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本实用新型提供一种加热腔。所述加热腔包括腔体以及从上至下依次设置在腔体中的上加热器、载板载送模块、下加热器以及冷阱，所述下加热器以及冷阱之间还依次设置有反射板以及水冷挡板。本实用新型能保障冷阱正常工作，既减少加热器辐射到冷阱的热量，又保障冷...
该专利属于上海理想万里晖薄膜设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海理想万里晖薄膜设备有限公司授权不得商用。

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