载置台、表面特性测定机及表面特性测定方法技术

一种载置台、表面特性测定机及表面特性测定方法，具有载置作为测定或加工的对象的工件的载置面的载置台包括：支承机构，其支承载置台，为使载置台在加工成平面的平台上移动或旋转自如，可将载置台从该平台浮起，或将载置台固定支承在所述平台上；多个基准，其用于测定载置台的多种姿势，检测各姿势下载置台的位置和旋转。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及载置作为加工或测定对象的工件的。特别是涉及可以以多种姿势测定工件并综合其测定结果的载置台、表面特性测定机及表面特性测定装置。
技术介绍
在通常的测定机中，其可测定范围和测定方向受到限制，这样，不能测定超过测定范围的大型工件或必须从多个方向进行测定的工件。因此，在测定这样的工件时，使用如下方法，使测定机在装配的工件周围移动，进行工件各部分的测定，收集个别数据，并综合这些个别数据(例如，特开平11-6728号公报(下面称为专利文献1))。记载于专利文献1中的形状测定装置中，在大型的被测物附近预先设置具有预先精密测定的基准点群的测定用规尺，在移动测定机测定被测定物时，也测定好该基准点群。然后，从该基准点群的测定结果求出移动的测定机的位置关系，综合被测定物的坐标数据，把握整体形状。另外，具有如下专利技术，通过在移动测定机或被测定物时使用具有气垫的测定用辅助台，可轻快地移动测定机或被测定物(例如特开平7-181031号公报(下面称为专利文献2))。但是，具有如下问题，对大型工件或必须从多个方向进行测定、加工的工件，在使测定机或加工机沿工件移动，进行测定、加工时，除装配工件的空间之外，还需要移动、设置测定机、加工机的空间，特别是在大型工件的情况下，空间效率不好。特别是在精密测定、加工工件时，必须将该工件和测定机或加工机双方载置在平台上，使测定机或加工机沿工件的周围移动，进行测定、加工。因此，需要大型的平台，特别是在大型工件的情况下，需要极大型的平台。但是，这样的大型平台价格高，且在维护时需要极大的时间和费用。另外，由于在其整个设置面积上需要进行牢固的基础施工，故需要高昂的费用，且确保大的设置面积本身就很困难。此时，每次必须与工件配合在其周围设置具有基准点的基准规尺，存在测定程序或加工程序需要大量时间这样的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，提供一种载置台、使用该载置台的表面特性测定机及表面特性测定方法，其与相关技术的大型平台相比用小型的平台就可以以不同的姿势、方向测定工件并综合其测定结果，或可为了能以不同的姿势、方向加工工件测定其姿势、方向。但是，本专利技术不限于实现上述目的。也可以实现在此未叙述的其它目的。另外，本专利技术也可以不影响专利技术的范围而实现未公开的目的。为实现上述目的，本专利技术的载置台具有可相对于平台将该载置台浮起或固定的支承机构和多个基准。在此，所谓在载置台上具有多个基准，除将基准直接设置在载置台上的结构外，还包括将多个基准设置在基准规尺上，并将该基准规尺固定在载置台上的结构、或将多个单一基准设置在工件上的结构。通过该结构，可在将工件向载置台的载置面载置后的状态下，利用支承机构使载置台自平台浮起，故可轻快地进行载置台的移动。另外，由于可在平台上旋转载置台，故在进行使用测定机的测定时，容易使工件的测定面与用于测定的检测器相对向。这样，由于可将载置台(即工件)旋转，将其测定面朝向检测器，故与沿工件周围移动测定机的相关技术的装置相比，可减小平台的尺寸。其结果是，由于不仅不需要确保用于测定的宽大的空间，还可利用比相关技术的平台小的小型平台，故可提高费用效率。另外，由于在载置台上设置多个基准，故不需要每当针对大型工件时在其周围设置具有基准点的基准规尺，可提高测定程序的效率。另外，通过设置多个基准，在利用测定机进行测定时，通过在测定机可测定的范围配置这些基准，按每个姿势测定该基准，从而即使在进行了载置台的移动或载置台的旋转时，也可以根据这些基准测定数据计算载置台移动后或旋转后的相对位置关系，所以，可高精度地综合各姿势下的测定数据，准确地把握工件的整体图像。在本专利技术中，上述基准至少含有基准球或基准板中的任一个。这样，在基准包括基准球的情况下，由于可通过测定三个位置以上的该基准球的表面计算基准球的中心位置，故可高精度地求出载置台的姿势。另外，在基准包括基准板的情况下，由于可通过测定基准板上的多个点计算基准板的倾斜状态或位置，故可容易地求出载置台的姿势。在本专利技术中，作为上述支承结构使用静压液体轴承。这样，如果使用静压液体轴承，可通过从形成轴承面的衬垫向平台喷出例如空气使载置台浮起，另一方面，可通过使空气流入的方向反向，从平台侧向衬垫内吸引空气，使该衬垫作为吸附垫起作用，将载置台牢固地固定在平台上，因此，结构变地简单。在此，作为衬垫的材质可使用公知的材料，也可以使用例如橡胶制或多孔质金属等衬垫。为实现上述目的，本专利技术的表面特性测定机包括底座、测定工件的检测器、移动自如地支承该检测器的检测器支承机构、测定该检测器位置或角度的测定器，在该底座上载置上述载置台。根据本专利技术，由于可将载置载置台的平台即底座小型化，故可不必将测定机大型化而测定大型的工件，故可大幅度提高费用、空间效率等。为实现上述目的，本专利技术的表面特性测定方法包括使用上述表面特性测定机使载置了工件的载置台在底座上移动或旋转并定位为规定姿势的定位步骤；以规定的姿势将载置台固定在上述底座上的固定步骤；在规定的姿势下测定可测定的多个基准并收集基准测定数据的基准测定步骤；在规定的姿势下根据需要收集工件的工件测定数据的工件测定步骤；根据需要重复进行定位步骤、固定步骤、基准测定步骤、工件测定步骤的重复步骤；根据基准测定数据计算载置台相对于底座的各姿势的姿势计算步骤；根据载置台各姿势的计算结果连接在各姿势下收集的工件测定数据，生成综合测定结果的工件测定数据综合步骤。根据本专利技术，由于可高精度地连接或合成综合以载置台不同的姿势测定的测定数据，故可准确地把握整体形状。根据本专利技术，由于可轻快地使载置工件的载置台移动、旋转，故在例如利用测定机进行测定时，即使测定位置超出测定机的测定范围，也可以容易地将测定机的检测器向工件的测定位置相对地定位。另外，通过使载置台旋转，可使用更小的平台或底座进行工件的测定。另外，由于可从多个基准测定数据计算使载置台移动、旋转时的载置台的各种姿势(即工件的各种姿势)，故可高精度地连接或合成综合各种姿势下的工件测定数据。其结果可容易准确地把握整体形状。附图说明图1是本专利技术第一不典型性限定的实施例的表面特性测定机的侧面图；图2是本专利技术第一不典型性限定的实施例的表面特性测定机的平面图；图3是本专利技术第一不典型性限定的实施例的载置台的基准的立体图；图4是本专利技术第一不典型性限定的实施例的支承机构的剖面图；图5是本专利技术第一不典型性限定的实施例的数据处理装置的方框图；图6是表示本专利技术的表面特性测定方法的流程图；图7是说明本专利技术第一不典型性限定的实施例的测定步骤的图；图8是说明本专利技术第一不典型性限定的实施例的另一测定步骤的图；图9是本专利技术第二不典型性限定的实施例的载置台的基准的立体图；图10是本专利技术第二不典型性限定的实施例的基准的测定方法的说明图；图11是本专利技术第三不典型性限定的实施例的载置台的剖面图；图12是本专利技术的第三不典型性限定的实施例的载置台的吸附机构的剖面图；图13是本专利技术第四不典型性限定的实施例的载置台的侧面图；图14是表示本专利技术第四不典型性限定的实施例的载置台的变形例的侧面图；图15是表示本专利技术第四不典型性限定的实施例的载置台的另一变形例的侧面图；图16是表示本专利技术第四不典型性限定的实施例的载置台的又一变形例的侧面图。具体实施例方式下面，参照附图说明本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种载置台，具有载置作为测定或加工的对象的工件的载置面，其特征在于，包括：支承机构，其支承载置台，为使载置台在平台上移动、旋转自如，可将所述载置台从所述平台浮起，或将所述载置台固定支承在所述平台上；多个基准，其用于测定所述载置台的多种姿势。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：大坪圣一，
申请(专利权)人：三丰株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]