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本实用新型公开了一种半导体芯片生产设备的机械手传送装置，包括底座和夹取单元，底座：底座表面的右侧固定有两个对应的第一固定柱，第一固定柱的上侧设有加工模块，加工模块的左侧开设有加工槽，底座的表面固定有两个第一固定板，且两个第一固定板左右对应设...
该专利属于苏州芯海半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州芯海半导体科技有限公司授权不得商用。

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