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本实用新型公开了一种激光直写曝光机的激光器及激光直写曝光机，属于激光直写曝光机技术领域。通过提供一种无水管接头的水冷装置，解决了现有激光器中存在漏水风险导致停机的问题；进一步的，通过将激光二极管设置为上下两层，布局紧凑，减小了激光器的体积；...
该专利属于江苏影速集成电路装备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏影速集成电路装备股份有限公司授权不得商用。

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