【技术实现步骤摘要】
一种照明面积连续可调均匀照明系统
本专利技术涉及激光光刻
，具体涉及一种照明面积连续可调均匀照明系统。
技术介绍
随着现代PCB板技术的发展，光刻技术得到了越来越多的广泛应用，随着PCB曝光机对产能的要求越来越高，因此对光源的利用率的要求也越来越高，传统的照明系统，其照明面积通常是固定的，这个照明面积需要跟接收器匹配，照明面积稍大一点，会降低能量的利用率，照明面积稍小一点，会引起均匀性不好或图像缺失。因此如何在均匀性和能量利用率之间取得平衡是非常关键的。进而如何得到照明面积，即光斑尺寸连续可调的照明系统是亟待解决的技术问题。现有技术中申请号为201720288170.3的技术专利申请揭示了一种LED灯，LED灯包括驱动机构、灯头组件、散热机构、第一LED模组、保护机构、第一旋转机构及第二旋转机构。灯头组件设置于驱动机构的一侧。散热机构设置于驱动机构的另一侧，散热机构位于灯头组件的一侧。第一LED模组设置于散热机构，第一LED模组位于驱动机构的一侧。保护机构设置于散热机构的两侧，保护机构连接驱动机构的另一...
【技术保护点】
1.一种照明面积连续可调均匀照明系统，其特征在于，所述系统包括：依次沿光轴设置的激光光源、光斑调节镜组、汇聚镜组，其中，/n所述光斑调节镜组包括：依次设置的第一透镜以及第二透镜，所述第一透镜的入光面朝向激光光源，且该入光面的形状为非凹面；第一透镜的出光面远离激光光源设置，且该侧面为凸面；第二透镜的入光面朝向第一透镜的出光面，且该入光面的形状为凸面；第二透镜的出光面朝向光斑调节镜组的入光面设置，且该出光面的形状为非凹面；第二透镜的出光面朝向汇聚镜组设置；且所述第二透镜沿光轴方向运动，其中，所述非凹面包括：凸面或者平面；/n所述汇聚镜组包括：串联设置的第三透镜、第四透镜以及第五...
【技术特征摘要】
1.一种照明面积连续可调均匀照明系统，其特征在于，所述系统包括：依次沿光轴设置的激光光源、光斑调节镜组、汇聚镜组，其中，
所述光斑调节镜组包括：依次设置的第一透镜以及第二透镜，所述第一透镜的入光面朝向激光光源，且该入光面的形状为非凹面；第一透镜的出光面远离激光光源设置，且该侧面为凸面；第二透镜的入光面朝向第一透镜的出光面，且该入光面的形状为凸面；第二透镜的出光面朝向光斑调节镜组的入光面设置，且该出光面的形状为非凹面；第二透镜的出光面朝向汇聚镜组设置；且所述第二透镜沿光轴方向运动，其中，所述非凹面包括：凸面或者平面；
所述汇聚镜组包括：串联设置的第三透镜、第四透镜以及第五透镜，其中，所述第三透镜的入光面朝向所述第二透镜的出光面，第三透镜的出光面朝向第四透镜的入光面，所述第四透镜的出光面朝向第五透镜的入光面设置，第五透镜的出光面出射的光照射到目标上。
2.根据权利要求1所述的一种照明面积连续可调均匀照明系统，其特征在于，所述系统还包括：光棒，所述光棒为长方体，且所述光棒的中轴线与该系统的光轴重合。
3.根据权利要求1所述的一种照明面积连续可调均匀照明系统，其特征在于，所述第三透镜的入光面为为平面、凸面或凹面；
第三透镜的出光面为平面或者凸面。
4.根据权利要求1所述的一种照明面积连续可调均匀照明系统，其特征在于，所述系统还包括：第六透镜，所述第六透镜为双凸透镜，其中，所述第六透镜的入光面为凸面，且朝向第五透镜的出光面；
第六透镜的出光面为凸面。
5.根据权利要求3或4所述的一种照明面积连续可调均匀照明系统，其特征在于，所述系统还包括：第一反射镜，所述第一反射镜的入光面朝向所述第六透镜的出光面，且所述第一反射镜的反射面的法线与所述光轴存在非零夹角。
6.根据权利要求5所述的一种照明面积连续可调均匀照明系统，其特征在于，第一透镜为正透镜，第二透镜为正透镜，第三透镜为负透镜，第四透镜为正透镜，第五透镜为正透镜，第六透镜为正透镜。
7.根据权利要求6所述的一种照明面积连续可调均匀照明系统，其特征在于，第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜，第五透镜，第六透镜满足以...
【专利技术属性】
技术研发人员：李文静，薛业保，章广飞，王运钢，
申请(专利权)人：安徽国芯智能装备有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34
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