一种加热腔制造技术

本实用新型专利技术提供一种加热腔。所述加热腔包括腔体以及从上至下依次设置在腔体中的上加热器、载板载送模块、下加热器以及冷阱，所述下加热器以及冷阱之间还依次设置有反射板以及水冷挡板。本实用新型专利技术能保障冷阱正常工作，既减少加热器辐射到冷阱的热量，又保障冷阱与气体的接触吸附面积，提高冷阱的吸附效率。提高冷阱的吸附效率。提高冷阱的吸附效率。

【技术实现步骤摘要】
一种加热腔


[0001]本技术涉及太阳能电池制造领域，特别涉及一种加热腔。

技术介绍

[0002]异质结太阳能电池(HIT或HJT)会使用到将硅片进行加热的加热腔。HIT太阳能电池产线中的加热腔为提高抽气速率，保证工艺节拍，腔体结构紧凑。在类似可以镀膜的加热腔中，镀高质量的薄膜需要利用冷阱盘管的冷凝低温表面效应吸附腔体内水汽。如图1所示，现有技术中的加热腔1包括腔体10以及从上至下依次设置在腔体10中的上安装板11、上加热器12、载板载送模块13、下加热器14、下安装板15以及冷阱16。加热腔1内冷阱盘管16距下加热器1的距离很近，会造成冷阱16表面温度过高，对水汽的吸附效果降低。
[0003]因此，如何提供一种加热腔，以保障冷阱正常工作，既减少加热器辐射到冷阱的热量，又保障冷阱与气体的接触吸附面积，提高冷阱的吸附效率，已成为业内亟待解决的技术问题。

技术实现思路

[0004]针对现有技术的上述问题，本技术提出了一种加热腔，其包括腔体以及从上至下依次设置在腔体中的上加热器、载板载送模块、下加热器以及冷阱，所述下加热器以及冷阱本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种加热腔，其包括腔体以及从上至下依次设置在腔体中的上加热器、载板载送模块、下加热器以及冷阱，其特征在于，所述下加热器以及冷阱之间还依次设置有反射板以及水冷挡板。2.根据权利要求1所述的加热腔，其特征在于，所述反射板靠近所述下加热器设置，所述水冷挡板靠近所述冷阱设置。3.根据权利要求1所述的加热腔，其特征在于，所述反射板上开设有第一通孔，所述水冷挡板上开设有第二通孔，所述第一通孔与第二通孔交错设置。4.根据权利要求1所述的加热腔，其特征在于，所述冷阱设置有第一进入管和第一排出管，冷媒从所述第一进入管进入所述冷阱且从所述第一排出管排出。5.根据权利要求1所述的加热腔，其特征在于，所述水冷挡板设置有第二进入管和第二排出管，冷却水从所述第二进入管进入所述水冷挡板且从所述第二排出管排出。6.根据权利要求1所述的加热腔，其特征在于，所述反射板以...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐升东，徐和平，
申请(专利权)人：上海理想万里晖薄膜设备有限公司，
类型：新型
国别省市：