传送系统、传送方法、器件制造装置及器件制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及传送系统、传送方法、器件制造装置及器件制造方法。传送系统具有：传送机器人，其在机器人手部上载置处理体进行传送；控制部，其控制传送机器人的传送动作；及检测机构，其设置在处理体的传送路径上，检测处理体在机器人手部上有无位置偏离，传送动作包括：使传送机器人以在机器人手部上载置有处理体的状态移动至与送入目的地腔室的送入开口部相向的位置的第一动作；使传送机器人从与送入开口部相向的位置朝向送入开口部进行直行移动而进入送入目的地腔室内的第二动作，控制部控制传送机器人，使得当在与送入目的地腔室的送入开口部相向的位置通过检测机构判定为处理体在机器人手部上没有位置偏离时进行第二动作。

Transmission system, transmission method, device manufacturing device and device manufacturing method

【技术实现步骤摘要】
传送系统、传送方法、器件制造装置及器件制造方法
本专利技术涉及传送系统、传送方法、器件制造装置及器件制造方法。
技术介绍
近年来，有机EL显示装置作为平板显示装置而备受关注。有机EL显示装置是自发光显示器，响应速度、视场角、薄型化等特性比液晶面板显示器优异，在以监视器、电视机、智能手机为代表的各种便携终端等中正在以较快的速度取代既存的液晶面板显示器。而且，在机动车用显示器等中也正在扩宽其应用领域。构成有机EL显示装置的有机发光元件(有机EL元件；OLED)具有在2个面对的电极(阴极电极、阳极电极)之间形成有包含产生发光的有机物层即发光层的功能层的基本结构。有机发光元件的功能层和电极层通过例如在真空腔室内，将蒸镀物质经由形成有像素图案的掩模向基板蒸镀来制造。在这样的有机EL显示装置的生产线中，使用在连杆结构的多关节臂上连结有手的传送机器人，将基板及/或掩模向成膜室、通路室、缓冲室、掩模贮存腔室等依次传送，并在基板的处理面上依次形成前述的电极及各种功能层。通过传送机器人进行的载置有基板或掩模等处理体的状态下的传送动作可以包括本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种传送系统，所述传送系统从送出源腔室送出处理体并向送入目的地腔室送入，其特征在于，具有：/n传送机器人，所述传送机器人在机器人手部上载置所述处理体进行传送；/n控制部，所述控制部控制所述传送机器人的传送动作；及/n检测机构，所述检测机构设置在所述处理体的传送路径上，检测所述处理体在所述机器人手部上有无位置偏离，/n所述传送动作包括：使所述传送机器人以在所述机器人手部上载置有所述处理体的状态移动至与所述送入目的地腔室的送入开口部相向的位置的第一动作；使所述传送机器人从与所述送入开口部相向的位置朝向所述送入开口部进行直行移动而进入所述送入目的地腔室内的第二动作，/n所述控制部控制所述传送机器...

【技术特征摘要】
20181130 KR 10-2018-01517081.一种传送系统，所述传送系统从送出源腔室送出处理体并向送入目的地腔室送入，其特征在于，具有：
传送机器人，所述传送机器人在机器人手部上载置所述处理体进行传送；
控制部，所述控制部控制所述传送机器人的传送动作；及
检测机构，所述检测机构设置在所述处理体的传送路径上，检测所述处理体在所述机器人手部上有无位置偏离，
所述传送动作包括：使所述传送机器人以在所述机器人手部上载置有所述处理体的状态移动至与所述送入目的地腔室的送入开口部相向的位置的第一动作；使所述传送机器人从与所述送入开口部相向的位置朝向所述送入开口部进行直行移动而进入所述送入目的地腔室内的第二动作，
所述控制部控制所述传送机器人，使得当在与所述送入目的地腔室的送入开口部相向的位置通过所述检测机构判定为所述处理体在所述机器人手部上没有位置偏离时进行所述第二动作。


2.根据权利要求1所述的传送系统，其特征在于，
所述传送机器人包括与旋转轴连结的机器人臂部和与所述机器人臂部的前端连结的所述机器人手部。


3.根据权利要求2所述的传送系统，其特征在于，
所述第一动作包括使在所述机器人手部上载置有所述处理体的所述传送机器人从所述送出源腔室退避的动作；使退避的所述传送机器人移动至与所述送入目的地腔室的送入开口部相向的位置的动作，
移动至与所述送入目的地腔室的送入开口部相向的位置的所述动作至少包括以所述旋转轴为中心使所述传送机器人旋转的回旋动作。


4.根据权利要求3所述的传送系统，其特征在于，
所述检测机构设置在与所述送入目的地腔室的送入开口部相向的位置。


5.根据权利要求4所述的传送系统，其特征在于，
所述检测机构设置在与所述送入目的地腔室的送入开口部相向、且在所述传送机器人进行回旋动作的旋转半径的范围内接近所述送入目的地腔室的送入开口部侧的位置。


6.根据权利要求5所述的传送系统，其特征在于，
所述传送机器人进行回旋动作的旋转半径是载置有所述处理体的所述机器人手部的自由前端最接近所述传送机器人的所述旋转轴而旋转时的旋转半径。


7.根据权利要求4所述的传送系统，其特征在于，
所述检测机构设置在所述第二动作时成为移动的前端侧的所述处理体的端部的两侧。


8.根据权利要求7所述的传送系统，其特征在于，
所述检测机构间的间隔比所述送入目的地腔室的所述送入开口部的宽度小且比所述处理体的宽度大。


9.根据权利要求7所述的传送系统，其特征在于，
所述检测机构还在所述第二动作时成为移动的前端侧的所述处理体的端部的相反侧端部也设置一处以上。


10.根据权利要求3所述的传送系统，其特征在于，
所述检测机构是激光传感器。


11.根据权利要求3所述的传送系统，其特征在于，
所述检测机构是相机。


12.根据权利要求1所述的传送系统，其特征在于，
当在与所述送入目的地腔室的送入开口部相向的位置处所述检测机构的检测结果是判定为所述处理体在所述机器人手部上存在位置偏离时，所述控制部控制成暂缓所述第二动作，并通过通知机构发出警告。


13.根据权利要求1所述的传送系统，其特征在于，
当在与所述送入目的地腔室的送入开口部相向的位置处所述检测机构的检测结果是判定为所述处理体在所述机器人手部上存在位置偏离时，所述控制部控制成暂缓所述第二动作，并将所述传送机器人向位置调整机构移送，
所述位置调整机构修正所述处理体在所述机器人手部上的位置偏离。


14.根据权利要求1所述的传送系统，其特征在于，
所述处理体是掩模。


15.根据权利要求1所述的传送系统，其特征在于，
所述处理体是基板。


16.一种器件制造装置，其特征在于，包括：
多个腔室；及
作为用于将处理体在...

【专利技术属性】
技术研发人员：星野孝雄，阪上裕介，盐入信朗，
申请(专利权)人：佳能特机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP