【技术实现步骤摘要】
本申请专利技术涉及一种电子零件检测装置、电子零件检测方法及计算机可读存储介质。
技术介绍
1、拾取硅管芯(silicon die)那样的电子零件的装置有时包括对是否正常地拾取或释放电子零件进行判定的电子零件检测装置。
2、例如，在专利文献1中公开了一种管芯接合机(die bonder)，所述管芯接合机具有：处理头，包括吸附管芯的吸附器具；吸附流量检测电路，包括设有流量传感器的检测流路及旁通流路；空气抽吸构件，经由吸附流量检测电路抽吸空气；以及控制部，基于流量传感器的检测结果对管芯被吸附于吸附器具的情况进行判定。
3、[现有技术文献]
4、[专利文献]
5、[专利文献1]日本专利特开2014-179556号公报
技术实现思路
1、[专利技术所要解决的问题]
2、然而，在专利文献1所记载的管芯接合机中，吸附器具因使用而逐渐变形，结果，有时抽吸空气的流量发生变化，判定精度会降低。
3、本申请专利技术是鉴于此种状况而成，本申请专利技术的目的在于提供一种对有无电子零件进行判定的判定精度提高的电子零件检测装置、电子零件检测方法及计算机可读存储介质。
4、[解决问题的技术手段]
5、本申请专利技术的一实施例的电子零件检测装置包括：保持部，构成为能够保持电子零件，且具有当保持电子零件时被遮挡的光路；投光部，向保持部的光路投射传感器光；受光部，接收通过了保持部的光路的传感器光；驱动部，使保持部相对于受光部
6、根据所述实施例，根据光路被电子零件遮挡时的受光量的变化来对保持部中有无电子零件进行判定。因此，即便保持部产生了变形等经年劣化，只要保持有电子零件，受光量便会充分发生变化，因此也可正确地对保持部中有无电子零件进行判定。另外，基于相对位置的变化与受光量的变化的相互关系来确定可保证充分的受光量的可检测位置范围，并从其中决定判定时机。因此，即便在可检测位置范围因投光部及受光部的安装位置及安装角度的变动而发生了变动的情况下，也可决定适当的判定时机，因此可抑制检测不良。
7、在所述实施例中，可为，判定部在判定时机中，基于受光部中的受光量与阈值的比较，对保持部中有无电子零件进行判定。
8、根据所述实施例，可在适当的判定时机中对有无电子零件进行判定，因此可抑制检测不良。
9、在所述实施例中，可为，判定部将保持部不保持电子零件的情况下的、受光部中的受光量从低于阈值的状态向超过阈值的状态变化的相对位置作为第一时机进行存储，将保持部不保持电子零件的情况下的、受光部中的受光量从超过阈值的状态向低于阈值的状态变化的相对位置作为第二时机进行存储，算出第一时机与第二时机的中间的相对位置并作为判定时机进行存储。
10、根据所述实施例，由于判定时机相对于第一时机及第二时机的时延大，因此即便在决定判定时机之后可检测位置范围发生变动，判定时机也不易从可检测位置范围脱离。因此，可在判定时机中保证充分的受光量，可抑制检测不良。
11、在所述实施例中，可为，判定部将受光部中的受光量达到最大的相对位置作为判定时机进行存储。
12、根据所述实施例，即便在决定判定时机之后可检测位置范围发生变动，也可抑制受光量的降低。因此，可在判定时机中保证充分的受光量，可抑制检测不良。
13、在所述实施例中，可为，保持部具有吸附夹头，光路为吸附夹头的抽吸孔。
14、根据所述实施例，无需在保持部中与保持电子零件的机构分开设置光路，因此可简化结构。
15、在所述实施例中，可为，保持部包含于将电子零件接合于基板的接合头中。
16、在所述实施例中，可为，判定部在保持部将电子零件向基板搬送的去往路径中，对保持部中有无电子零件进行判定。
17、根据所述实施例，可对有无为了进行接合而被保持的电子零件进行检测。例如，若在去往路径中提前判定为未保持电子零件，则可减少接合头的无用的动作。
18、在所述实施例中，可为，判定部在开始进行接合之前，在与去往路径相同的路径中存储相互关系，并决定判定时机。
19、根据所述实施例，由于存储与实际的去往路径相同的路径中的、相对位置的变化及受光量的变化的相互关系，因此可提高判定时机的精度。
20、在所述实施例中，可为，判定部在保持部将电子零件搬送至基板后的返回路径中，对保持部中有无电子零件进行判定。
21、根据所述实施例，可对由于接合失败而保持于保持部的状态的电子零件进行检测。此时，接合头可将所保持的电子零件再次向基板搬送并进行接合，也可释放至回收用箱中。因此，可抑制如下情况：在保持电子零件的状态下欲拾取下一个电子零件，电子零件彼此接触使得电子零件等发生损伤。
22、在所述实施例中，可为，判定部在保持部将电子零件搬送至基板后的返回路径中存储相互关系，并决定判定时机。
23、根据所述实施例，在连续地进行接合时，可适宜修正判定时机。因此，在连续地进行接合时，即便在可检测位置范围因投光部及受光部的安装位置及安装角度的经时变化而发生了变动的情况下，也可抑制检测不良。
24、在所述实施例中，可为，判定部基于投光部中的投光量来决定阈值。
25、根据所述实施例，即便在投光量发生变化的情况下，也可确定适当的可检测位置范围，可决定适当的判定时机。
26、本申请专利技术的另一实施例的电子零件检测方法为使用电子零件检测装置进行检测的电子零件检测方法，所述电子零件检测装置包括：保持部，构成为能够保持电子零件，且具有当保持电子零件时被遮挡的光路；投光部，向保持部的光路投射传感器光；受光部，接收通过了保持部的光路的传感器光；驱动部，使保持部相对于受光部的相对位置变化；以及判定部，基于受光部中的受光量，对保持部中有无电子零件进行判定，所述电子零件检测方法包含：存储保持部不保持电子零件的情况下的、与相对位置的变化相应的受光部中的受光量的变化的相互关系；以及基于相互关系，从相对位置中确定受光部中的受光量超过阈值的可检测位置范围，从所确定的可检测位置范围中决定对有无电子零件进行判定的判定时机。
27、根据所述实施例，根据光路被电子零件遮挡时的受光量的变化来对保持部中有无电子零件进行判定。因此，即便保持部产生了变形等经年劣化，只要保持有电子零件，受光量便会充分发生变化，因此也可正确地对保持部中有无电子零件进行判定。另外，基于相对位置的变化与受光量的变化的相互关系来确定可保证充分的受光量的可检测位置范围，并从其中决定判定时机。因此，即便在可检测位置范围因投光部及受光部的安本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种电子零件检测装置，包括：
2.根据权利要求1所述的电子零件检测装置，其中
3.根据权利要求1所述的电子零件检测装置，其中
4.根据权利要求1所述的电子零件检测装置，其中
5.根据权利要求1所述的电子零件检测装置，其中
6.根据权利要求1所述的电子零件检测装置，其中
7.根据权利要求6所述的电子零件检测装置，其中
8.根据权利要求7所述的电子零件检测装置，其中
9.根据权利要求6所述的电子零件检测装置，其中
10.根据权利要求6所述的电子零件检测装置，其中
11.根据权利要求1所述的电子零件检测装置，其中
12.一种电子零件检测方法，为使用电子零件检测装置进行检测的电子零件检测方法，所述电子零件检测装置包括：
13.一种计算机可读存储介质，其存储有电子零件检测程序，为使电子零件检测装置运行的电子零件检测程序，所述电子零件检测装置包括：
【技术特征摘要】
1.一种电子零件检测装置，包括：
2.根据权利要求1所述的电子零件检测装置，其中
3.根据权利要求1所述的电子零件检测装置，其中
4.根据权利要求1所述的电子零件检测装置，其中
5.根据权利要求1所述的电子零件检测装置，其中
6.根据权利要求1所述的电子零件检测装置，其中
7.根据权利要求6所述的电子零件检测装置，其中
8.根据权利要求7所述的电子零件检测装置，...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。