传送系统、传送方法、器件制造装置及器件制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及传送系统、传送方法、器件制造装置及器件制造方法。传送系统具有：传送机器人，其在机器人手部上载置处理体进行传送；控制部，其控制传送机器人的传送动作；及检测机构，其设置在处理体的传送路径上，检测处理体在机器人手部上有无位置偏离，传送动作包括：使传送机器人以在机器人手部上载置有处理体的状态移动至与送入目的地腔室的送入开口部相向的位置的第一动作；使传送机器人从与送入开口部相向的位置朝向送入开口部进行直行移动而进入送入目的地腔室内的第二动作，控制部控制传送机器人，使得当在与送入目的地腔室的送入开口部相向的位置通过检测机构判定为处理体在机器人手部上没有位置偏离时进行第二动作。

Transmission system, transmission method, device manufacturing device and device manufacturing method

【技术实现步骤摘要】
传送系统、传送方法、器件制造装置及器件制造方法
本专利技术涉及传送系统、传送方法、器件制造装置及器件制造方法。
技术介绍
近年来，有机EL显示装置作为平板显示装置而备受关注。有机EL显示装置是自发光显示器，响应速度、视场角、薄型化等特性比液晶面板显示器优异，在以监视器、电视机、智能手机为代表的各种便携终端等中正在以较快的速度取代既存的液晶面板显示器。而且，在机动车用显示器等中也正在扩宽其应用领域。构成有机EL显示装置的有机发光元件(有机EL元件；OLED)具有在2个面对的电极(阴极电极、阳极电极)之间形成有包含产生发光的有机物层即发光层的功能层的基本结构。有机发光元件的功能层和电极层通过例如在真空腔室内，将蒸镀物质经由形成有像素图案的掩模向基板蒸镀来制造。在这样的有机EL显示装置的生产线中，使用在连杆结构的多关节臂上连结有手的传送机器人，将基板及/或掩模向成膜室、通路室、缓冲室、掩模贮存腔室等依次传送，并在基板的处理面上依次形成前述的电极及各种功能层。通过传送机器人进行的载置有基板或掩模等处理体的状态下的传送动作可以包括前述的各种腔室间的移动用的前进/后退动作、横向的移动动作、回旋动作等各种移动动作，在该移动时基板或掩模等处理体在机器人手上可能会发生位置偏离。当虽然发生这样的位置偏离但是未能对其进行识别而继续进行传送机器人的传送动作时，例如，如果要将以偏离的状态载置有基板或掩模等处理体的机器人手放入成膜室内，则处理体会在腔室的送入开口部发生碰撞而向成膜室的送入未正常地进行。r>
技术实现思路
【要解决的课题】本专利技术用于解决这样的问题，其目的在于提供一种在传送机器人进行的处理体的传送时，检测机器人手上的处理体的位置偏离，能够防止送入开口部处的处理体的碰撞的传送系统、传送方法、器件制造装置及器件制造方法。【课题的解决方案】本专利技术的一实施方式的传送系统从送出源腔室送出处理体并向送入目的地腔室送入，其特征在于，具有：传送机器人，所述传送机器人在机器人手部上载置所述处理体进行传送；控制部，所述控制部控制所述传送机器人的传送动作；及检测机构，所述检测机构设置在所述处理体的传送路径上，检测所述处理体在所述机器人手部上有无位置偏离，所述传送动作包括：使所述传送机器人以在所述机器人手部上载置有所述处理体的状态移动至与所述送入目的地腔室的送入开口部相向的位置的第一动作；使所述传送机器人从与所述送入开口部相向的位置朝向所述送入开口部进行直行移动而进入所述送入目的地腔室内的第二动作，所述控制部控制所述传送机器人，使得当在与所述送入目的地腔室的送入开口部相向的位置通过所述检测机构判定为所述处理体在所述机器人手部上没有位置偏离时进行所述第二动作。本专利技术的一实施方式的传送方法使用传送系统，从送出源腔室送出处理体并向送入目的地腔室送入，所述传送系统具有在机器人手部上载置处理体进行传送的传送机器人、控制所述传送机器人的传送动作的控制部、及设置在所述处理体的传送路径上并检测所述处理体在所述机器人手部上有无位置偏离的检测机构，所述传送方法的特征在于，包括：使所述传送机器人以在所述机器人手部上载置有所述处理体的状态移动至与所述送入目的地腔室的送入开口部相向的位置的第一步骤；及使所述传送机器人从与所述送入开口部相向的位置朝向所述送入开口部进行直行移动而进入所述送入目的地腔室内的第二步骤，控制所述传送机器人，使得当在与所述送入目的地腔室的送入开口部相向的位置通过所述检测机构判定为所述处理体在所述机器人手部上没有位置偏离时进行所述第二步骤。【专利技术效果】根据本专利技术，在传送机器人对处理体进行传送时，检测机器人手上的处理体的位置偏离，能够防止送入开口部处的处理体的碰撞。附图说明图1是有机EL显示装置的生产线的一部分的示意图。图2是概略性地表示成膜室的结构的图。图3是表示传送机器人的结构的示意图。图4a～图4c及图5a～图5c是说明利用传送机器人从掩模贮存腔室送出掩模并向成膜室送入的一连串的传送动作的图。图6a和图6b是表示本专利技术的一实施方式的位置偏离检测机构的设置例的图。图7a～图7c是表示本专利技术的一实施方式的位置调整机构的一例的示意图。图8是表示在向双台类型的成膜室传送掩模的传送动作中应用了本专利技术的实施方式的图。图9是表示电子器件的示意图。【符号说明】1：成膜群集11：成膜室11a、11b：成膜室的开口部12：掩模贮存腔室13：传送室14：传送机器人23：机器人臂部24：机器人手部25：控制部30：位置偏离检测机构31：激光光源部32：激光受光部40：位置调整机构41a、41b：掩模接触部具体实施方式以下，参照附图，说明本专利技术的优选的实施方式及实施例。但是，以下的实施方式及实施例例示性地表示本专利技术的优选结构，本专利技术的范围没有限定为这些结构。而且，在以下的说明中，装置的硬件结构及软件结构、处理的流程、制造条件、大小、材质、形状等只要没有特别特定的记载，就不旨在将本专利技术的范围限定于此。本专利技术能够应用于一边向多个成膜室依次传送基板，一边使各种材料堆积于基板的表面进行成膜的装置，并能够优选应用于通过真空蒸镀来形成所希望的图案的薄膜(材料层)的装置。作为基板的材料，可以选择玻璃、树脂、金属等任意的材料，而且，作为蒸镀材料，也可以选择有机材料、无机材料(金属、金属氧化物等)等任意的材料。具体而言，本专利技术的技术能够应用于有机电子器件(例如，有机发光元件、薄膜太阳能电池)、光学构件等的制造装置。其中，通过使蒸镀材料蒸发并经由掩模向基板蒸镀来形成有机发光元件的有机发光元件的制造装置是本专利技术的优选的应用例。<电子器件生产线>图1是示意性地图示电子器件的生产线的结构的一部分的俯视图。图1的生产线例如用于智能手机用的有机EL显示装置的显示面板的制造。在智能手机用的显示面板的情况下，例如，对第6代基板全尺寸(约1500mm×约1850mm)或第6代基板半切断尺寸(约1500mm×约925mm)的基板进行了有机EL的成膜之后，将该基板切割而制作出多个小尺寸的面板。有机EL显示装置的生产线的成膜群集1通常如图1所示，具备进行对于基板S的处理(例如，成膜)的多个成膜室11、对使用前后的掩模进行收纳的掩模贮存腔室12、以及在其中央配置的传送室13。在传送室13内设置有在多个成膜室11之间传送基板S且用于在成膜室11与掩模贮存腔室12之间传送掩模的传送机器人14。传送机器人14是例如具有在多关节臂安装有对基板S或掩模进行保持的机器人手的结构的机器人。关于传送机器人14的结构的详情，在后文叙述。在成膜群集1连结有在基板S的流动方向上将来自上游侧的基板S向成膜群集1传送的通路室15和将在该成膜群集1中完成了成膜处理后的基板S向下游侧的其他的成膜群集传送用的缓冲本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种传送系统，所述传送系统从送出源腔室送出处理体并向送入目的地腔室送入，其特征在于，具有：/n传送机器人，所述传送机器人在机器人手部上载置所述处理体进行传送；/n控制部，所述控制部控制所述传送机器人的传送动作；及/n检测机构，所述检测机构设置在所述处理体的传送路径上，检测所述处理体在所述机器人手部上有无位置偏离，/n所述传送动作包括：使所述传送机器人以在所述机器人手部上载置有所述处理体的状态移动至与所述送入目的地腔室的送入开口部相向的位置的第一动作；使所述传送机器人从与所述送入开口部相向的位置朝向所述送入开口部进行直行移动而进入所述送入目的地腔室内的第二动作，/n所述控制部控制所述传送机器人，使得当在与所述送入目的地腔室的送入开口部相向的位置通过所述检测机构判定为所述处理体在所述机器人手部上没有位置偏离时进行所述第二动作。/n

【技术特征摘要】
20181130 KR 10-2018-01517081.一种传送系统，所述传送系统从送出源腔室送出处理体并向送入目的地腔室送入，其特征在于，具有：
传送机器人，所述传送机器人在机器人手部上载置所述处理体进行传送；
控制部，所述控制部控制所述传送机器人的传送动作；及
检测机构，所述检测机构设置在所述处理体的传送路径上，检测所述处理体在所述机器人手部上有无位置偏离，
所述传送动作包括：使所述传送机器人以在所述机器人手部上载置有所述处理体的状态移动至与所述送入目的地腔室的送入开口部相向的位置的第一动作；使所述传送机器人从与所述送入开口部相向的位置朝向所述送入开口部进行直行移动而进入所述送入目的地腔室内的第二动作，
所述控制部控制所述传送机器人，使得当在与所述送入目的地腔室的送入开口部相向的位置通过所述检测机构判定为所述处理体在所述机器人手部上没有位置偏离时进行所述第二动作。


2.根据权利要求1所述的传送系统，其特征在于，
所述传送机器人包括与旋转轴连结的机器人臂部和与所述机器人臂部的前端连结的所述机器人手部。


3.根据权利要求2所述的传送系统，其特征在于，
所述第一动作包括使在所述机器人手部上载置有所述处理体的所述传送机器人从所述送出源腔室退避的动作；使退避的所述传送机器人移动至与所述送入目的地腔室的送入开口部相向的位置的动作，
移动至与所述送入目的地腔室的送入开口部相向的位置的所述动作至少包括以所述旋转轴为中心使所述传送机器人旋转的回旋动作。


4.根据权利要求3所述的传送系统，其特征在于，
所述检测机构设置在与所述送入目的地腔室的送入开口部相向的位置。


5.根据权利要求4所述的传送系统，其特征在于，
所述检测机构设置在与所述送入目的地腔室的送入开口部相向、且在所述传送机器人进行回旋动作的旋转半径的范围内接近所述送入目的地腔室的送入开口部侧的位置。


6.根据权利要求5所述的传送系统，其特征在于，
所述传送机器人进行回旋动作的旋转半径是载置有所述处理体的所述机器人手部的自由前端最接近所述传送机器人的所述旋转轴而旋转时的旋转半径。


7.根据权利要求4所述的传送系统，其特征在于，
所述检测机构设置在所述第二动作时成为移动的前端侧的所述处理体的端部的两侧。


8.根据权利要求7所述的传送系统，其特征在于，
所述检测机构间的间隔比所述送入目的地腔室的所述送入开口部的宽度小且比所述处理体的宽度大。


9.根据权利要求7所述的传送系统，其特征在于，
所述检测机构还在所述第二动作时成为移动的前端侧的所述处理体的端部的相反侧端部也设置一处以上。


10.根据权利要求3所述的传送系统，其特征在于，
所述检测机构是激光传感器。


11.根据权利要求3所述的传送系统，其特征在于，
所述检测机构是相机。


12.根据权利要求1所述的传送系统，其特征在于，
当在与所述送入目的地腔室的送入开口部相向的位置处所述检测机构的检测结果是判定为所述处理体在所述机器人手部上存在位置偏离时，所述控制部控制成暂缓所述第二动作，并通过通知机构发出警告。


13.根据权利要求1所述的传送系统，其特征在于，
当在与所述送入目的地腔室的送入开口部相向的位置处所述检测机构的检测结果是判定为所述处理体在所述机器人手部上存在位置偏离时，所述控制部控制成暂缓所述第二动作，并将所述传送机器人向位置调整机构移送，
所述位置调整机构修正所述处理体在所述机器人手部上的位置偏离。


14.根据权利要求1所述的传送系统，其特征在于，
所述处理体是掩模。


15.根据权利要求1所述的传送系统，其特征在于，
所述处理体是基板。


16.一种器件制造装置，其特征在于，包括：
多个腔室；及
作为用于将处理体在...

【专利技术属性】
技术研发人员：星野孝雄，阪上裕介，盐入信朗，
申请(专利权)人：佳能特机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP