用于机械手的驱动装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供用于机械手的驱动装置。所述驱动装置包括转动转轴、平动转轴、与所述转动转轴机械连接的减速机和转动伺服电机、以及与所述平动转轴机械耦合的平动伺服电机，所述减速机和转动转轴分别包括与平动转轴形状相匹配的减速机孔和转轴孔，所述平动转轴能以在其中自由转动的方式穿过且伸出所述减速机孔和转轴孔，并连接和驱动转动‑平动转换装置。本实用新型专利技术可提高机械手转动启停的灵活性和稳定性，还可通过选择合适的减速比，使得额定转动力矩得到提高，并可驱动更大更重的机械手，且总体费用大大低于直驱电机。

【技术实现步骤摘要】
用于机械手的驱动装置
本技术涉及太阳能电池制造设备，特别涉及用于机械手的驱动装置。
技术介绍
在半导体制造或太阳能电池制造领域，用于传动晶圆或硅片的机械手除了进行沿直线的平动运动之外，还会随着机械手平台进行转动。现有技术中由直驱电机控制机械手的转动运动，由普通转动伺服电机控制机械手的直线平动运动。但当遇到“重载、大惯量”的机械手时，直驱电机与负载的惯量难以达到合适的匹配，使得转动运动启动停止时易出现不稳定的现象。因此，如何提供一种用于机械手的驱动装置以提高机械手转动启停的灵活性和稳定性已成为业界亟待解决的技术问题。
技术实现思路
针对现有技术的上述问题，本技术提出了一种用于机械手的驱动装置，所述驱动装置包括转动转轴、平动转轴、与所述转动转轴机械连接的减速机和转动伺服电机、以及与所述平动转轴机械耦合的平动伺服电机，所述减速机和转动转轴分别包括与平动转轴形状相匹配的减速机孔和转轴孔，所述平动转轴能以在其中自由转动的方式穿过且伸出所述减速机孔和转轴孔，并连接和驱动转动-平动转换装置。在一实施例中，所述减本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于机械手的驱动装置，其特征在于，所述驱动装置包括转动转轴、平动转轴、与所述转动转轴机械连接的减速机和转动伺服电机、以及与所述平动转轴机械耦合的平动伺服电机，所述减速机和转动转轴分别包括与平动转轴形状相匹配的减速机孔和转轴孔，所述平动转轴能以在其中自由转动的方式穿过且伸出所述减速机孔和转轴孔，并连接和驱动转动-平动转换装置。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于机械手的驱动装置，其特征在于，所述驱动装置包括转动转轴、平动转轴、与所述转动转轴机械连接的减速机和转动伺服电机、以及与所述平动转轴机械耦合的平动伺服电机，所述减速机和转动转轴分别包括与平动转轴形状相匹配的减速机孔和转轴孔，所述平动转轴能以在其中自由转动的方式穿过且伸出所述减速机孔和转轴孔，并连接和驱动转动-平动转换装置。


2.根据权利要求1所述的驱动装置，其特征在于，所述减速机包括谐波减速机。


3.根据权利要求1或2所述的驱动装置，其特征在于，所述减速机包括摆线针轮谐波减速机。


4.根据权利要求2所述的驱动装置，其特征在于，所述谐波减速机包括沿减速机孔偏心设置的输入轴和驱动齿轮组，所述转动伺服电机与所述输入轴连接，所述驱动齿轮组包括与所述输入轴同轴连接的第一齿轮以及与第一齿轮相互啮合且将驱动力传送到谐波减速机主体的第二齿轮。


5.根据权利要求4所述的驱动装置，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：李朋，
申请(专利权)人：上海理想万里晖薄膜设备有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31