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提供具有自诊断功能的加工装置，其自我诊断各构成要素有无变化。加工装置具有保持工作台和在未进行加工单元的加工的状态下诊断加工装置的状态的自诊断单元，自诊断单元具有：振动源，其对加工装置赋予规定范围的振动频率的振动；振动传感器，其对在加工装置中...
该专利属于株式会社迪思科所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社迪思科授权不得商用。

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