一种半导体芯片生产设备的机械手传送装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种半导体芯片生产设备的机械手传送装置，包括底座和夹取单元，底座：底座表面的右侧固定有两个对应的第一固定柱，第一固定柱的上侧设有加工模块，加工模块的左侧开设有加工槽，底座的表面固定有两个第一固定板，且两个第一固定板左右对应设置，第一固定板的内侧转动连接有螺杆，第一固定板的左侧固定有第一伺服电机，第一伺服电机的输出轴连接螺杆的左端，螺杆的侧面与活动块左右两侧的螺孔螺纹连接，且活动块滑动连接在底座的表面，活动块的表面转动连接第一电动推杆的一端，该半导体芯片生产设备的机械手传送装置结构简单、操作方便、能够对不同大小的半导体芯片进行固定。

A manipulator transmission device for semiconductor chip production equipment

【技术实现步骤摘要】
一种半导体芯片生产设备的机械手传送装置
本技术涉及半导体
，具体为一种半导体芯片生产设备的机械手传送装置。
技术介绍
在半导体片材上进行浸蚀，布线，制成的能实现某种功能的半导体器件。不只是硅芯片，常见的还包括砷化镓，(砷化镓有毒，所以一些劣质电路板不要好奇分解它)锗等半导体材料，半导体也像汽车有潮流，半导体材料被广泛应用在工业、建筑业、和农业中，半导体芯片在加工过程中需要使用半导体芯片生产设备的机械手传送装置，现有的半导体芯片生产设备的机械手传送装置结构复杂、购买成本高，操作不方便，而且在加工半导体芯片时不便于对不同长度的半导体芯片进行固定，适用范围小。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是克服现有的缺陷，提供一种半导体芯片生产设备的机械手传送装置，结构简单、操作方便、能够对不同大小的半导体芯片进行固定，可以有效解决
技术介绍
中的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种半导体芯片生产设备的机械手传送装置，包括底座和夹取单元；底座：所述底座表面的右侧固定有两个对应的第一固定柱，所述第一固定柱的上侧设有加工模块，所述加工模块的左侧开设有加工槽，所述底座的表面固定有两个第一固定板，且两个第一固定板左右对应设置，所述第一固定板的内侧转动连接有螺杆，所述第一固定板的左侧固定有第一伺服电机，所述第一伺服电机的输出轴连接螺杆的左端，所述螺杆的侧面与活动块左右两侧的螺孔螺纹连接，且活动块滑动连接在底座的表面，所述活动块的表面转动连接第一电动推杆的一端，所述第一电动推杆的另一端表面固定第二固定柱的一端，所述第二固定柱的另一端表面固定有固定框，所述第二固定柱的右侧固定有半导体芯片放置板；夹取单元：所述夹取单元包括第二电动推杆、固定座、第一固定销轴、固定杆、固定块、活动杆、第二固定销轴和第一连接杆，所述固定框内侧的左端中部固定有第二电动推杆，所述第二电动推杆的伸缩端穿过固定框的右端，所述第二电动推杆的伸缩端固定有固定座，所述固定座的上下两端中部分别固定有第一固定销轴，所述固定框外部的右侧固定有固定杆的一端，所述固定杆的另一端固定有固定块，所述固定杆设有两个，且两个固定杆前后对应设置，所述固定块的内部分别开设有滑槽，且固定块的滑槽内滑动连接有活动杆，后侧的活动杆表面的中部固定有第二固定销轴，前侧的活动杆底面的中部固定有第二固定销轴，所述第二固定销轴的侧面活动连接第一连接杆的一端，所述第一连接杆的另一端与第一固定销轴的侧面活动连接，所述活动杆的右端分别固定有夹板；将待加工的半导体芯片放置半导体芯片放置板右侧的表面，第二电动推杆的伸缩端伸长，带动第一连接杆向内侧移动，从而带动活动杆向内移动，从而带动两个夹板向内移动，通过夹板对待加工的半导体芯片夹取，通过控制电动推杆的伸缩来控制夹板对半导体芯片的夹取，能够对不同大小的芯片进行夹取，适用范围广，第一伺服电机转动，带动螺杆转动，从而带动活动块向右移动，直到半导体芯片放置板到达加工槽内，当半导体芯片加工完成后，通过控制第一伺服电机使活动块向左移动，从而使半导体芯片放置板到达远离加工槽，结构简单、操作方便、购买成本低。其中，还包括单片机，所述底座表面的前侧固定有单片机，所述单片机的输入端电连接外部电源的输出端，所述单片机的输出端电连接第一伺服电机、第一电动推杆和第二电动推杆的输入端，单片机控制第一伺服电机、第一电动推杆和第二电动推杆的开闭。进一步的，还包括限位杆、活动套筒和第二连接杆，所述第一固定板的内侧固定有两个限位杆，且两个限位杆分别位于螺杆的前后两侧，所述限位杆的侧面分别滑动连接有活动套筒，所述活动块的前后两侧分别固定第二连接杆的一端，所述第二连接杆的另一端固定在活动套筒的内侧，当活动块左右移动时，带动了活动套筒和第二连接杆左右移动，限位杆、活动套筒和第二连接杆防止活动块左右移动过程中发生轴向转动。进一步的，还包括第二伺服电机、齿轮和齿槽，所述第一电动推杆侧面的底端开设有齿槽，所述活动块表面的前侧固定有第二伺服电机，所述第二伺服电机的输出轴固定有齿轮，所述齿轮啮合在齿槽内，所述第二伺服电机的输入端电连接单片机的输出端，第二伺服电机转动，从而带动齿轮转动，从而带动第一电动推杆转动，从而使半导体芯片转动，方便对半导体芯片进行不同的加工。进一步的，还包括缓冲垫，所述两个夹板的内侧分别设有缓冲垫，缓冲垫防止在半导体芯片移动过程中发生滑落，而且对半导体芯片的周侧起到保护作用。进一步的，还包括第二固定板和红外位置传感器，所述固定框表面的右侧固定有第二固定板，所述第二固定板的右侧中部固定有红外位置传感器，所述红外位置传感器的输出端电连接单片机的输入端，当半导体芯片在移动的过程中，红外位置传感器将信号输送到单片机，单片机控制各个电器元件的运行状态，红外位置传感器保证了半导体芯片移动位置的准确性。与现有技术相比，本技术的有益效果是：本半导体芯片生产设备的机械手传送装置，具有以下好处：1、将待加工的半导体芯片放置半导体芯片放置板右侧的表面，第二电动推杆的伸缩端伸长，带动第一连接杆向内侧移动，从而带动活动杆向内移动，从而带动两个夹板向内移动，通过夹板对待加工的半导体芯片夹取，通过控制电动推杆的伸缩来控制夹板对半导体芯片的夹取，能够对不同大小的芯片进行夹取，适用范围广。2、第一伺服电机转动，带动螺杆转动，从而带动活动块向右移动，直到半导体芯片放置板到达加工槽内，当半导体芯片加工完成后，通过控制第一伺服电机使活动块向左移动，从而使半导体芯片放置板到达远离加工槽，结构简单、操作方便、购买成本低。3、第二伺服电机转动，从而带动齿轮转动，从而带动第一电动推杆转动，从而使半导体芯片转动，方便对半导体芯片进行不同的加工。附图说明图1为本技术结构示意图；图2为本技术俯视结构示意图；图3为本技术A处局部放大结构示意图。图中：1底座、2单片机、3第一固定柱、4加工模块、5加工槽、6夹取单元、61第二电动推杆、62固定座、63第一固定销轴、64固定杆、65固定块、66活动杆、67第二固定销轴、68第一连接杆、7第一固定板、8第一伺服电机、9螺杆、10活动块、11限位杆、12活动套筒、13第二连接杆、14第一电动推杆、15第二固定柱、16固定框、17第二固定板、18红外位置传感器、19第二伺服电机、20齿轮、21齿槽、22夹板、23缓冲垫、24半导体芯片放置板。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-3，本技术提供一种技术方案：一种半导体芯片生产设备的机械手传送装置，包括底座1和夹取单元6；底座1：底座1表面的右侧固定有两个对应的第一固定柱3，第一固定柱3本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体芯片生产设备的机械手传送装置，其特征在于：包括底座(1)和夹取单元(6)；/n底座(1)：所述底座(1)表面的右侧固定有两个对应的第一固定柱(3)，所述第一固定柱(3)的上侧设有加工模块(4)，所述加工模块(4)的左侧开设有加工槽(5)，所述底座(1)的表面固定有两个第一固定板(7)，且两个第一固定板(7)左右对应设置，所述第一固定板(7)的内侧转动连接有螺杆(9)，所述第一固定板(7)的左侧固定有第一伺服电机(8)，所述第一伺服电机(8)的输出轴连接螺杆(9)的左端，所述螺杆(9)的侧面与活动块(10)左右两侧的螺孔螺纹连接，且活动块(10)滑动连接在底座(1)的表面，所述活动块(10)的表面转动连接第一电动推杆(14)的一端，所述第一电动推杆(14)的另一端表面固定第二固定柱(15)的一端，所述第二固定柱(15)的另一端表面固定有固定框(16)，所述第二固定柱(15)的右侧固定有半导体芯片放置板(24)；/n夹取单元(6)：所述夹取单元(6)包括第二电动推杆(61)、固定座(62)、第一固定销轴(63)、固定杆(64)、固定块(65)、活动杆(66)、第二固定销轴(67)和第一连接杆(68)，所述固定框(16)内侧的左端中部固定有第二电动推杆(61)，所述第二电动推杆(61)的伸缩端穿过固定框(16)的右端，所述第二电动推杆(61)的伸缩端固定有固定座(62)，所述固定座(62)的上下两端中部分别固定有第一固定销轴(63)，所述固定框(16)外部的右侧固定有固定杆(64)的一端，所述固定杆(64)的另一端固定有固定块(65)，所述固定杆(64)设有两个，且两个固定杆(64)前后对应设置，所述固定块(65)的内部分别开设有滑槽，且固定块(65)的滑槽内滑动连接有活动杆(66)，后侧的活动杆(66)表面的中部固定有第二固定销轴(67)，前侧的活动杆(66)底面的中部固定有第二固定销轴(67)，所述第二固定销轴(67)的侧面活动连接第一连接杆(68)的一端，所述第一连接杆(68)的另一端与第一固定销轴(63)的侧面活动连接，所述活动杆(66)的右端分别固定有夹板(22)；/n其中，还包括单片机(2)，所述底座(1)表面的前侧固定有单片机(2)，所述单片机(2)的输入端电连接外部电源的输出端，所述单片机(2)的输出端电连接第一伺服电机(8)、第一电动推杆(14)和第二电动推杆(61)的输入端。/n...

【技术特征摘要】
1.一种半导体芯片生产设备的机械手传送装置，其特征在于：包括底座(1)和夹取单元(6)；
底座(1)：所述底座(1)表面的右侧固定有两个对应的第一固定柱(3)，所述第一固定柱(3)的上侧设有加工模块(4)，所述加工模块(4)的左侧开设有加工槽(5)，所述底座(1)的表面固定有两个第一固定板(7)，且两个第一固定板(7)左右对应设置，所述第一固定板(7)的内侧转动连接有螺杆(9)，所述第一固定板(7)的左侧固定有第一伺服电机(8)，所述第一伺服电机(8)的输出轴连接螺杆(9)的左端，所述螺杆(9)的侧面与活动块(10)左右两侧的螺孔螺纹连接，且活动块(10)滑动连接在底座(1)的表面，所述活动块(10)的表面转动连接第一电动推杆(14)的一端，所述第一电动推杆(14)的另一端表面固定第二固定柱(15)的一端，所述第二固定柱(15)的另一端表面固定有固定框(16)，所述第二固定柱(15)的右侧固定有半导体芯片放置板(24)；
夹取单元(6)：所述夹取单元(6)包括第二电动推杆(61)、固定座(62)、第一固定销轴(63)、固定杆(64)、固定块(65)、活动杆(66)、第二固定销轴(67)和第一连接杆(68)，所述固定框(16)内侧的左端中部固定有第二电动推杆(61)，所述第二电动推杆(61)的伸缩端穿过固定框(16)的右端，所述第二电动推杆(61)的伸缩端固定有固定座(62)，所述固定座(62)的上下两端中部分别固定有第一固定销轴(63)，所述固定框(16)外部的右侧固定有固定杆(64)的一端，所述固定杆(64)的另一端固定有固定块(65)，所述固定杆(64)设有两个，且两个固定杆(64)前后对应设置，所述固定块(65)的内部分别开设有滑槽，且固定块(65)的滑槽内滑动连接有活动杆(66)，后侧的活动杆(66)表面的中部固定有第二固定销轴(67)，前侧的活动杆(66)底面的中部固定有第二固定销轴(67)，所述第二固定销轴(67)的侧面活动连接第一连接杆(68)的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：程进，徐海洋，
申请(专利权)人：苏州芯海半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32