下载保管装置的技术资料

文档序号:24766028

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保管装置具备壳体、底座(11)、中间掩模保管搁架(31)、马达(81)。底座(11)配置在壳体内,且相对于该壳体而位置被固定。中间掩模保管搁架(31)经由沿上下方向延伸的旋转轴(15)连结于底座(11),且以旋转轴(15)为中心而相对于底座...
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