基板沉积系统、机械手移送设备及用于电子装置制造的方法制造方法及图纸

本发明专利技术描述电子装置处理系统。所述系统包括：主机外壳，所述主机外壳具有移送腔室、第一面、与所述第一面相对的第二面、第三面及与所述第三面相对的第四面；第一转盘组件，所述第一转盘组件耦接至第一面；第二转盘组件，所述第二转盘组件耦接至所述第三面；第一装载锁，所述第一装载锁耦接至所述第二面；第二装载锁，所述第二装载锁耦接至所述第四面；及机械手，所述机械手适于在所述移送腔室中操作以从所述第一转盘及所述第二转盘交换基板。本发明专利技术描述用于输送基板的方法及多轴机械手，以及许多其他方面。

【技术实现步骤摘要】
基板沉积系统、机械手移送设备及用于电子装置制造的方法本申请是申请日为2014年3月14日、申请号为201480025132.8、专利技术名称为“基板沉积系统、机械手移送设备及用于电子装置制造的方法”的专利技术专利申请的分案申请。相关申请案本申请案要求享有以下的优先权：2013年9月17日申请的名称为“SUBSTRATEDEPOSITIONSYSTEMS，ROBOTTRANSFERAPPARATUS，ANDMETHODSFORELECTRONICDEVICEMANUFACTURING”的美国临时专利申请案序列号第61/879,076号(代理人案号20666USAL03/FEG/SYNX)，及2013年8月22日申请的名称为“SUBSTRATEDEPOSITIONSYSTEMS，ROBOTTRANSFERAPPARATUS，ANDMETHODSFORELECTRONICDEVICEMANUFACTURING”的美国临时专利申请案序列号第61/868,795号(代理人案号20666USAL02/FEG/SYNX)，以及2013年3月15日申请的名称为“SUBSTRAT本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多轴机械手，所述多轴机械手包括：/n第一SCARA，所述第一SCARA包括：/n第一上臂，所述第一上臂适于围绕延伸穿过所述第一上臂的肩部轴线旋转；/n第一前臂，所述第一前臂在所述第一上臂的外侧端处旋转地耦接至所述第一上臂且在所述第一上臂之上；/n第一腕部构件，所述第一腕部构件在所述第一前臂的第一外位置处旋转地耦接至所述第一前臂且在所述第一前臂之下；及/n第一终端受动器，所述第一终端受动器耦接至所述第一腕部构件，所述第一终端受动器设置在第一高度处；及/n第二SCARA，所述第二SCARA包括：/n第二上臂，所述第二上臂适于围绕所述肩部轴线旋转，所述肩部轴线亦延伸穿过所述第二上臂；/n第二...

【技术特征摘要】
20130315 US 61/787,117;20130822 US 61/868,795;20131.一种多轴机械手，所述多轴机械手包括：
第一SCARA，所述第一SCARA包括：
第一上臂，所述第一上臂适于围绕延伸穿过所述第一上臂的肩部轴线旋转；
第一前臂，所述第一前臂在所述第一上臂的外侧端处旋转地耦接至所述第一上臂且在所述第一上臂之上；
第一腕部构件，所述第一腕部构件在所述第一前臂的第一外位置处旋转地耦接至所述第一前臂且在所述第一前臂之下；及
第一终端受动器，所述第一终端受动器耦接至所述第一腕部构件，所述第一终端受动器设置在第一高度处；及
第二SCARA，所述第二SCARA包括：
第二上臂，所述第二上臂适于围绕所述肩部轴线旋转，所述肩部轴线亦延伸穿过所述第二上臂；
第二前臂，所述第二前臂在所述第二上臂的外侧端处旋转地耦接至所述第二上臂，其中所述第二前臂位于所述第一前臂之下；
第二腕部构件，所述第二腕部构件在所述第二前臂的第二外位置处旋转地耦接至所述第二前臂；及
第二终端受动器，所述第二终端受动器耦接至所述第二腕部构件，所述第二终端受动器设置在第二高度处，所述第二高度不同于所述第一高度；
其中所述第一SCARA的所述第一终端受动器沿第一方向延伸远离所述肩部轴线，其中所述第二SCARA的所述第二终端受动器沿第二方向延伸远离所述肩部轴线，并且其中所述第二方向与所述第一方向相反，且所述第一方向和所述第二方向形成大体上互相平行的作用线。


2.如权利要求1所述的多轴机械手，其中：
所述多轴机械手适于在电子装置处理系统的移送腔室中操作，所述电子装置处理系统包括：
主机外壳，所述主机外壳包括所述移送腔室、第一面、与所述第一面相对的第二面、第三面及与所述第三面相对的第四面；
第一转盘组件，所述第一转盘组件耦接至所述第一面；
第二转盘组件，所述第二转盘组件耦接至所述第三面；
第一多位置装载锁，所述第一多位置装载锁耦接至所述第二面，其中所述第一多位置装载锁包括第一双倍高度入口，且进一步包括第一能移动的升降主体；
第一升降组件，所述第一升降组件耦接至所述第一能移动的升降主体；及
第二装载锁，所述第二装载锁耦接至所述第四面；并且
所述多轴机械手适于从所述第一转盘组件和所述第二转盘组件两者交换基板。


3.如权利要求1所述的多轴机械手，其中所述多轴机械手被设置而适于同时将第一基板置放至第一转盘组件中且将第二基板置放至第一多位置装载锁中。


4.如权利要求1所述的多轴机械手，其中所述多轴机械手被设置而适于同时从第一转盘组件拾取第一基板且从第一多位置装载锁拾取第二基板。


5.如权利要求1所述的多轴机械手，其中所述多轴机械手被设置而适于缩回、旋转且然后同时将第一基板置放至第一多位置装载锁中且将第二基板置放至第一转盘组件中。


6.如权利要求1所述的多轴机械手，其中所述第一终端受动器和所述第二终端受动器能操作以沿所述大体上互相平行的作用线同时或顺序地延伸。


7.如权利要求1所述的多轴机械手，其中所述第一终端受动器和所述第二终端受动器能操作以沿所述大体上互相平行的作用线同时或顺序地缩回。


8.如权利要求1所述的多轴机械手，其中在被定向以用于所述多轴机械手的旋转移动时，所述第一终端受动器位于所述第二腕部构件之上，且所述第二终端受动器位于所述第一腕部构件之下。


9.如权利要求1所述的多轴机械手，其中在第一时间，从所述肩部轴线延伸而处于第一延伸位置的所述第一上臂位于所述大体上互相平行的作用线的第一平面图侧，且从所述肩部轴线延伸而处于第二延伸位置的所述第二上臂位于所述大体上互相平行的作用线的第二平面图侧，其中所述第二平面图侧与所述第一平面图侧相对。


10.如权利要求9所述的多轴机械手，其中所述第一终端受动器和所述第二终端受动器在所述第一时间沿所述大体上互相平行的作用线分别沿所述第一方向和所述第二方向延伸远离所述肩部轴线，使得所述第一终端受动器和所述第二终端受动器分别延伸远离所述肩部轴线足够的距离以分别延伸通过处理腔室的双倍高度入口和多位置装载锁的双倍高度入口而不使相应的所述第一腕部构件或所述第二腕部构件延伸通过其中。


11.一种多轴机械手，所述多轴机械手包括：
第一SCARA，所述第一SCARA包括：
第一上臂，所述第一上臂适于围绕肩部轴线旋转；
第一前臂，所述第一前臂在所述第一上臂的外侧端处旋转地耦接至所述第一上臂且在所述第一上臂之上；
第一腕部构件，所述第一腕部构件在所述第一前臂的第一外位置处旋转地耦接至所述第一前臂且在所述第一前臂之下；及
第一终端受动器，所述第一终端受动器耦接至所述第一腕部构件；及第二SCARA，所述第二SCARA包括：
第二上臂，所述第二上臂适于围绕...

【专利技术属性】
技术研发人员：威廉·T·韦弗，小马尔科姆·N·丹尼尔，罗伯特·B·沃帕特，杰森·M·沙勒，雅各布·纽曼，迪内士·卡纳瓦德，安德鲁·J·康斯坦特，斯特芬·C·希克森，杰弗里·C·赫金斯，马文·L·弗雷曼，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：美国;US