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本发明涉及传送系统、传送方法、器件制造装置及器件制造方法。传送系统具有：传送机器人，其在机器人手部上载置处理体进行传送；控制部，其控制传送机器人的传送动作；及检测机构，其设置在处理体的传送路径上，检测处理体在机器人手部上有无位置偏离，传送动...
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