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图予以说明。请参照图1，本专利技术实施例提供了一种拆卸磨轮的方法，所述磨轮与法兰通过螺丝锁紧固定，包括步骤：控制所述第一机械手托住所述磨轮，使所述磨轮保持当前所处的第一位置；控制所述第二机械手将所述螺丝拧至第二位置并保留最后一颗螺丝，以所述最后一颗螺丝作为目标螺丝，在所述第二位置时，所述螺丝与所述法兰的安装孔分离；控制所述第二机械手将所述目标螺丝拧至第三位置，在所述第三位置时，所述目标螺丝与所述磨轮的螺丝孔分离，并留在所述法兰的安装孔内；控制所述第二机械手旋转所述磨轮预设角度，以使所述目标螺丝与所述磨轮的螺丝孔错开；控制所述第二机械手沿所述目标螺丝的轴向驱动所述目标螺钉抵压所述磨轮，以使所述磨轮处于与所述法兰分离的第四位置。从上述描述可知，本专利技术的有益效果在于：将磨轮上的螺丝拧出并取走直至剩下最后一颗螺丝，作为目标螺丝，将目标螺丝拧出磨轮的螺丝孔，并留在法兰的安装孔内，通过旋转将磨轮与法兰错位，使得目标螺丝对着磨轮的非螺丝孔区域，然后将目标螺丝往磨轮方向按压以克服磨轮与法兰下表面液体的表面张力，使得磨轮与法兰脱离；通过将螺丝依次拧出并取走直至剩下最后一颗，令最后一颗螺丝脱离磨轮并留在法兰的安装孔内，再将磨轮与法兰错位，由于磨轮与法兰下表面液体的表面张力在取走螺丝的过程中逐渐减弱，最后借助最后一颗螺丝的下压力便能够轻松克服磨轮与法兰下表面液体的表面张力，实现磨轮的拆卸，整个拆卸过程不需要依靠很大的外力，实现方便安全地拆卸磨轮，减少磨轮拆卸造成的损伤。进一步的，所述将所述螺丝拧至第二位置并保留最后一颗螺丝包括：识别所述螺丝，选取其中一颗螺丝作为第一螺丝，以所述第一螺丝为起点，间隔将所述螺丝拧至所述磨轮上对应的螺丝孔孔壁的第五位置，直至遍历完所有螺丝，其中，拧到所述第五位置的任意两颗螺丝不相邻，在所述第五位置时，所述螺丝处于松动状态；识别拧至所述第五位置的所有螺丝，选取其中一颗螺丝作为第二螺丝，判断是否存在与所述第二螺丝呈对角关系的拧至所述第五位置的螺丝，若存在，则确定所述第二螺丝对应的对角螺丝，将所述第二螺丝和所述对角螺丝作为待取走的螺丝，若不存在，则将所述第二螺丝作为待取走的螺丝；判断所述待取走的螺丝是否是固定所述磨轮的最后一颗螺丝，若是，则保留所述最后一颗螺丝；若否，则将所述待取走的螺丝拧至所述第二位置；执行所述识别拧至所述第五位置的所有螺本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种拆卸磨轮的方法，所述磨轮与法兰通过螺丝锁紧固定，其特征在于，包括步骤：/n使所述磨轮保持当前所处的第一位置；/n将所述螺丝拧至第二位置并保留最后一颗螺丝，以所述最后一颗螺丝作为目标螺丝，在所述第二位置时，所述螺丝与所述法兰的安装孔分离；/n将所述目标螺丝拧至第三位置，在所述第三位置时，所述目标螺丝与所述磨轮的螺丝孔分离，并留在所述法兰的安装孔内；/n旋转所述磨轮预设角度，以使所述目标螺丝与所述磨轮的螺丝孔错开；/n沿所述目标螺丝的轴向驱动所述目标螺丝抵压所述磨轮，以使所述磨轮处于与所述法兰分离的第四位置。/n

【技术特征摘要】
1.一种拆卸磨轮的方法，所述磨轮与法兰通过螺丝锁紧固定，其特征在于，包括步骤：
使所述磨轮保持当前所处的第一位置；
将所述螺丝拧至第二位置并保留最后一颗螺丝，以所述最后一颗螺丝作为目标螺丝，在所述第二位置时，所述螺丝与所述法兰的安装孔分离；
将所述目标螺丝拧至第三位置，在所述第三位置时，所述目标螺丝与所述磨轮的螺丝孔分离，并留在所述法兰的安装孔内；
旋转所述磨轮预设角度，以使所述目标螺丝与所述磨轮的螺丝孔错开；
沿所述目标螺丝的轴向驱动所述目标螺丝抵压所述磨轮，以使所述磨轮处于与所述法兰分离的第四位置。


2.根据权利要求1所述的一种拆卸磨轮的方法，其特征在于，所述将所述螺丝拧至第二位置并保留最后一颗螺丝包括：
识别所述螺丝，选取其中一颗螺丝作为第一螺丝，以所述第一螺丝为起点，间隔将所述螺丝拧至所述磨轮上对应的螺丝孔孔壁的第五位置，直至遍历完所有螺丝，其中，拧到所述第五位置的任意两颗螺丝不相邻，在所述第五位置时，所述螺丝处于松动状态；
识别拧至所述第五位置的所有螺丝，选取其中一颗螺丝作为第二螺丝，判断是否存在与所述第二螺丝呈对角关系的拧至所述第五位置的螺丝，若存在，则确定所述第二螺丝对应的对角螺丝，将所述第二螺丝和所述对角螺丝作为待取走的螺丝，若不存在，则将所述第二螺丝作为待取走的螺丝；
判断所述待取走的螺丝是否是固定所述磨轮的最后一颗螺丝，若是，则保留所述最后一颗螺丝；
若否，则将所述待取走的螺丝拧至所述第二位置；
执行所述识别拧至所述第五位置的所有螺丝的步骤，在确定所述拧至所述第五位置的螺丝均处于第一位置时，执行所述识别所述螺丝的步骤。


3.根据权利要求2所述的一种拆卸磨轮的方法，其特征在于，所述以所述第一螺丝为起点，间隔将所述螺丝拧至所述磨轮上对应的螺丝孔孔壁的第五位置包括：
确定相邻的两颗螺丝之间的距离；
以所述第一螺丝为起点，根据所述距离，将识别到的所有螺丝每间隔一颗螺丝地将间隔后对应的一颗螺丝拧至所述磨轮上对应的螺丝孔孔壁的第五位置。


4.根据权利要求2所述的一种拆卸磨轮的方法，其特征在于，所述确定所述第二螺丝对应的对角螺丝包括：
确定拧至所述第一五位置的所有螺丝构成的多边形的中心；
根据所述第二螺丝的位置和所述中心的位置确定其连线上是否存在拧至所述第五位置的螺丝...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈健，
申请(专利权)人：深圳佰维存储科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44