一种制备六氟丁二烯的方法技术

本发明专利技术公开了一种制备六氟丁二烯的方法，通过在包括过渡金属化合物和有机磷化合物的复合催化剂的作用下，由三氟溴乙烯和三氟乙烯基溴化锌经偶联反应实现。本发明专利技术提供的制备方法，具有反应收率高、原料成本低、三废量少、工艺简单、反应条件温和、工艺操作简单等优点。

A method of preparing hexafluorobutadiene

【技术实现步骤摘要】
一种制备六氟丁二烯的方法
本专利技术涉及一种全氟共轭烯烃的制备方法，尤其是涉及一种六氟丁二烯的制备方法。
技术介绍
六氟丁二烯(C4F6)具有较低的氟碳比(F:C＝1.5)，在作为电子蚀刻气能够刻蚀精度在100nm以下的电子产品，可用于制造新一代3DNAND闪存，是生产高端芯片的关键电子蚀刻气。除具有优异的蚀刻性能外，六氟丁二烯还具有良好的环境性能，其ODP＝0、GWP(100)＝290，且在大气中存在时间仅1.9d，是一种温室效应极低、绿色环保的蚀刻气。对于六氟丁二烯的制备，现有技术做出了以下贡献：US289404公开了1,2-二氯二氟乙烯在F2存在下调聚合成中间产物1,2,3,4-四氯六氟丁烷、再用锌粉脱氯得到目标产物全氟丁二烯的方法。此方法第一步反应氟化调聚阶段不仅需要使用高危险性气体F2，而且需要在超低温条件-70℃下操作。US304630公开了以三氟氯乙烯为原料制备全氟丁二烯的方法，三氟氯乙烯先与ICl在35～40℃密封体系中反应得到1,2-二氯-1,2,2-三氟碘乙烷，然后与当量的汞在紫外灯照射下偶联得到1,本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种制备六氟丁二烯的方法，其特征在于所述方法包括：/n在催化剂作用下，三氟溴乙烯和三氟乙烯基溴化锌反应制备六氟丁二烯；/n所述催化剂包括过渡金属化合物和有机磷化合物，且：/n所述过渡金属化合物包括选自二卤化钯、Pd(OAc)

【技术特征摘要】
1.一种制备六氟丁二烯的方法，其特征在于所述方法包括：
在催化剂作用下，三氟溴乙烯和三氟乙烯基溴化锌反应制备六氟丁二烯；
所述催化剂包括过渡金属化合物和有机磷化合物，且：
所述过渡金属化合物包括选自二卤化钯、Pd(OAc)2、三氟乙酸钯、双(三苯基膦)二氯化钯、四(三苯基膦)钯、双[1,2-双(二苯基膦)乙烷]钯、二乙酰丙酮钯、邻菲罗啉氯化钯、2,2’-联吡啶钯、双(二亚苄基丙酮)二钯、三(二亚苄基丙酮)二钯、六氟乙酰丙酮钯和1,4-双(二苯基膦丁烷)二氯化钯中的至少一种；
所述有机磷化合物包括选自PR1R2R3、P(OR1)R2R3、P(OR1)(OR2)R3和P(OR1)(OR2)(OR3)中的至少一种，其中：
R1、R2和R3独自地选自甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、叔丁基、苯基、邻甲基苯基,间甲基苯基、对甲基苯基或二苯基乙氧基膦。


2.按照权利要求1所述的制备六氟丁二烯的方法，其特征在于所述催化剂中：
所述过渡金属化合物包括选自二卤化钯、Pd(OAc)2、三氟乙酸钯、双(三苯基膦)二氯化钯、四(三苯基膦)钯、双[1,2-双(二苯基膦)乙烷]钯、二乙酰丙酮钯、2,2’-联吡啶钯、双(二亚苄基丙酮)二钯中的至少一种；
所述有机磷化合物包括选自PR1R2R3、P(OR1)R2R3、P(OR1)(OR2)R3和P(OR1)(OR2)(OR3)中的至少一种，其中：
R1、R2和R3独自地选自正丙基、异丙基、正丁基、叔丁基、苯基、邻甲基苯基,间甲基苯基、对甲基苯基或二苯基乙氧基膦。


3.按照权利要求2所述的制备六氟丁二烯的方法，其特征在于所述催化剂中：
所述过渡金属化合物包括选自PdCl2、Pd(OAc)2、二乙酰丙酮钯和四(三苯基膦)钯中至少一...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴海锋，谢浩杰，刘辉，刘武灿，陈先进，赵翀，
申请(专利权)人：浙江蓝天环保高科技股份有限公司，中化蓝天集团有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33