一种在线数据监控系统及监控方法技术方案

本发明专利技术公开了一种在线数据监控系统及监控方法，属于半导体生产工艺监控技术领域；系统包括迁移单元，连接外部的存储设备；数据存储单元，连接迁移单元；输入单元；条件存储单元，连接输入单元；处理单元，分别连接数据存储单元和条件存储单元；结果调用单元；方法包括：复制保存于外部的存储设备中的半导体生产数据并保存；获取使用者输入的预设的判断条件，以及对应判断条件的判断等级；选择多个判断条件对保存于存储单元中的半导体生产数据进行匹配，随后形成相应的匹配结果数据；保存匹配结果数据；调用匹配结果数据，以供使用者查看。上述技术方案的有益效果是：排除可能影响半导体芯片生产过程的因素，提升产品良率，降低成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体生产工艺监控
，尤其涉及。
技术介绍
半导体芯片的生产工艺是一个非常复杂且品质管控要求严格的工艺流程，对于每一个步骤都需要实行有效的监控及量测，才能确保最终生产的半导体芯片具有较高的良率。对于半导体芯片的制造，根据产品的不同，通常会经历200-300道加工工序，例如蚀刻、研磨、薄膜以及显影等。每道加工工序所实现的功用不同，对半导体芯片所产生的生产效果也不同。除了加工工序之外，还有一些生产工序用于对芯片进行量测，以实现对产品质量的监控，最终提升产品的生产良率。在半导体芯片的生产工艺中，任何异常情况都会影响到产品的质量，甚至造成产品的直接报废，因此对半导体芯片的生产过程需要进行全程监控，并在产品量测值发生异常时及时处理，以预防或纠正不良产品的产生。如果在量测时遗漏异常情况，或者对量测结果处理不当，都会影响最终产生的产品的质量。在现有技术中，生产系统对于一些量测结果不合格的产品能够做到及时响应并及时处理，但对于一些虽然合格，但有不合格的隐患或趋势的产品(即达到“警告”级别的量测数据所对应的产品)无法进行有效地检测，从而采取及时的调整手段，而这些具有隐患的量测结果在生产工艺继续进行下去的情况下有可能会影响到产品的生产速度以及最终成品的生产质量，同时大幅增加产品的生产成本。
技术实现思路
根据现有技术中存在的问题，即无法量测出处于“警告”级别的量测数据，从而遗漏潜在的可能影响产品生产过程的因素；现提供，具体包括:一种在线数据监控系统，适用于半导体芯片生产工艺中；其中，包括:迁移单元，连接外部的一存储设备，用于将所述存储设备中保存的半导体生产数据复制到所述在线数据监控系统中；数据存储单元，连接所述迁移单元，用于保存所述迁移单元复制的所述半导体生产数据；输入单元，供使用者输入预设的判断条件，以及所述判断条件的判断等级；条件存储单元，连接所述输入单元，用于保存所述判断条件以及对应的所述判断等级；处理单元，分别连接所述数据存储单元和所述条件存储单元，用于在所述条件存储单元中选择多个所述判断条件与所述半导体生产数据进行匹配，并得出相应的匹配结果数据，将所述匹配结果数据保存入所述数据存储单元中；所述匹配结果数据中包括根据匹配结果和对应所述判断条件的所述判断等级被标记的所述半导体生产数据，以及被标记的所述半导体生产数据占所有所述半导体生产数据的比值；结果调用单元，连接所述存储单元，用于向所述存储单元发送调用命令，以获取所述存储单元中保存的相应的所述匹配结果数据。优选的，该在线数据监控系统，其中，所述判断条件的判断等级被区分为合格等级和警告等级；匹配于所述合格等级的所述判断条件的所述半导体生产数据被标记为合格；不匹配于所述合格等级的所述判断条件的所述半导体生产数据被标记为不合格；匹配于所述警告等级的所述判断条件的所述半导体生产数据被标记为无需警生P=I ;不匹配于所述警告等级的所述判断条件的所述半导体生产数据被标记为需要警生口 O优选的，该在线数据监控系统，其中，所述迁移单元中包括:一数据选择模块，用于选择保存于所述存储设备的所述半导体生产数据中适于量测的量测点数据，并复制到所述数据存储单元中保存。优选的，该在线数据监控系统，其中，所述结果调用单元中预设有多个调用显示模板。优选的，该在线数据监控系统，其中，还包括:用户显示单元，连接所述结果调用单元，用于向所述结果调用单元发送请求显示所述调用显示模板的请求指令，所述结果调用单元从所述数据存储单元中获取所述匹配结果数据并填充至请求显示的所述调用显示模板的框架内，将经过填充的所述调用显示模板发送至所述用户显示单元中显示。一种在线数据监控方法，适用于半导体芯片生产工艺中；其中，步骤1，复制保存于外部的存储设备中的所述半导体生产数据并保存；步骤2，获取使用者输入的预设的判断条件，以及对应所述判断条件的判断等级；步骤3，选择多个所述判断条件对被复制并保存的所述半导体生产数据进行匹配，随后形成相应的匹配结果数据；步骤4，保存所述匹配结果数据；步骤5，调用所述匹配结果数据，以供使用者查看。优选的，该在线数据监控方法，其中，所述匹配结果数据中包括根据所述步骤3中的匹配结果和对应所述判断条件的所述判断等级被标记的所述半导体生产数据，以及被标记的所述半导体生产数据占所有所述半导体生产数据的比值。优选的，该在线数据监控方法，其中，所述判断条件的判断等级被区分为合格等级和警告等级；匹配于所述合格等级的所述判断条件的所述半导体生产数据被标记为合格；不匹配于所述合格等级的所述判断条件的所述半导体生产数据被标记为不合格；匹配于所述警告等级的所述判断条件的所述半导体生产数据被标记为无需警生P=I ;不匹配于所述警告等级的所述判断条件的所述半导体生产数据被标记为需要警生口 ο优选的，该在线数据监控方法，其中，所述步骤I中，被复制并保存的所述半导体生产数据为保存于外部的所述存储设备的所述半导体生产数据中适于量测的量测点数据。优选的，该在线数据监控方法，其中，预设有多个调用显示模板；所述步骤5具体包括:步骤51,预设多个调用显示模板；步骤52，获取外部输入的请求显示一个预设的所述调用显示模板的指令；步骤53，根据指令调用所述匹配结果数据并填充至相应的所述调用显示模板的框架中；步骤54，输出经过填充的所述调用显示模板并显示，以供使用者查看。上述技术方案的有益效果是:准确找到处于“警告”级别的量测数据，及时排除潜在的可能影响半导体芯片生产过程的因素，提升生产效率和产品良率，并降低生产成本。【附图说明】图1是本专利技术的较佳的实施例中，一种在线数据监控系统的结构示意图；图2-3是本专利技术的较佳的实施例中，一种在线数据监控系统的流程示意图；【具体实施方式】下面结合附图和具体实施例对本专利技术作进一步说明，但不作为本专利技术的限定。如图1所示，本专利技术的较佳的实施例中，一种在线数据监控系统，应用于半导体芯片生产工艺中，该在线数据监控系统包括:迁移单元1，连接外部的存储设备2 ；本专利技术的较佳的实施例中，外部的存储设备2可以为一制造执行系统(Manufacturing Execut1n System,MES)的数据库。MES数据库中保存有半导体芯片生产工艺中的各种半导体生产数据。本专利技术的较佳的实施例中，MES数据库中保存的半导体生产数据由人工或自动在半导体生产设备上采集获得。迁移单元I从外接的存储设备2中获取上述半导体生产数据。当前第1页1 2 3 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种在线数据监控系统，适用于半导体芯片生产工艺中；其特征在于，包括：迁移单元，连接外部的一存储设备，用于将所述存储设备中保存的半导体生产数据复制到所述在线数据监控系统中；数据存储单元，连接所述迁移单元，用于保存所述迁移单元复制的所述半导体生产数据；输入单元，供使用者输入预设的判断条件，以及所述判断条件的判断等级；条件存储单元，连接所述输入单元，用于保存所述判断条件以及对应的所述判断等级；处理单元，分别连接所述数据存储单元和所述条件存储单元，用于在所述条件存储单元中选择多个所述判断条件与所述半导体生产数据进行匹配，并得出相应的匹配结果数据，将所述匹配结果数据保存入所述数据存储单元中；所述匹配结果数据中包括根据匹配结果和对应所述判断条件的所述判断等级被标记的所述半导体生产数据，以及被标记的所述半导体生产数据占所有所述半导体生产数据的比值；结果调用单元，连接所述存储单元，用于向所述存储单元发送调用命令，以获取所述存储单元中保存的相应的所述匹配结果数据。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：马擎，郭程，尹浩，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造天津有限公司，中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：发明
国别省市：天津;12