【技术实现步骤摘要】
本申请是1995年12月15日提交的系列号为08／573，170、题为“非接触位置传感器”的美国专利申请的部分继续申请。总的说来，本专利技术涉及用于精确测量可动目标的微小位移的光学装置，更准确地说，涉及形成应用于光学装置中的目标特征部分的方法。在许多应用中都非常需要监控可动目标相对一个或多个所希望的位置的位置。例如，希望在盘驱动伺服系统中精确地探测可转动读／写磁头臂相对所希望的已知位置的位置，使得磁头臂能被移动到与磁盘上的所希望的径向磁道位置对齐，以便使读／写磁头臂能从这位置读出数据和把数据写到这位置上。位置传感器是以提供这种位置探测为目标的器件。位移传感器是通过反复测量目标离开所希望位置的位移来监控可动目标位置的位置传感器件。传统的位移传感器的例子包括电容规器件、光纤接近(proximity)传感器和例如通常用于盘驱动伺服系统的干涉传感器等的光学传感器。现有技术的位移传感器中许多或者不能达到某些应用(例如盘驱动伺服系统)所要求的分辨率(最小可测位移)等级，或者要求昂贵和／或复杂的电路和硬件来达到这分辨率。为了达到高分辨率，某些位移传感器要求例如一个精确和强大的激光...
【技术保护点】
一种用于测量可动目标位移的器件，其特征在于包括：静止的光源，它产生入射光束；固定在目标上的目标特征部分，它反射入射光束，并在目标特征部分近旁形成光源的第一象；成象透镜，它接收第一象，并在光探测器上把第一象重新形成光源的第二象；和 与目标隔开的光探测器，它接收第二象，并对此作出响应，产生这样的电信号，它的特征正比于光探测器接收的第二象的位置，并且此特性代表了目标的位置；其中目标特征部分通过在目标上划槽来形成。
【技术特征摘要】
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