【技术实现步骤摘要】
一种硅片刻蚀设备上的矫正机构及矫正方法
本专利技术涉及硅片生产设备
，特别涉及一种硅片刻蚀设备上的矫正机构。
技术介绍
随着光伏产业越来越受到人们的关注，太阳能电池的生产设备也得到了迅猛的发展。目前，太阳能硅片的上下料机、装片机、刻蚀设备以及硅片传送装置等设备中普遍都采用了硅片传送矫正机构，现有的硅片传送矫正机构有两种形式，一种为固定式矫正机构，即将楔形的导向条固定在硅片传输线的两侧，对硅片传送进行导向。另一种为动态矫正机构，即由气缸控制导向条推动硅片，矫正硅片在传送皮带上的位置。以上两种传输矫正机构均有其局限性和缺陷，固定式矫正机构为刚性导向，存在导向条易磨损，更换频率高且对硅片有污染。动态矫正机构通过气缸控制导向条往复运动，则存在无法矫正硅片前后位置。
技术实现思路
本专利技术目的之一是解决现有技术中的固定式矫正、动态矫正均无法矫正硅片前后位置的问题。本专利技术目的之二是提供一种硅片矫正方法。为达到上述目的之一，本专利技术采用以下技术方案：一种硅片刻蚀设备上的矫正机构，其...
【技术保护点】
1.一种硅片刻蚀设备上的矫正机构，其中，包括：/n基座；/n支撑座，所述支撑座安装在所述基座上的左右两侧；/n传送辊，所述传送辊可旋转安装在所述支撑座上；/n驱动装置，所述驱动装置安装在所述支撑座上，所述驱动装置动力连接所述传送辊；/n传送带，所述传送带至少为两条，所述传送带沿前后方向间隔设置在传送辊上；/n载片台，所述载片台设置在两条所述传送带上，所述载片台具有：/n触发板，所述触发板向下延伸穿过间隔设置的所述传送带的空隙处；/n滑座，所述滑座安装在所述基座上，所述滑座上具有：/n滑槽，所述触发板滑动连接所述滑槽；/n矫正机构，所述矫正机构设置在所述滑座两侧，所述矫正机构...
【技术特征摘要】
1.一种硅片刻蚀设备上的矫正机构，其中，包括：
基座；
支撑座，所述支撑座安装在所述基座上的左右两侧；
传送辊，所述传送辊可旋转安装在所述支撑座上；
驱动装置，所述驱动装置安装在所述支撑座上，所述驱动装置动力连接所述传送辊；
传送带，所述传送带至少为两条，所述传送带沿前后方向间隔设置在传送辊上；
载片台，所述载片台设置在两条所述传送带上，所述载片台具有：
触发板，所述触发板向下延伸穿过间隔设置的所述传送带的空隙处；
滑座，所述滑座安装在所述基座上，所述滑座上具有：
滑槽，所述触发板滑动连接所述滑槽；
矫正机构，所述矫正机构设置在所述滑座两侧，所述矫正机构为下凹结构，该下凹结构的边缘为弧形，所述矫正机构包括：
连接齿，所述连接齿分布在所述矫正机构的所述弧形位置上；
固定座，所述固定座固定连接在所述矫正机构上；
转柱，所述转柱可旋转连接在所述固定座上，所述转柱上具有：
传动齿，所述传动齿分布在所述转柱上；
被动部，所述被动部固定连接所述转柱，所述被动部位于滑槽上；
第一齿轮，所述第一齿轮的直径小于所述转柱的直径，所述第一齿轮可旋转连接在所述固定座上；
转动部，所述转动部的一端连接所述第一齿轮；
支撑杆，所述支撑杆可旋转连接所述转动部的另一端，所述支撑杆穿过所述转动部；
第二齿轮，所述第二齿轮连接所述支撑杆的下端，所述第二齿轮啮合所述连接齿；
导向轮，所述导向轮连接所述支撑杆的上端，所述导向轮位于所述载片台两侧。
2.根据权利要求1所述硅片刻蚀设备上的矫正机构，其中，所述驱动装置通过履带连接所述传送辊，通过所述履带带动传送辊旋转。
3.根据权利要求1所述硅片刻蚀设备上的矫正机构，其中，所述触发板为长方体。
4.根据权利要求1所述硅片刻蚀设备上的矫正机构，其中，所述矫正机构还具有：
第三齿轮，所述第三齿轮可旋转安装在所述矫正机构中，所述第三齿轮与所述第一齿轮同轴，所述第三齿轮啮合所述第二...
【专利技术属性】
技术研发人员：伍志军，
申请(专利权)人：苏州赛森电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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