热介质的控制方法和热介质控制装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种热介质的控制方法和热介质控制装置，用于抑制伴随热介质的供给停止而产生的水击。该热介质的控制方法包括流量控制工序和供给停止工序。在流量控制工序中，在从供给被进行了温度控制的热介质的温度控制部向在与温度控制对象物进行热交换的热交换构件形成的流路内供给热介质的状态下，降低热介质的流量。在供给停止工序中，通过控制在将温度控制部与热交换构件的流路连接的供给配管上设置的供给阀，来使热介质向流路内的供给停止。

【技术实现步骤摘要】
热介质的控制方法和热介质控制装置
本公开的各种方面和实施方式涉及一种热介质的控制方法。
技术介绍
例如，在下述专利文献1中公开了如下一种再循环系统：通过使被进行了温度控制的液体通过被组装于基板支架的流路进行循环，能够使基板温度迅速地变化，该基板支架用于载置在等离子体室中被处理的基板。在该再循环系统中设置有两个(例如冷液和温液的)再循环装置，一个再循环装置被用作预加热单元，另一个再循环装置被用作预冷却单元。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特表2013-534716号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题本公开提供一种能够抑制伴随热介质的供给停止而产生的水击的热介质的控制方法和热介质控制装置。用于解决问题的方案本公开的一个方面是一种热介质的控制方法，包括流量控制工序和供给停止工序。在流量控制工序中，在从供给被进行了温度控制的热介质的温度控制部向在与温度控制对象物进行热交换的热交换构件形成的流路内供给热介质的状态下，降低热介质的流量。在供给停止工序中，通过控制在本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种热介质的控制方法，包括以下工序：/n流量控制工序，在从供给被进行了温度控制的热介质的温度控制部向在与温度控制对象物进行热交换的热交换构件形成的流路内供给热介质的状态下，降低所述热介质的流量；以及/n供给停止工序，通过控制在将所述温度控制部与所述热交换构件的所述流路连接的供给配管设置的供给阀，来使所述热介质向所述流路内的供给停止。/n

【技术特征摘要】
20190125 JP 2019-0115711.一种热介质的控制方法，包括以下工序：
流量控制工序，在从供给被进行了温度控制的热介质的温度控制部向在与温度控制对象物进行热交换的热交换构件形成的流路内供给热介质的状态下，降低所述热介质的流量；以及
供给停止工序，通过控制在将所述温度控制部与所述热交换构件的所述流路连接的供给配管设置的供给阀，来使所述热介质向所述流路内的供给停止。


2.根据权利要求1所述的热介质的控制方法，其特征在于，
在所述流量控制工序中，通过将设置于旁通配管的旁通阀打开来降低向所述流路内供给的所述热介质的流量，所述旁通配管设置于所述供给配管与返回配管之间，所述返回配管将所述温度控制部与所述热交换构件的所述流路连接且用于使经由所述供给配管供给至所述热交换构件的所述流路的所述热介质返回所述温度控制部。


3.根据权利要求2所述的热介质的控制方法，其特征在于，
还包括判定工序，在该判定工序中，使用检测所述旁通阀的打开的传感器来判定所述旁通阀是否已打开，
当在所述判定工序中检测到所述旁通阀已打开之后，执行所述供给停止工序。


4.根据权利要求1至3中的任一项所述的热介质的控制方法，其特征在于，
在所述流量控制工序中，通过降低从所述温度控制部输出的所述热介质的流量，来降低向所述流路内供给的所述热介质的流量。


5.一种热介质的控制方法，是热介质控制装置中的热介质的控制方法，
所述热介质控制装置具备：
第一供给配管，其用于从供给第一热介质的第一温度控制部向在与温度控制对象物进行热交换的热交换构件形成的流路内供给所述第一热介质，所述第一热介质是温度被控制为第一温度的流体；
第一返回配管，其用于使从所述流路内流过的热介质返回所述第一温度控制部；
第二供给配管，其与所述第一供给配管连接，用于从供给第二热介质的第二温度控制部向在所述热交换构件形成的所述流路内供给所述第二热介质，所述第二热介质是温度被控制为与所述第一温度不同的第二温度的流体；
第二返回配管，其与所述第一返回配管连接，用于使从所述流路内流过的热介质返回所述第二温度控制部；
第一切换部，其设置于所述第一供给配管与所述第二供给配管的连接部分，将向所述流路内供给的热介质切换为所述第一热介质或所述第二热介质；以及
第二切换部，其设置于所述第一返回配管与所述第二返回配管的连接部分，将从所述流路内流出的热介质的输出目的地切换为所述第一温度控制部或所述第二温度控制部，
所述热介质的控制方法包括以下工序：
流量控制工序，在从所述第一温度控制部向所述流路内供给所述第一热介质的状态下，降低所述第一热介质的流量；以及
切换工序，通过所述第一切换部和所述第二切换部来将在所述流路内流动的热介质从所述第一热介质切换为所述第二热介质。


6.根据权利要求5所述的热介质的控制方法，其特征在于，
所述热介质控制装置具备：
旁通配管，其将所述第一供给配管的比所述第一供给配管与所述第二供给配管的连接部分更靠所述第一温度控制部侧的部分同所述第一返回配管的比所述第一返回配管与所述第二返回配管的连接部分更靠所述第一温度控制部侧的部分连接；以及
旁通阀，其设置于所述旁通配管，
在所述流量控制工序中，通过将所述旁通阀打开来降低向所述流路内供给的所述第一热介质的流量。


7.根据权利要求6所述的热介质的控制方法，其特征在于，
还包括判定工序，在该判定工序中，使用检测所述旁通阀的打开的传感器来判定所述旁通阀是否已打开，

【专利技术属性】
技术研发人员：小林启，有田毅彦，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP