下载位移传感器及其形成目标特征部分的方法的技术资料

文档序号:2511400

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附于目标上的或与目标整体地形成的目标特征部分反射入射光束,并在目标特征部分近旁形成光源的第一象。成象透镜接收反射光束,并在光探测器上把光源的第一象重新形成为第二象。与目标隔开的光探测器接收反射光束,产生其特性(例如振幅)正比于光探测器接收的...
该专利属于艾加伦特技术公司所有,仅供学习研究参考,未经过艾加伦特技术公司授权不得商用。

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