打线接合装置制造方法及图纸

打线接合装置，包括在既定的接合区域中将打线一面按压于电极一面接合的接合工具。打线接合装置包括：驱动源，将接合工具沿着上下方向驱动；控制部，连接于驱动源，控制接合工具的按压荷重；弹性部，配置于接合区域的外侧，因按压荷重而产生应变；获取部，获取弹性部的应变；及校正部，基于获取部的获取结果，以预先设定的按压荷重的目标值与按压荷重的实测值的荷重误差成为既定范围内的方式，实施控制部的校正处理。

Thread making and jointing device

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】打线接合装置
本公开涉及一种打线接合装置。
技术介绍
专利文献1公开一种打线接合装置。所述打线接合装置包括接合工具、驱动源、及控制部。接合工具在既定的接合区域中将打线一面按压于电极一面接合。驱动源将接合工具沿着上下方向驱动。控制部控制接合工具的按压荷重。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利特开平10-284532号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的问题一般而言，打线接合装置所包括的接合工具的按压荷重例如有时因一定期间的连续运行而随时间变化。因此，打线接合装置所包括的接合工具为了实现适当按压荷重的维持而定期进行接合工具的按压荷重的校正。以前，接合工具的按压荷重的校正作业由操作员实施。在所述校正作业中，例如于在使打线接合装置停止的状态下，使用安装于接合区域内的荷重元来进行。所述校正作业中，作为使打线接合装置停止的期间，至少需要荷重元的安装及卸除所需的时间、及操作员进行按压荷重的校正作业所需的时间。其结果，实施校正作业有可能使打线接合装置的生产性降低。因此，本公开说明一种可兼顾生产性的提升及实施接合工具的按压荷重的校正的接合装置。解决问题的技术手段本公开的一实施例的打线接合装置包括在既定的接合区域中将打线一面按压于电极一面接合的接合工具，且所述打线接合装置包括：驱动源，将接合工具沿着上下方向驱动；控制部，连接于驱动源，控制接合工具的按压荷重；弹性部，配置于接合区域的外侧，因按压荷重而产生应变；获取部，获取弹性部的应变；及校正部，基于获取部的获取结果，以预先设定的按压荷重的目标值与按压荷重的实测值的荷重误差成为既定范围内的方式，实施控制部的校正处理。在本公开的一实施例的打线接合装置中，通过由接合工具按压弹性部，在弹性部产生应变。打线接合装置通过校正部实施控制部的校正处理。所述校正处理基于获取部所获取的弹性部的应变的获取结果，以预先设定的按压荷重的目标值与按压荷重的实测值的荷重误差成为既定范围内的方式，控制接合工具的按压力。根据所述打线接合装置，弹性部配置于接合区域的外侧。其结果，与例如在接合区域内安装荷重元的情形相比，用以实施校正处理的打线接合装置的停止时间变短。因此，可以使打线接合装置的运行时间增加。其结果，可兼顾生产性的提升及实施接合工具的按压荷重的校正。在本公开的一实施例的打线接合装置中，也可使校正处理包含：实测处理，基于接合工具未按压弹性部的非按压状态下的弹性部的第一应变、及通过控制部以按压荷重成为目标值的方式进行控制的情形时接合工具以所述按压荷重按压弹性部的按压状态下的弹性部的第二应变，算出按压荷重的实测值；比较处理，根据所算出的实测值及按压荷重的目标值而算出荷重误差，并且将荷重误差与预先设定的荷重阀值进行比较；及修正处理，在荷重误差为荷重阀值以上的情形时，以荷重误差变小的方式变更控制部中的驱动源的控制数据，校正部反复进行实测处理、比较处理及修正处理，直至荷重误差变得小于荷重阀值为止。在该情形时，以非按压状态下的第一应变为基准而根据按压状态下的第二应变来算出按压荷重的实测值。因此，与例如根据弹性部的位移来算出按压荷重的实测值的情形相比，基准不易偏差。其结果，可高精度地算出按压荷重的实测值。因此，能精度良好地实施校正处理。在本公开的一实施例的打线接合装置中，也可使弹性部为以单臂梁状受到支持的板弹簧，且获取部包含设于板弹簧的上表面的第一应变计(straingauge)、及设于板弹簧的下表面的第二应变计。在所述情形时，可将弹性部的构成设为小型且简单。另外，第一应变计及第二应变计设于板弹簧的两面。因此，使伴随温度变化的板弹簧的伸缩应变抵消。其结果，不需要为了实施校正处理而待机至接合装置的接合区域的温度降低。其结果，可实现打线接合装置的连续运行，可进一步提高生产性。在本公开的一实施例的打线接合装置中，也可使弹性部为梁材，所述梁材以单臂梁状受到支持，且在由长边方向的一端部及另一端部夹持的中间部中，设有具有比一端部及另一端部更低的刚性的低刚性部，且获取部包含设于梁材的一端部的上表面及下表面的第三应变计、及设于梁材的另一端部的上表面及下表面的第四应变计。在所述情形时，在中间部设有低刚性部。其结果，在一端部与中间部的交界部、及另一端部与中间部的交界部，弹性部的应变增大。可根据所述情况而感度良好地获取梁材的应变。第三应变计及第四应变计设于梁材的两面。其结果，使伴随温度变化的梁材的伸缩应变抵消。因此，不需要为了实施校正处理而待机至打线接合装置的接合区域的温度降低。其结果，可实现打线接合装置的连续运行，可进一步提高生产性。专利技术的效果本公开的接合装置可兼顾生产性的提升及实施接合工具的按压荷重的校正。附图说明[图1]图1为本公开的一实施方式的打线接合装置的平面图。[图2]图2为表示图1的打线接合装置的构成例的概略构成图。[图3]图3的(a)为图1的板弹簧组装体的立体图。图3的(b)为图1的板弹簧组装体的平面图。图3的(c)为图1的板弹簧组装体的侧面图。[图4]图4的(a)为例示图3的板弹簧组装体的非按压状态的侧面图。图4的(b)为例示图3的板弹簧组装体的按压状态的侧面图。[图5]图5为图1所示的打线接合装置的运行例的流程图。[图6]图6为例示校正处理的流程图。[图7]图7的(a)为弹性部的变形例的侧面图。图7的(b)为例示图7的(a)的弹性部的非按压状态的侧面图。图7的(c)为例示图7的(a)的弹性部的按压状态的侧面图。[图8]图8为板弹簧组装体的另一变形例的侧面图。具体实施方式以下，一方面参照附图一方面对本公开的打线接合装置进行详细说明。再者，以下的说明中，对相同或相应组件标注相同符号，省略重复说明。[打线接合装置的构成]图1为本公开的打线接合装置的平面图。如图1所示，打线接合装置100包括焊针15(接合工具)。焊针15通过在既定的接合区域BA中将打线按压于电极，将打线接合于电极。电极包含半导体芯片等电子零件19的电极、安装有电子零件19的基板18的电极等。再者，在以下的说明中，为方便起见，将导轨16的延伸方向设为X方向。将与X方向正交的水平方向设为Y方向。将与X方向及Y方向正交的上下方向设为Z方向。打线接合装置100包括：框架10、XY平台11、接合头12、接合臂13、超音波焊头14、焊针15、一对导轨16、加热块17、板弹簧组装体20、及微计算机60(参照图2)。XY平台11设于框架10上。接合头12设于XY平台11上。接合臂13设于接合头12。超音波焊头14安装于接合臂13的前端。焊针15安装于超音波焊头14的前端。一对导轨16沿着既定的水平方向引导基板18。加热块17将接合区域BA加热。板弹簧组装体20用于校正焊针15的按压荷重。微计算机60控制打线接合装置100总体的运行。所谓焊针15的按压荷重，为以焊针15将打线按压于电极时作用于打线的荷重。焊针15的按压荷重为所谓接合荷重。如图2所示本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种打线接合装置，包括在既定的接合区域中将打线一面按压于电极一面接合的接合工具，且所述打线接合装置包括：/n驱动源，将所述接合工具沿着上下方向驱动；/n控制部，连接于所述驱动源，控制所述接合工具的按压荷重；/n弹性部，配置于所述接合区域的外侧，因所述按压荷重而产生应变；/n获取部，获取所述弹性部的应变；及/n校正部，基于所述获取部的获取结果，以预先设定的所述按压荷重的目标值与所述按压荷重的实测值的荷重误差成为既定范围内的方式，实施所述控制部的校正处理。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180206 JP 2018-0192071.一种打线接合装置，包括在既定的接合区域中将打线一面按压于电极一面接合的接合工具，且所述打线接合装置包括：
驱动源，将所述接合工具沿着上下方向驱动；
控制部，连接于所述驱动源，控制所述接合工具的按压荷重；
弹性部，配置于所述接合区域的外侧，因所述按压荷重而产生应变；
获取部，获取所述弹性部的应变；及
校正部，基于所述获取部的获取结果，以预先设定的所述按压荷重的目标值与所述按压荷重的实测值的荷重误差成为既定范围内的方式，实施所述控制部的校正处理。


2.根据权利要求1所述的打线接合装置，其中所述校正处理包含：
实测处理，基于所述接合工具未按压所述弹性部的非按压状态下的所述弹性部的第一应变、及在通过所述控制部以所述按压荷重成为所述目标值的方式进行控制的情形时所述接合工具以所述按压荷重按压所述弹性部的按压状态下的所述弹性部的第二应变，算出所述按压荷重的所述实测值...

【专利技术属性】
技术研发人员：内田洋平，平良尚也，
申请(专利权)人：株式会社新川，
类型：发明
国别省市：日本;JP