微元件的转移装置及转移方法制造方法及图纸

本申请提供了一种微元件的转移装置及转移方法，转移装置用于将第一基板上的多个微元件转移至第二基板；其中，第一基板包括相对设置的第一表面和第二表面，第一表面上设有多个微元件；转移装置包括：转运组件，用于获取并转运第一基板和第二基板中的一个，将第一基板和第二基板对位放置，第一基板上的第一表面与第二基板相对；剥离组件，用于将微元件与第一基板剥离，以使微元件转移至第二基板。本申请转移装置可实现微元件的大批量的精确转移。

Transfer device and transfer method of micro element

【技术实现步骤摘要】
微元件的转移装置及转移方法
本申请涉及微元件的转移
，特别是涉及一种微元件的转移装置及转移方法。
技术介绍
人们日常生活所使用的设备中，元件微小化成为发展趋势之一，例如在显示设备中应用微型发光二极管(Micro-LED)，即表示在显示面板上集成多个微小尺寸的微型发光二极管(LED，LiquidEmittingDiode)，微型发光二极管具有极高的发光效率和寿命，因此，越来越多的企业开始研发微型发光二极管显示面板，微型发光二极管有希望成为下一代显示技术。对于当前的微型发光二极管显示面板的制造，由于制备工艺的限制，其无法实现微型发光二极管高效精确的转移。
技术实现思路
本申请提供一种微元件的转移装置及转移方法，以解决现有技术中无法实现微元件的高效精确转移的问题。为解决上述技术问题，本申请提供一种微元件的转移装置，用于将第一基板上的多个微元件转移至第二基板；其中，第一基板包括相对设置的第一表面和第二表面，第一表面上设置有多个微元件；转移装置包括：转运组件，用于获取并转运第一基板和第二基板中的一个，将第一基板和本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微元件的转移装置，其特征在于，所述转移装置用于将第一基板上的多个所述微元件转移至第二基板；其中，所述第一基板包括相对设置的第一表面和第二表面，所述第一表面上设有多个所述微元件；/n所述转移装置包括：/n转运组件，用于获取并转运所述第一基板和所述第二基板中的一个，将所述第一基板和所述第二基板对位放置，且使所述第一基板的第一表面与所述第二基板相对；/n剥离组件，用于将所述微元件与所述第一基板剥离，以使所述微元件转移至所述第二基板。/n

【技术特征摘要】
1.一种微元件的转移装置，其特征在于，所述转移装置用于将第一基板上的多个所述微元件转移至第二基板；其中，所述第一基板包括相对设置的第一表面和第二表面，所述第一表面上设有多个所述微元件；
所述转移装置包括：
转运组件，用于获取并转运所述第一基板和所述第二基板中的一个，将所述第一基板和所述第二基板对位放置，且使所述第一基板的第一表面与所述第二基板相对；
剥离组件，用于将所述微元件与所述第一基板剥离，以使所述微元件转移至所述第二基板。


2.根据权利要求1所述的转移装置，其特征在于，所述转运组件包括：
转运基座；
获取机构，设置于所述转运基座的一侧，用于获取所述第一基板；
驱动机构，连接于所述转运基座的另一侧，用于驱动所述转运基座运动。


3.根据权利要求2所述的转移装置，其特征在于，所述获取机构包括多个真空吸嘴，用于吸取所述第一基板的所述第二表面；所述多个真空吸嘴分布于所述获取机构上与所述第一基板的两个相对边缘相对应的位置，或者均匀分布于所述获取机构上与所述第一基板的所述第一表面未设置所述微元件区域相对应的位置；
或者，所述获取机构包括至少两个抓取部件，用于抓取所述第一基板的两相对侧边。


4.根据权利要求2所述的转移装置，其特征在于，所述转运组件进一步包括定位机构，所述定位机构设置于所述转运基座上，与所述获取机构位于所述转运基座的同一侧，用于实现第一基板和第二基板的对位。


5.根据权利要求2所述的转移装置，其特征在于，所述转移装置进一步包括固定组件，用于将所述第一基板上的所述微元件固定于所述第二基板上，所述固定组件包括：
施压机构，连接于所述转运基座，与所述驱动机构位于所述转运基座的同一侧，用于对所述转运基座施压，以通过所述获取机构加压于所述第一基板，使得所述微元件固定于所述第二基板上。


6....

【专利技术属性】
技术研发人员：郭恩卿，邢汝博，黄秀颀，
申请(专利权)人：昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司，昆山国显光电有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32