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本实用新型公开了一种镜头污染防控装置、LDI镜头及LDI设备，属于光刻机镜头领域。镜头污染防控装置包括壳体和进气管，壳体为筒状结构，筒壁上沿竖直方向开有槽，槽的深度小于筒壁高度；壳体上开有进气口，进气口与槽相通；进气管用于向槽内通入气体以便...
该专利属于江苏影速集成电路装备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏影速集成电路装备股份有限公司授权不得商用。

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