具有自诊断功能的加工装置制造方法及图纸

提供具有自诊断功能的加工装置，其自我诊断各构成要素有无变化。加工装置具有保持工作台和在未进行加工单元的加工的状态下诊断加工装置的状态的自诊断单元，自诊断单元具有：振动源，其对加工装置赋予规定范围的振动频率的振动；振动传感器，其对在加工装置中传播的振动进行观测，获取振动波形；固有振动频率记录部，其将在加工装置的各构成要素中产生共振的振动频率作为固有振动频率进行记录；频率特性存储部，其对根据振动波形计算的振动的频率特性进行存储；和判定部，其在振动的频率特性所包含的振动峰值的振动频率与振动峰值所属的构成要素的固有振动频率的差值超过规定的范围的情况下，判定为在该振动峰值所属的该构成要素中存在变化。

【技术实现步骤摘要】
具有自诊断功能的加工装置
本专利技术涉及加工装置，其具有自诊断功能，能够自诊断有无变化。
技术介绍
在通过由硅或蓝宝石等构成的被加工物形成包含半导体器件或光器件的器件芯片的工序中，使用各种加工装置。例如使用将被加工物按照每个器件进行分割的切削装置、进行激光加工的激光加工装置、对该被加工物进行磨削而薄化至规定的厚度的磨削装置等。这些加工装置具有：保持工作台，其对被加工物进行保持；以及加工单元，其对被加工物进行加工。并且，已知有通过电动机等使保持工作台和加工单元旋转的机构、以及通过电动机等使滚珠丝杠旋转而使固定有保持工作台和加工单元的滑块移动的机构(参照专利文献1和专利文献2)。当长年使用加工装置时，在该加工装置的各构成要素中，损耗逐渐发展。例如产生如下的变化：螺母发生松动、或滚珠丝杠的槽加深等。由于这些变化，保持工作台和加工单元等的旋转或移动的情况也发生变化，有时在加工装置的加工中无法得到规定的结果。例如当在保持工作台的加工进给中使用的滚珠丝杠的槽被磨削而加深时，载置有保持工作台的滑块会因较轻的力而移动，保持工作台容易发生本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具有自诊断功能的加工装置，该加工装置具有：/n保持工作台，其对被加工物进行保持；以及/n加工单元，其对该保持工作台所保持的被加工物进行加工，/n其特征在于，/n该加工装置具有自诊断单元，该自诊断单元在未进行该加工单元的加工的状态下对加工装置的状态进行诊断，/n该自诊断单元具有：/n振动源，其对该加工装置赋予规定范围的振动频率的振动；/n振动传感器，其对通过该振动源产生且在该加工装置中传播的振动进行观测，获取振动波形；/n固有振动频率记录部，其将在该加工装置的各构成要素中产生共振的振动频率作为固有振动频率进行记录；/n频率特性存储部，其对根据该振动传感器获取的振动波形而计算的该振动的频率...

【技术特征摘要】
20181227 JP 2018-2448991.一种具有自诊断功能的加工装置，该加工装置具有：
保持工作台，其对被加工物进行保持；以及
加工单元，其对该保持工作台所保持的被加工物进行加工，
其特征在于，
该加工装置具有自诊断单元，该自诊断单元在未进行该加工单元的加工的状态下对加工装置的状态进行诊断，
该自诊断单元具有：
振动源，其对该加工装置赋予规定范围的振动频率的振动；
振动传感器，其对通过该振动源产生且在该加工装置中传播的振动进行观测，获取振动波形；
固有振动频率记录部，其将在该加工装置的各构成要素中产生共振的振动频率作为固有振动频率进行记录；
频率特性存储部，其对根据该振动传感器获取的振动波形而计算的该振动的...

【专利技术属性】
技术研发人员：久保雅裕，高桥聪，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：日本;JP