一种激光直写曝光机的激光器及激光直写曝光机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种激光直写曝光机的激光器及激光直写曝光机，属于激光直写曝光机技术领域。通过提供一种无水管接头的水冷装置，解决了现有激光器中存在漏水风险导致停机的问题；进一步的，通过将激光二极管设置为上下两层，布局紧凑，减小了激光器的体积；进一步的，通过将光纤出口方向设置为与激光二极管的插拔方向平行，增大了光纤安装时的弯曲半径，减少了光纤通电后硬化导致的断裂风险；同时这种布局便于光纤的安装，提升了安装效率。

【技术实现步骤摘要】
一种激光直写曝光机的激光器及激光直写曝光机
本技术涉及一种激光直写曝光机的激光器及激光直写曝光机，属于激光直写曝光机

技术介绍
激光直写是利用强度可变的激光束对基片表面的抗蚀材料实施变剂量曝光的过程，而激光器作为激光直写曝光机中的能量源，对曝光过程起着至关重要的作用。激光器通常封闭在外壳里面，由于激光工作状态下会散发出大量的热量，如果散热不好会导致激光器寿命降低或损坏，故散热是激光直写设备(LaserDirectImage，LDI)中优先考虑的问题。现有的激光器通常采用水冷方式进行散热，比如授权公告号为CN106019859B、专利技术名称为“一种激光直写曝光机的高功率紫外半导体激光器”的专利技术专利中即设置有循环水冷装置，且其循环水冷装置设置在激光器内部，因为内部冷却线路的复杂，导致其循环水冷装置需要在内部设置大量接头比如上直角快速接头、下直角快速接头、下直通快速接头、上直通快速接头等，因而不可避免的存在接头漏水的风险，一旦发生漏水，就会导致停机，而更换新激光器需要很长时间，影响生产。另外，激光器的大小直接关本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种激光直写曝光机的激光器，包括激光二极管、控制模块和壳体，其特征在于，所述激光直写曝光机的激光器还包括：双层激光二极管固定模块，所述激光二极管分两层设置于所述双层激光二极管固定模块上，所述双层激光二极管固定模块两层之间设置有冷却管，所述激光二极管的插拔方向与光纤出口方向一致；/n所述激光二极管、控制模块、双层激光二极管固定模块和冷却管均设置于壳体内部。/n

【技术特征摘要】
1.一种激光直写曝光机的激光器，包括激光二极管、控制模块和壳体，其特征在于，所述激光直写曝光机的激光器还包括：双层激光二极管固定模块，所述激光二极管分两层设置于所述双层激光二极管固定模块上，所述双层激光二极管固定模块两层之间设置有冷却管，所述激光二极管的插拔方向与光纤出口方向一致；
所述激光二极管、控制模块、双层激光二极管固定模块和冷却管均设置于壳体内部。


2.根据权利要求1所述的激光直写曝光机的激光器，其特征在于，所述控制模块包括上下层散热件和控制板卡，所述控制板卡设置于上下层散热件之间，所述上下层散热件之间的侧边处设置有冷却管；所述上下层散热件之间的侧边处设置的冷却管与双层激光二极管固定模块两层之间设置的冷却管为一体结构，所述冷却管用于对所述控制板卡和所述激光二极管进行散热。


3.根据权利要求2所述的激光直写曝光机的激光器，其特征在于，所述双层激光二极管固定模块设置在控制模块一侧；所述冷却管经过控制模块的两个相对的侧边，同时经过双层激光二极管固定模块，且位于双层激光二极管固定模块之间。

【专利技术属性】
技术研发人员：肖燕青，王方江，陈海巍，程珂，
申请(专利权)人：江苏影速集成电路装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32