一种半导体制造用的机械手臂制造技术

本实用新型专利技术公开了一种半导体制造用的机械手臂，其结构包括半导体制造机械手、转轴、可移动升降装置、固定底座、机械臂，所述半导体制造机械手下端与转轴上端相连接，本实用新型专利技术一种半导体制造用的机械手臂，本实用新型专利技术一种半导体制造用的机械手臂，结构上使用气缸作为动力，利用缓冲针阀输入压缩空气时到无杆腔，这时有杆腔排气，气缸的两腔会产生压力差，将会作用在活塞上形成的力推动活塞运动，使得活塞杆伸出，使得剪叉架根据转轴相连两侧向内内侧靠近逐渐立起以此来提升高度，推起支撑板从而将设备高度抬高，从而能根据不同的工作环境来调整设备的高度进行匹配工作，调整便捷，省时省力。

A kind of mechanical arm for semiconductor manufacturing

【技术实现步骤摘要】
一种半导体制造用的机械手臂
本技术是一种半导体制造用的机械手臂，属于机械手臂

技术介绍
机械手臂是机械人
中得到最广泛实际应用的自动化机械装置，在工业制造、医学治疗、娱乐服务、军事、半导体制造以及太空探索等领域都能见到它的身影，尽管它们的形态各有不同，但它们都有一个共同的特点，就是能够接受指令，精确地定位到三维或二维间上的某一点进行作业。现有技术公开了申请号为：CN201721411663，8的一种半导体制造用的机械手臂，包括机械手臂主支撑杆，机械手臂主连接杆和机械手臂连接凹槽，所述机械手臂主支撑杆的底端设置有机械手臂连接块，所述机械手臂连接旋转轴的端部设置有机械手臂主连接杆，所述机械手臂主连接杆的端部设置有机械手臂操作杆，所述机械手臂主支撑杆的表面设置有机械手臂主连接杆放置凹槽，但是该现有技术对于半导体制造用的机械手臂应对不同高度，与不同位置的工作环境下需要调整设备的高度，移动位置来匹配相应的工作，较于费时费力。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术目的是提供一种半导体制造用的机械手臂，以解决现有技术对于半导体制造用的机械手臂应对不同高度，与不同位置的工作环境下需要调整设备的高度，移动位置来匹配相应的工作，较于费时费力的问题。为了实现上述目的，本技术是通过如下的技术方案来实现：一种半导体制造用的机械手臂，其结构包括半导体制造机械手、转轴、可移动升降装置、固定底座、机械臂，所述半导体制造机械手下端与转轴上端相连接，所述可移动升降装置上端与固定底座下端相焊接，所述机械臂外侧与固定底座内侧相连接。进一步地，所述可移动升降装置由支撑板、气缸装置、轴杆、转轮、轴架、卡块、滑动槽、安装块、滚轮、底座、中心转轴、剪叉架组成，所述支撑板下端与剪叉架上端相连接，所述气缸装置外侧与底座内侧相连接，所述轴杆上端与底座下端相焊接，所述转轮轴心与轴架下端相连接，所述轴架上端与轴杆下端相连接，所述卡块左端嵌入安装于轴架内，所述滑动槽与底座为一体化结构，所述安装块下端与滚轮轴心相连接，所述滚轮嵌入安装于滑动槽内，所述中心转轴轴心与剪叉架外侧相连接，所述剪叉架下端与安装块上端相连接，所述气缸装置由活塞杆、缸筒、活塞、缓冲密封垫、罩壳、缓冲针阀、磁石、含油滑动轴套组成，所述活塞杆与缸筒处于同一轴线，所述缸筒与罩壳为一体化结构，所述活塞与活塞杆处于同一轴线，所述缓冲密封垫内侧与活塞杆外侧相贴合，所述罩壳下端贯穿有缓冲针阀，所述磁石嵌入安装于活塞内，所述含油滑动轴套上贯穿有活塞杆。进一步地，所述转轴下端嵌入安装于机械臂内。进一步地，所述固定底座下端与支撑板上端相焊接。进一步地，所述支撑板由不锈钢制成，具有较好的耐腐蚀性。进一步地，所述活塞杆由钢制成，具有较好的硬度。有益效果本技术一种半导体制造用的机械手臂，结构上机器人进行工作，在应对不同工作环境时，需要调整移动机器人设备高度位置以至于更好地进行工作，这时根据可移动升降装置下端的转轮进行移动，利用卡块进行位置固定，使用气缸作为动力，利用缓冲针阀输入压缩空气时到无杆腔，这时有杆腔排气，气缸的两腔会产生压力差，将会作用在活塞上形成的力推动活塞运动，使得活塞杆伸出，推动安装块利用下端滚轮在滑动槽中进行滚动，使得两侧安装块向中心推进，带动安装块上方剪叉架，使得剪叉架根据转轴相连两侧向内内侧靠近逐渐立起以此来提升高度，推起支撑板从而将设备高度抬高，反之当有杆腔进气，无杆腔排气时，压力差作用使活塞使杆缩回，剪叉架打开降低设备高度，从而能根据不同的工作环境来调整设备的高度进行匹配工作，调整便捷，省时省力。附图说明通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：图1为本技术一种半导体制造用的机械手臂的结构示意图；图2为本技术一种可移动升降装置的结构示意图；图3为本技术一种气缸装置的结构示意图。图中：半导体制造机械手-1、转轴-2、可移动升降装置-3、固定底座-4、机械臂-5、支撑板-A、气缸装置-B、轴杆-C、转轮-D、轴架-E、卡块-F、滑动槽-G、安装块-H、滚轮-I、底座-Z、中心转轴-K、剪叉架-L、活塞杆-M、缸筒-N、活塞-O、缓冲密封垫-P、罩壳-Q、缓冲针阀-R、磁石-S、含油滑动轴套-T。具体实施方式为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。请参阅图1、图2、图3，本技术提供一种半导体制造用的机械手臂技术方案：其结构包括半导体制造机械手1、转轴2、可移动升降装置3、固定底座4、机械臂5，所述半导体制造机械手1下端与转轴2上端相连接，所述可移动升降装置3上端与固定底座4下端相焊接，所述机械臂5外侧与固定底座4内侧相连接，所述可移动升降装置3由支撑板A、气缸装置B、轴杆C、转轮D、轴架E、卡块F、滑动槽G、安装块H、滚轮I、底座Z、中心转轴K、剪叉架L组成，所述支撑板A下端与剪叉架L上端相连接，所述气缸装置B外侧与底座Z内侧相连接，所述轴杆C上端与底座Z下端相焊接，所述转轮D轴心与轴架E下端相连接，所述轴架E上端与轴杆C下端相连接，所述卡块F左端嵌入安装于轴架E内，所述滑动槽G与底座Z为一体化结构，所述安装块H下端与滚轮I轴心相连接，所述滚轮I嵌入安装于滑动槽G内，所述中心转轴K轴心与剪叉架L外侧相连接，所述剪叉架L下端与安装块H上端相连接，所述气缸装置B由活塞杆M、缸筒N、活塞O、缓冲密封垫P、罩壳Q、缓冲针阀R、磁石S、含油滑动轴套T组成，所述活塞杆M与缸筒N处于同一轴线，所述缸筒N与罩壳Q为一体化结构，所述活塞O与活塞杆M处于同一轴线，所述缓冲密封垫P内侧与活塞杆M外侧相贴合，所述罩壳Q下端贯穿有缓冲针阀R，所述磁石S嵌入安装于活塞O内，所述含油滑动轴套T上贯穿有活塞杆M，所述转轴2下端嵌入安装于机械臂5内，所述固定底座4下端与支撑板A上端相焊接，所述支撑板A由不锈钢制成，具有较好的耐腐蚀性，所述活塞杆M由钢制成，具有较好的硬度。本专利所说的，所述活塞杆M是支持活塞做功的连接部件，大部分应用在油缸、气缸运动执行部件中，是一个运动频繁、技术要求高的运动部件，所述机械臂5是指高精度，高速点胶机器手，机械臂是一个多输入多输出、高度非线性、强耦合的复杂系统，因其独特的操作灵活性,已在工业装配,安全防爆等领域得到广泛应用。在进行使用时机器人进行工作，在应对不同工作环境时，需要调整移动机器人设备高度位置以至于更好地进行工作，这时根据可移动升降装置3下端的转轮D进行移动，利用卡块F进行位置固定，使用气缸作为动力，利用缓冲针阀R输入压缩空气时到无杆腔，这时有杆腔排气，气缸的两腔会产生压力差，将会作用在活塞O上形成的力推动活塞O运动，使得活塞杆M伸出，推动安装块H利用下端滚轮I在滑动槽G中进行滚动，使得两侧安装块H向中心推进，带动安装块H上方剪叉架L，使得剪叉架L根据中本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体制造用的机械手臂，其特征在于：其结构包括半导体制造机械手(1)、转轴(2)、可移动升降装置(3)、固定底座(4)、机械臂(5)，所述半导体制造机械手(1)下端与转轴(2)上端相连接，所述可移动升降装置(3)上端与固定底座(4)下端相焊接，所述机械臂(5)外侧与固定底座(4)内侧相连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种半导体制造用的机械手臂，其特征在于：其结构包括半导体制造机械手(1)、转轴(2)、可移动升降装置(3)、固定底座(4)、机械臂(5)，所述半导体制造机械手(1)下端与转轴(2)上端相连接，所述可移动升降装置(3)上端与固定底座(4)下端相焊接，所述机械臂(5)外侧与固定底座(4)内侧相连接。


2.根据权利要求1所述的一种半导体制造用的机械手臂，其特征在于：所述可移动升降装置(3)由支撑板(A)、气缸装置(B)、轴杆(C)、转轮(D)、轴架(E)、卡块(F)、滑动槽(G)、安装块(H)、滚轮(I)、底座(Z)、中心转轴(K)、剪叉架(L)组成，所述支撑板(A)下端与剪叉架(L)上端相连接，所述气缸装置(B)外侧与底座(Z)内侧相连接，所述轴杆(C)上端与底座(Z)下端相焊接，所述转轮(D)轴心与轴架(E)下端相连接，所述轴架(E)上端与轴杆(C)下端相连接，所述卡块(F)左端嵌入安装于轴架(E)内，所述滑动槽(G)与底座(Z)为一体化结构，...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐玉龙，
申请(专利权)人：深圳精达宇科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44