一种镜头污染防控装置、LDI镜头及LDI设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种镜头污染防控装置、LDI镜头及LDI设备，属于光刻机镜头领域。镜头污染防控装置包括壳体和进气管，壳体为筒状结构，筒壁上沿竖直方向开有槽，槽的深度小于筒壁高度；壳体上开有进气口，进气口与槽相通；进气管用于向槽内通入气体以便在成像镜头的下端镜片的表面形成保护气幕。通过在下端镜片的表面形成保护气幕，使得工件上的有机溶剂污染物无法到达成像镜头的下端镜片，从而保护下端镜片不被污染，无法形成污染膜，相对于更换保护镜片的方案，本申请大大降低了维护成本；进一步的，通过抽气孔以及抽气管将下端镜片下方的气体抽走，同时带走气体中的污染物和热量，降低环境温度，使得LDI设备的使用寿命更长。

【技术实现步骤摘要】
一种镜头污染防控装置、LDI镜头及LDI设备
本技术涉及一种镜头污染防控装置、LDI镜头及LDI设备，属于光刻机镜头领域。
技术介绍
在电路板PCB(PrintedCircuitBoard，PCB)激光直接成像设备(LaserDirectImage,LDI)中，成像镜头是最核心的元器件之一，直接决定产品成像质量，但是镜头最下端镜片离成像PCB工件距离很短，只有十几毫米，LDI在正常工作过程中，PCB工件上的有机溶剂会慢慢挥发，挥发的有机溶剂会附着在镜头下端的镜片上，从而形成影响成像质量的污染膜，LDI设备采用高能量的激光作为光源，伴随着大量的热量，进一步造成下面的有机溶剂在高温下的大量挥发，特别是当PCB工件上是涂敷湿膜显影剂时，镜头下端镜片短期内会形成大量污染膜，设备必须停机进行维护，这些污染造成大量产品曝光不良，而且作业时难以实时发现，带来很多的经济损失。目前行业中更多是采用保护镜片这种被动防护措施，如专利CN206292528U所示，其方案中采用保护镜片加密封圈的方案，其弊端是需要定期更换保护镜片，维护成本很高。而且每次更换，需要本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种镜头污染防控装置，其特征在于，所述镜头污染防控装置安装在成像镜头的下端镜片的下方；/n所述镜头污染防控装置包括：壳体和进气口，所述壳体为筒状结构，筒壁上沿竖直方向开有槽，槽的深度小于筒壁高度；/n所述进气口开设在壳体上，所述进气口与槽相通；/n所述进气口用于向槽内通入气体以便在成像镜头的下端镜片的表面形成保护气幕。/n

【技术特征摘要】
1.一种镜头污染防控装置，其特征在于，所述镜头污染防控装置安装在成像镜头的下端镜片的下方；
所述镜头污染防控装置包括：壳体和进气口，所述壳体为筒状结构，筒壁上沿竖直方向开有槽，槽的深度小于筒壁高度；
所述进气口开设在壳体上，所述进气口与槽相通；
所述进气口用于向槽内通入气体以便在成像镜头的下端镜片的表面形成保护气幕。


2.根据权利要求1所述的镜头污染防控装置，其特征在于，位于壳体内侧的槽壁的高度低于位于壳体外侧的槽壁的高度；所述镜头污染防控装置安装在成像镜头上时，位于壳体内侧的槽壁与成像镜头的下端镜片之间具有缝隙，以便气体从缝隙处喷出在成像镜头的下端镜片的表面形成保护气幕。


3.根据权利要求1所述的镜头污染防控装置，其特征在于，所述镜头污染防控装置安装在成像镜头上时，位于壳体内侧的槽壁靠近成像镜头的下端镜片处开有若干出气孔，以便气体从出气孔喷出在成像镜头的下端镜片的表面形成保护气...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖燕青，王方江，陈海巍，程珂，何伟，
申请(专利权)人：江苏影速集成电路装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32