保管装置制造方法及图纸

保管装置具备壳体、底座(11)、中间掩模保管搁架(31)、马达(81)。底座(11)配置在壳体内，且相对于该壳体而位置被固定。中间掩模保管搁架(31)经由沿上下方向延伸的旋转轴(15)连结于底座(11)，且以旋转轴(15)为中心而相对于底座(11)相对旋转。马达(81)使旋转轴(15)旋转。底座(11)具备以非接触的方式输送电力的送电部(14)。中间掩模保管搁架(31)具备旋转搁架(32)、检测装置(33)、受电部(34)。在旋转搁架(32)配置中间掩模。检测装置(33)配置成与旋转搁架(32)一体地旋转，且由电力驱动。受电部(34)将从送电部(14)输送来的电力供给至检测装置(33)。

Storage device

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】保管装置
本专利技术主要涉及具备旋转搁架的保管装置。
技术介绍
以往，公知有用于保管用于半导体制造的中间掩模等的保管装置。专利文献1公开了这种保管装置。专利文献1的保存装置具备形成用于保存晶圆、中间掩模等对象物的至少1个封闭的区域的壳体。在壳体的内侧配置有对象物保存装置。对象物保存装置具有上下平行排列的多个环状搁架。对象物保存装置具备用于实现绕垂直的旋转轴的旋转运动的单元。对象物保存装置由多个保存模块构成。利用电气驱动装置使该对象物保存装置旋转，以使得配置在对象物保存装置内的保存模块进入对象物处理装置的到达位置内。利用对象物处理装置对保存在保存模块内的对象物进行处理。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特表2009－545141号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题例如，为了进行中间掩模等对象物的质量管理，存在想要在对象物保存装置内配置各种传感器或照相机等装置的期望。但是，在上述专利文献1的结构中，当欲从设置在对象物保存装置的外部的电源朝传感器等供给电力的情况下，由于对象本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种保管装置，用于保管物品，其特征在于，具备：/n壳体；/n固定部，配置在上述壳体内，且相对于该壳体而位置被固定；/n旋转部，经由沿上下方向延伸的旋转轴而连结于上述固定部，且以上述旋转轴为中心而相对于上述固定部相对旋转；以及/n旋转轴驱动部，使上述旋转轴旋转，/n上述固定部具备以非接触的方式输送电力的送电部，/n上述旋转部具备：/n旋转搁架，供上述物品配置；/n电力驱动装置，配置成与上述旋转搁架一体地旋转，且由电力驱动；以及/n受电部，将从上述送电部输送来的电力供给至上述电力驱动装置。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171127 JP 2017-2264601.一种保管装置，用于保管物品，其特征在于，具备：
壳体；
固定部，配置在上述壳体内，且相对于该壳体而位置被固定；
旋转部，经由沿上下方向延伸的旋转轴而连结于上述固定部，且以上述旋转轴为中心而相对于上述固定部相对旋转；以及
旋转轴驱动部，使上述旋转轴旋转，
上述固定部具备以非接触的方式输送电力的送电部，
上述旋转部具备：
旋转搁架，供上述物品配置；
电力驱动装置，配置成与上述旋转搁架一体地旋转，且由电力驱动；以及
受电部，将从上述送电部输送来的电力供给至上述电力驱动装置。


2.根据权利要求1所述的保管装置，其特征在于，
上述送电部具备：
支承体，包围上述旋转轴的外周的至少一部分；以及
导电体，沿着上述支承体延伸的方向配置于该支承体，
上述受电部具备卷绕导电部件而形成的线圈，
借助通过在上述送电部的上述导电体流过电流而产生的磁场，使上述受电部的上述线圈产生感应电流。


3.根据权利要求2所述的保管装置，其特征在于，
上述导电体由印刷基板的电路图案构成。


4.根据权利要求2所述的保管装置，其特征在于，
上述支承体具备以沿周向延伸的方...

【专利技术属性】
技术研发人员：水谷豊，早川雅章，富田洋靖，林政贵，
申请(专利权)人：村田机械株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP