微元件的转移装置及转移方法制造方法及图纸

本申请提供了一种微元件的转移装置及转移方法，转移装置用于将第一基板上的多个微元件转移至第二基板；其中，第一基板包括相对设置的第一表面和第二表面，第一表面上设有多个微元件；转移装置包括：转运组件，用于获取并转运第一基板和第二基板中的一个，将第一基板和第二基板对位放置，第一基板上的第一表面与第二基板相对；剥离组件，用于将微元件与第一基板剥离，以使微元件转移至第二基板。本申请转移装置可实现微元件的大批量的精确转移。

Transfer device and transfer method of micro element

【技术实现步骤摘要】
微元件的转移装置及转移方法
本申请涉及微元件的转移
，特别是涉及一种微元件的转移装置及转移方法。
技术介绍
人们日常生活所使用的设备中，元件微小化成为发展趋势之一，例如在显示设备中应用微型发光二极管(Micro-LED)，即表示在显示面板上集成多个微小尺寸的微型发光二极管(LED，LiquidEmittingDiode)，微型发光二极管具有极高的发光效率和寿命，因此，越来越多的企业开始研发微型发光二极管显示面板，微型发光二极管有希望成为下一代显示技术。对于当前的微型发光二极管显示面板的制造，由于制备工艺的限制，其无法实现微型发光二极管高效精确的转移。
技术实现思路
本申请提供一种微元件的转移装置及转移方法，以解决现有技术中无法实现微元件的高效精确转移的问题。为解决上述技术问题，本申请提供一种微元件的转移装置，用于将第一基板上的多个微元件转移至第二基板；其中，第一基板包括相对设置的第一表面和第二表面，第一表面上设置有多个微元件；转移装置包括：转运组件，用于获取并转运第一基板和第二基板中的一个，将第一基板和第二基板对位放置，且使第一基板的第一表面与第二基板相对；剥离组件，用于将微元件与第一基板剥离，以使微元件转移至第二基板。为解决上述技术问题，本申请提供一种微元件的转移方法，用于将第一基板上的多个微元件转移至第二基板，其中第一基板包括相对设置的第一表面和第二表面，第一表面上设置有多个微元件；转移方法包括：转运第一基板和第二基板中的一个，将第一基板和第二基板对位放置，且使第一基板的第一表面与第二基板相对；在第一基板和第二基板对位放置后，将微元件与第一基板剥离，以使微元件转移至第二基板。本申请微元件的转移装置用于将第一基板上的多个微元件转移至第二基板；转移装置通过转运组件将第一基板和第二基板对位放置，使第一基板上设置微元件的表面与第二基板相对；然后通过剥离组件将微元件与第一基板剥离，以使微元件转移至第二基板；本申请转移装置通过转运组件和剥离组件的相互协同作用，将第一基板上的微元件转移到第二基板上，该转移装置直接对基板进行操作，实现了微元件的批量转移。并且可将第一基板和第二基板对位，实现微元件的精确对位。因而，本申请转移装置可实现微元件精确高效的转移。附图说明为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本申请微元件的转移装置一实施例的结构示意图；图2是图1所示转移装置实施例中另一种获取机构的结构示意图；图3是图1所示转移装置实施例中另一种剥离组件的结构示意图；图4是本申请微元件的转移系统一实施例的结构示意图；图5是图4所示转移系统实施例中固定膜上放置第一基板的结构示意图；图6是本申请微元件的转移方法一实施例的流程示意图。具体实施方式下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。本申请的转移装置用于实现微元件的转移，以微型发光二极管显示面板为例，本申请转移装置能够实现批量微型发光二极管的转移。其他与微型发光二极管有相同微小特征的微元件均可采用本申请的转移装置实现批量化转移。微型发光二极管即本申请所述的微元件在显示面板中用于实现像素的自发光，一个微元件用作一个像素点，在当前显示面板中，像素点个数一般成千上万，因而对应在显示面板上所设置的微元件也有成千上万个。一般来说，微元件首先在生长基底上延展出，然后由生长基底经过一次或多次转移到驱动基板上以构成显示面板，对于该转移过程，本申请提出的转移装置直接对基板进行操作，实现基板间的微元件准确高效的转移。具体来说，请参阅图1，图1是本申请微元件的转移装置一实施例的结构示意图。本实施例转移装置100用于将第一基板800上的多个微元件转移至第二基板900，第一基板800包括相对设置的第一表面81和第二表面82，多个微元件设置在第一表面81上。对于微型发光二极管显示面板来说，可以直接将生长基板上的微元件转移至驱动基板，以构成显示面板；此时第一基板800为微元件83的生长基板，例如蓝宝石生长基板；第二基板900则是驱动基板，可以是TFT驱动基板，微元件83转移至驱动基板上后，微元件83可作为每个像素点的发光二极管。相应的，本实施例转移装置100直接将微元件从其生长基板一次转移至驱动基板，而无需其他中间临时转移基板。当然，在某些情况下，例如需要将生长基板上的微元件83先转移到临时基板上进行处理时，则涉及生长基板转移到临时基板，临时基板转移到驱动基板等至少两个转移过程；此时第一基板800可以是生长基板或临时基板，相应第二基板900可以是临时基板或驱动基板。即本实施例转移装置100可应用于基板间的微元件转移过程。下面以第一基板800为生长基板，第二基板900为驱动基板为例对本实施例进行描述。本实施例转移装置100包括转运组件11和剥离组件13。其中，转运组件11用于将第一基板800和第二基板900对位放置，对位放置是为了在进行微元件83转移时，保证微元件83转移位置的准确性。两基板对位放置后，第一基板800上设置微元件83的第一表面81与第二基板900相对，以便于微元件83固定于第二基板900上。转运组件11可作用于第一基板800，即获取第一基板800，将第一基板800转运至第二基板900处，且控制二者对位放置。也可获取第二基板900，将第二基板900转运至第一基板800处，且控制二者对位放置。在将第一基板800与第二基板900对位放置的同时，可以使第一基板800和第二基板900相互靠近接触，使微元件83置于第二基板900上相应的位置，例如可在第二基板900上设置凹槽，用于放置微元件83，还可在第二基板900或微元件83上设置粘胶，以使得微元件83通过粘胶贴附在第二基板900上。本实施例中的剥离组件13，用于将微元件83从第一基板800上剥离，从而使微元件83转移至第二基板900。因而在第一基板800上的微元件83放置于第二基板900上后，在利用剥离组件将微元件83从第一基板800上剥离，即可实现将第一基板800上的微元件83转移至第二基板900。本实施例转移装置100实现转移的过程在对每个组件进行说明时已做描述，具体过程不再赘述。本实施例结合两种组件实现了转移过程，且在专利技术设计该转移过程时，专利技术人并没有陷于获取转运微元件的常规思路，而是对微元件所在的基板进行获取转运来实现微元件的批量转移；该方式不仅仅可实现微元件批量高效的转移，还避免了直接对微元件进行转移操作可能造成损坏问题；其次在转运时进行对位操作，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微元件的转移装置，其特征在于，所述转移装置用于将第一基板上的多个所述微元件转移至第二基板；其中，所述第一基板包括相对设置的第一表面和第二表面，所述第一表面上设有多个所述微元件；/n所述转移装置包括：/n转运组件，用于获取并转运所述第一基板和所述第二基板中的一个，将所述第一基板和所述第二基板对位放置，且使所述第一基板的第一表面与所述第二基板相对；/n剥离组件，用于将所述微元件与所述第一基板剥离，以使所述微元件转移至所述第二基板。/n

【技术特征摘要】
1.一种微元件的转移装置，其特征在于，所述转移装置用于将第一基板上的多个所述微元件转移至第二基板；其中，所述第一基板包括相对设置的第一表面和第二表面，所述第一表面上设有多个所述微元件；
所述转移装置包括：
转运组件，用于获取并转运所述第一基板和所述第二基板中的一个，将所述第一基板和所述第二基板对位放置，且使所述第一基板的第一表面与所述第二基板相对；
剥离组件，用于将所述微元件与所述第一基板剥离，以使所述微元件转移至所述第二基板。


2.根据权利要求1所述的转移装置，其特征在于，所述转运组件包括：
转运基座；
获取机构，设置于所述转运基座的一侧，用于获取所述第一基板；
驱动机构，连接于所述转运基座的另一侧，用于驱动所述转运基座运动。


3.根据权利要求2所述的转移装置，其特征在于，所述获取机构包括多个真空吸嘴，用于吸取所述第一基板的所述第二表面；所述多个真空吸嘴分布于所述获取机构上与所述第一基板的两个相对边缘相对应的位置，或者均匀分布于所述获取机构上与所述第一基板的所述第一表面未设置所述微元件区域相对应的位置；
或者，所述获取机构包括至少两个抓取部件，用于抓取所述第一基板的两相对侧边。


4.根据权利要求2所述的转移装置，其特征在于，所述转运组件进一步包括定位机构，所述定位机构设置于所述转运基座上，与所述获取机构位于所述转运基座的同一侧，用于实现第一基板和第二基板的对位。


5.根据权利要求2所述的转移装置，其特征在于，所述转移装置进一步包括固定组件，用于将所述第一基板上的所述微元件固定于所述第二基板上，所述固定组件包括：
施压机构，连接于所述转运基座，与所述驱动机构位于所述转运基座的同一侧，用于对所述转运基座施压，以通过所述获取机构加压于所述第一基板，使得所述微元件固定于所述第二基板上。


6....

【专利技术属性】
技术研发人员：郭恩卿，邢汝博，黄秀颀，
申请(专利权)人：昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司，昆山国显光电有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32