一种用于镀膜机真空室的工件架兼容机构制造技术

一种用于镀膜机真空室的工件架兼容机构，本实用新型专利技术的挂桶下活动连接有可分离的小齿轮与旋转中心的不动齿轮盘啮合，形成了桶有自身自转又围绕炉体中心有公转的状态，使依附在挂桶表面的产品在旋转中获得靶材的离子溅射膜，实现弧形产品镀膜，而小齿轮的顶端贯穿有挂架托盘，挂架托盘在挂桶的外围围绕放置挂架有若干组，等距于挂桶与靶材的距离，而挂架的底端连接有自转齿轮机构，依照挂架的原理，实现了平板形的产品镀膜与弧面产品镀膜的兼容，在平板镀膜时，只要取下桶，装上平板挂架即可；在镀孤面产品时，取下平板挂架，装上桶，从而实现一炉多用，有效减少了初投资，使有限的设备，更好适应了变化的市场对不同产品的需求。

A compatible mechanism of workpiece holder for vacuum chamber of coating machine

【技术实现步骤摘要】
一种用于镀膜机真空室的工件架兼容机构
本技术涉及镀膜机的工件架领域，更具体地说，尤其涉及一种用于镀膜机真空室的工件架兼容机构。
技术介绍
目前，随着手机、化妆品、光学、光电子产业的迅速发展，出现了很多不规则形状的元件，如弧形产品，片状产品等，目前常用的的镀膜机一般只有只能进行片状产品镀膜或仅能进行弧形产品的镀膜。而现有的镀膜机在磁控溅射镀膜时，桶型挂架与片状挂架都是在两个炉子来进行的，互不通用，而买一个炉子，少则几十万，多则上百上千万，企业的设备投入成本较大，不利于适应市场不同产品需求。
技术实现思路
本技术针对上述缺点对现有技术进行改进，提供一种用于镀膜机真空室的工件架兼容机构，技术方案如下：一种用于镀膜机真空室的工件架兼容机构，包括有炉体，该炉体内设有镀膜炉腔，所述镀膜炉腔的内部设置有公转盘转动机构和自转齿轮机构，内壁一侧连接有靶材，该公转盘转动机构连接于炉体的内侧底部，其包括有固定连接炉体的底盘，所述底盘的上方均匀排列连接有第一支撑柱若干组，并通过第一支撑柱连接有不动大齿盘，该不动大齿盘的外周均匀围绕啮合有小齿轮若干组，并形成行星齿轮机构，所述小齿轮的底部中心均通过延伸穿设于公转盘，顶端中心均延伸贯穿挂架托盘，且该小齿轮的顶端面均开设有固定孔，所述固定孔穿设有挂桶，该挂桶可转动穿设于小齿轮的上方，所述挂架托盘的外周边沿围绕穿设有挂架组件，该挂架组件的底端连接有自转齿轮机构，所述挂架组件的外侧与靶材之间的距离和挂桶的外周与靶材之间的距离一致。所述自转齿轮机构设置于炉体的内侧底部与底盘之间，其包括有旋转缸，该旋转缸固定嵌设于炉体的外侧底部，其旋转轴穿过炉体并设置于镀膜炉腔的内部，所述旋转缸的旋转轴连接有曲柄摇杆机构，该曲柄摇杆机构的另一端连接有导向滑块，所述导向滑块的下方连接有导向轨，该导向轨固定连接于炉体的内侧底部，所述导向滑块的上方固定连接有齿条，该齿条与自转齿轮相啮合，所述自转齿轮套设于挂架组件的底端，且该挂架组件于自转齿轮的上方均固定穿设有自转定位器。进一步，所述挂架组件包括有挂架及连接于挂架两端的自转下轴和定位上轴，该挂架的上方通过定位上轴活动穿设于公转上盘，该挂架的下方通过自转下轴从上到下依次穿设有自转定位器和与齿条相啮合的自转齿轮，使挂架进行限位自转，所述挂架与靶材相对应设置。进一步，旋转缸旋转180度带动曲柄摇杆机构把运动由摇杆传递到滑块上，滑块上装有能够让自转齿轮旋转足够180度的齿条，在公转的同时，由于此齿条与自转齿轮相啮合，带动带有产品的挂具旋转实现了翻身，而齿轮的上端有自转定位器，该自转定位器为磨擦盘，此磨擦盘与自转下轴通过平键固定联接，在重力作用下压在自转齿轮的上表面，当轴的转角大于180度时，由销子限位，磨擦盘打滑从而达到准确翻身的目的，当翻完身后，旋转缸反转，滑块退回，挂架保持了不动，实现再镀另一面的目的，并且可以实现多次反复翻身镀膜的目的。所述挂桶的两端分别连接有自转下轴和定位上轴，该挂桶的上方通过定位上轴活动穿设于公转上盘，该挂桶的下方通过自转下轴活动连接小齿轮。所述公转盘的底部固定连接有传动齿轮，该传动齿轮的下方可转动连接底盘，上方通过均匀排列的第二支撑柱连接挂架托盘，该挂架托盘的顶端面围绕通过公转支撑杆连接有公转上盘，所述公转上盘与挂架托盘之间可拆卸连接有挂架组件若干组。所述炉体的内侧顶端对应公转上盘的中心延伸设置有上支撑座，并通过其活动连接公转上盘。与现有技术相比，本技术的有益效果为：本技术的挂桶下活动连接有可分离的小齿轮与旋转中心的不动齿轮盘啮合，形成了桶有自身自转又围绕炉体中心有公转的状态，使依附在挂桶表面的产品在旋转中获得靶材的离子溅射膜，实现弧形产品镀膜，而小齿轮的顶端贯穿有挂架托盘，挂架托盘在挂桶的外围围绕放置挂架有若干组，等距于挂桶与靶材的距离，而挂架托盘能够在小齿轮转动时实现公转，挂架的底端连接有自转齿轮机构，依照挂架的原理，实现了平板形的产品镀膜与弧面产品镀膜的兼容，在平板镀膜时，只要取下桶，装上平板挂架即可；在镀孤面产品时，取下平板挂架，装上桶，从而实现一炉多用，有效减少了初投资，使有限的设备，更好适应了变化的市场对不同产品的需求。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍：图1为本技术的全剖结构示意图；图2为本技术的局部立体放大图；图3为本技术的全剖俯视图；图4为本技术的主视图；图5为本技术的立体视图包括：炉体1、上支撑座2、固定孔3、挂桶4、公转上盘5、定位上轴6、公转支撑杆8、自转下轴9、自转定位器10、自转齿轮11、齿条12、导向轨13、滑块14、摇杆15、旋转缸16、曲柄摇杆机构17、镀膜炉腔18、挂架组件19、靶材20、公转盘转动机构21、自转齿轮机构22、底盘23、第一支撑柱24、不动大齿盘25、小齿轮26、公转盘27、挂架托盘28、传动齿轮29、第二支撑柱30、挂架32。具体实施方式下面结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术的保护范围。下面将结合附图对本技术实施例作进一步地详细描述，详细如下：一种用于镀膜机真空室的工件架兼容机构，包括有炉体1，该炉体1内设有镀膜炉腔18，镀膜炉腔18的内部设置有公转盘转动机构21和自转齿轮机构22，内壁一侧连接有靶材20，该公转盘转动机构21连接于炉体1的内侧底部，其包括有固定连接炉体1的底盘23，底盘23的上方均匀排列连接有第一支撑柱24若干组，并通过第一支撑柱24连接有不动大齿盘25，该不动大齿盘25的外周均匀围绕啮合有小齿轮26若干组，并形成行星齿轮机构，小齿轮26的底部中心均通过延伸穿设于公转盘27，顶端中心均延伸贯穿挂架托盘28，且该小齿轮26的顶端面均开设有固定孔3，固定孔3穿设有挂桶4，该挂桶4可转动穿设于小齿轮26的上方，挂架托盘28的外周边沿围绕穿设有挂架组件19，该挂架组件19的底端连接有自转齿轮机构22，挂架组件19的外侧与靶材20之间的距离和挂桶4的外周与靶材20之间的距离一致。自转齿轮机构22设置于炉体1的内侧底部与底盘23之间，其包括有旋转缸16，该旋转缸16固定嵌设于炉体1的外侧底部，其旋转轴穿过炉体1并设置于镀膜炉腔18的内部，旋转缸16的旋转轴连接有曲柄摇杆机构17，该曲柄摇杆机构17的另一端连接有导向滑块14，导向滑块14的下方连接有导向轨13，该导向轨13固定连接于炉体1的内侧底部，导向滑块14的上方固定连接有齿条12，该齿条12与自转齿轮11相啮合，自转齿轮11套设于挂架组件19的底端，且该挂架组件19于自转齿轮11的上方均固定穿设有自转定位器10。挂架组件19包括有本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于镀膜机真空室的工件架兼容机构，包括有炉体(1)，该炉体(1)内设有镀膜炉腔(18)，其特征在于：所述镀膜炉腔(18)的内部设置有公转盘转动机构(21)和自转齿轮机构(22)，内壁一侧连接有靶材(20)，该公转盘转动机构(21)连接于炉体(1)的内侧底部，其包括有固定连接炉体(1)的底盘(23)，所述底盘(23)的上方均匀排列连接有第一支撑柱(24)若干组，并通过第一支撑柱(24)连接有不动大齿盘(25)，该不动大齿盘(25)的外周均匀围绕啮合有小齿轮(26)若干组，并形成行星齿轮机构，所述小齿轮(26)的底部中心均通过延伸穿设于公转盘(27)，顶端中心均延伸贯穿挂架托盘(28)，且该小齿轮(26)的顶端面均开设有固定孔(3)，所述固定孔(3)穿设有挂桶(4)，该挂桶(4)可转动穿设于小齿轮(26)的上方，所述挂架托盘(28)的外周边沿围绕穿设有挂架组件(19)，该挂架组件(19)的底端连接有自转齿轮机构(22)，所述挂架组件(19)的外侧与靶材(20)之间的距离和挂桶(4)的外周与靶材(20)之间的距离一致。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于镀膜机真空室的工件架兼容机构，包括有炉体(1)，该炉体(1)内设有镀膜炉腔(18)，其特征在于：所述镀膜炉腔(18)的内部设置有公转盘转动机构(21)和自转齿轮机构(22)，内壁一侧连接有靶材(20)，该公转盘转动机构(21)连接于炉体(1)的内侧底部，其包括有固定连接炉体(1)的底盘(23)，所述底盘(23)的上方均匀排列连接有第一支撑柱(24)若干组，并通过第一支撑柱(24)连接有不动大齿盘(25)，该不动大齿盘(25)的外周均匀围绕啮合有小齿轮(26)若干组，并形成行星齿轮机构，所述小齿轮(26)的底部中心均通过延伸穿设于公转盘(27)，顶端中心均延伸贯穿挂架托盘(28)，且该小齿轮(26)的顶端面均开设有固定孔(3)，所述固定孔(3)穿设有挂桶(4)，该挂桶(4)可转动穿设于小齿轮(26)的上方，所述挂架托盘(28)的外周边沿围绕穿设有挂架组件(19)，该挂架组件(19)的底端连接有自转齿轮机构(22)，所述挂架组件(19)的外侧与靶材(20)之间的距离和挂桶(4)的外周与靶材(20)之间的距离一致。


2.根据权利要求1所述的一种用于镀膜机真空室的工件架兼容机构，其特征在于：所述自转齿轮机构(22)设置于炉体(1)的内侧底部与底盘(23)之间，其包括有旋转缸(16)，该旋转缸(16)固定嵌设于炉体(1)的外侧底部，其旋转轴穿过炉体(1)并设置于镀膜炉腔(18)的内部，所述旋转缸(16)的旋转轴连接有曲柄摇杆机构(17)，该曲柄摇杆机构(17)的另一端连接有导向滑块(14)，所述导向滑块(14)的下方连接有导向轨(13)，该导向轨(13)固定连接于炉体(1)的内侧底部，所述导向滑块(14)的上方固定连接有齿条(12)，该齿条(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：王越民，王焘骏，
申请(专利权)人：佛山王氏航空光学科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44