探针台传片控制装置制造方法及图纸

技术编号:24419566 阅读:67 留言:0更新日期:2020-06-06 13:19
探针台传片控制装置,本实用新型专利技术涉及晶片检测技术领域,尤其涉及检测前的探针台传片控制装置的结构改进。提供了一种结构紧凑合理,便于在原有机型进行改装,避免背面产生皮带印的探针台传片控制装置。本实用新型专利技术的晶片未碰触到限位座前,进入光纤传感器的感应区,感应信号传递至PLC,此时升降机构的活塞杆上升,将晶片顶起,活塞杆上升过程时,吸盘开始吸气,提高晶片的稳固性。活塞杆将晶片上升至设定位置后,旋转臂旋转至晶片的下方,活塞杆下降,吸盘停止吸气,此时旋转臂上的吸气孔开始吸气,旋转臂接到晶片后,通过电机旋转至检测台工位。本实用新型专利技术具有结构紧凑合理,便于在原有机型进行改装,避免背面产生皮带印等特点。

Control device of probe table transmission

【技术实现步骤摘要】
探针台传片控制装置
本技术涉及晶片检测
,尤其涉及检测前的探针台传片控制装置的结构改进。
技术介绍
现在公司使用的EG2001探针台,是通过皮带摩擦力把晶片带到指定位置,而每一片晶片的摩擦系数都不一样,为了保证每一片都能传片到达指定位置,皮带运行时间都设计比较长,都需传动至限位座上后,皮带停止传送,通过机械臂将晶片传送至检测台工位。由于受限位座的限制,晶片与皮带之间产生相对运动,在晶片背面产生皮带印,影响产品品质,不能满足客户要求,从而放弃自动传片功能,采用手动放片(不经过皮带自动传送,不会产生背印),影响工作效率。
技术实现思路
本技术针对以上问题,提供了一种结构紧凑合理,便于在原有机型进行改装,避免背面产生皮带印的探针台传片控制装置本技术的技术方案是:包括传送台、限位座和一对设置在所述传送台上的皮带;还包括旋转臂、升降机构、支架和光纤传感器;所述升降机构固定设置在所述传送台的底部,位于中部位置;所述升降机构的活塞杆的顶部设有固定连接的吸盘;所述传送台上设有与活塞杆适配的升降孔;所述旋转臂通过电机活动设置在所述传送台上,位于所述限位座的外侧的中部位置,与升降机构相适配;所述光纤传感器通过支架固定设置在所述传送台上,与晶片相适配。所述旋转臂包括依次固定连接的连接部和支撑部;所述连接部的一端与电机的旋转轴固定连接,另一端与支撑部固定连接;所述支撑部呈C形,与所述升降机构相适配。所述支撑部的顶部设有若干均布固定设置的乳胶层;所述支撑部上,位于相邻所述乳胶层之间设有吸气孔。所述支架包括竖向架、横向架、小齿轮和大齿轮;所述竖向架竖向固定设置在所述传送台上,位于所述限位座的外侧;所述小齿轮通过铰接轴一活动设置在所述竖向架的顶部;所述大齿轮通过铰接轴二活动设置在所述竖向架的顶部,与所述小齿轮相啮合;所述横向架的一端设有向下延伸的铰接轴三,所述铰接轴三与所述大齿轮固定连接;所述光纤传感器固定设置在所述横向架的另一端,位于晶片的顶部。所述横向架上设有与所述光纤传感器适配的滑槽。本技术中包括传送台、限位座和一对设置在所述传送台上的皮带;还包括旋转臂、升降机构、支架和光纤传感器;本案中的晶片到达预设的光纤传感器感应位置时,即晶片未碰触到限位座前,进入光纤传感器的感应区,感应信号传递至PLC,此时升降机构的活塞杆上升,将晶片顶起,活塞杆上升过程时,吸盘开始吸气,提高晶片的稳固性。活塞杆将晶片上升至设定位置后,旋转臂旋转至晶片的下方,活塞杆下降,吸盘停止吸气,此时旋转臂上的吸气孔开始吸气,旋转臂接到晶片后,通过电机旋转至检测台工位。本技术具有结构紧凑合理,便于在原有机型进行改装,避免背面产生皮带印等特点。附图说明图1是本技术的结构示意图,图2是传送台的结构示意图,图3是图2中支架的结构示意图;图中1是传送台,2是限位座,3是皮带,4是旋转臂,5是升降机构,6是支架,61是竖向架,62是横向架,63是小齿轮,64是大齿轮,7是光纤传感器,8是晶片。具体实施方式本技术如图1-3所示,包括传送台1、限位座2和一对设置在所述传送台1上的皮带3;还包括旋转臂4、升降机构5、支架6和光纤传感器7;所述升降机构5固定设置在所述传送台1的底部,位于中部位置;所述升降机构5的活塞杆的顶部设有固定连接的吸盘;所述传送台1上设有与活塞杆适配的升降孔;活塞杆通过升降机构5从升降孔内伸出,将晶片8顶起,伸出前,吸盘处于吸气状态;本案中升降机构5可以为电动推杆或气缸,优先选择气缸。所述旋转臂4通过电机活动设置在所述传送台1上,位于所述限位座2的外侧的中部位置(远离晶片8的一侧),与升降机构5相适配;电机固定连接在传送台1上,旋转臂4与电机的旋转轴固定连接,待检测的晶片8被升降机构5升起后,旋转臂4通过电机旋转,旋转至晶片8的下方,升降机构5下降,将晶片8落至旋转臂4的顶部;所述光纤传感器7通过支架6固定设置在所述传送台1上,与晶片8相适配。本案中的晶片8到达预设的光纤传感器7感应位置时,即晶片8未碰触到限位座2前,进入光纤传感器7的感应区,感应信号传递至PLC,光纤传感器感应技术是本领域惯用技术手段,属于现有技术,此时升降机构5的活塞杆上升,将晶片8顶起,活塞杆上升过程时,吸盘开始吸气,提高晶片8的稳固性。活塞杆将晶片8上升至设定位置后,旋转臂4旋转至晶片8的下方,活塞杆下降,吸盘停止吸气,此时旋转臂4上的吸气孔开始吸气,旋转臂4接到晶片8后,通过电机旋转至检测台工位。所述旋转臂4包括依次固定连接的连接部和支撑部;所述连接部的一端与电机的旋转轴固定连接,另一端与支撑部固定连接;所述支撑部呈C形,与所述升降机构5相适配。C形结构的设计,一方面可以避开升降机构5的活塞杆的位置,将旋转臂4顺利的伸入晶片8的下方,另一方面可以稳固的支撑晶片8的底部,提高支撑的稳固性。所述支撑部的顶部设有若干均布固定设置的乳胶层;所述支撑部上,位于相邻所述乳胶层之间设有吸气孔。所述支架6包括竖向架61、横向架62、小齿轮63和大齿轮64;所述竖向架61竖向固定设置在所述传送台1上,位于所述限位座2的外侧;所述小齿轮63通过铰接轴一活动设置在所述竖向架61的顶部;所述大齿轮64通过铰接轴二活动设置在所述竖向架61的顶部,与所述小齿轮63相啮合;所述横向架62的一端设有向下延伸的铰接轴三,所述铰接轴三与所述大齿轮64固定连接;所述光纤传感器7固定设置在所述横向架62的另一端,位于晶片8的顶部。小齿轮63的顶部设有与内六角扳手适配的扳孔,通过内六角扳手,旋转小齿轮63,小齿轮63与大齿轮64啮合,带动大齿轮64的旋转,横向架62固定设置在大齿轮64的顶部,即实现横向架62的旋转调节功能,便于光纤传感器7位置与晶片8之间的位置调节。进一步优化,小齿轮63上设有贯通的螺纹孔,螺纹孔内设有适配的螺栓,通过螺栓的调节,即螺栓的底部与竖向架61的顶面紧密接触时,实现小齿轮63的锁定功能。所述横向架62上设有与所述光纤传感器7适配的滑槽。光纤传感器7可在滑槽内滑动调节与晶片8的位置关系。对于本案所公开的内容,还有以下几点需要说明:(1)、本案所公开的实施例附图只涉及到与本案所公开实施例所涉及到的结构,其他结构可参考通常设计;(2)、在不冲突的情况下,本案所公开的实施例及实施例中的特征可以相互组合以得到新的实施例;以上,仅为本案所公开的具体实施方式,但本公开的保护范围并不局限于此,本案所公开的保护范围应以权利要求的保护范围为准。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.探针台传片控制装置,包括传送台、限位座和一对设置在所述传送台上的皮带;其特征在于,还包括旋转臂、升降机构、支架和光纤传感器;/n所述升降机构固定设置在所述传送台的底部,位于中部位置;所述升降机构的活塞杆的顶部设有固定连接的吸盘;所述传送台上设有与活塞杆适配的升降孔;/n所述旋转臂通过电机活动设置在所述传送台上,位于所述限位座的外侧的中部位置,与升降机构相适配;/n所述光纤传感器通过支架固定设置在所述传送台上,与晶片相适配。/n

【技术特征摘要】
1.探针台传片控制装置,包括传送台、限位座和一对设置在所述传送台上的皮带;其特征在于,还包括旋转臂、升降机构、支架和光纤传感器;
所述升降机构固定设置在所述传送台的底部,位于中部位置;所述升降机构的活塞杆的顶部设有固定连接的吸盘;所述传送台上设有与活塞杆适配的升降孔;
所述旋转臂通过电机活动设置在所述传送台上,位于所述限位座的外侧的中部位置,与升降机构相适配;
所述光纤传感器通过支架固定设置在所述传送台上,与晶片相适配。


2.根据权利要求1所述的探针台传片控制装置,其特征在于,所述旋转臂包括依次固定连接的连接部和支撑部;
所述连接部的一端与电机的旋转轴固定连接,另一端与支撑部固定连接;
所述支撑部呈C形,与所述升降机构相适配。


3.根据权利要求2所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员:赖建祥王毅
申请(专利权)人:扬州扬杰电子科技股份有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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