微元件的转移装置以及转移方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及微元件处理技术领域，公开了一种微元件的转移装置以及微元件的转移方法。该转移装置包括：主体以及转移头；主体设有第一流体通道以及连接第一流体通道的流体入口、流体出口；转移头与主体连接，其内部设有吸附通道，吸附通道的第一端用于吸附微元件，其第二端与第一流体通道连通；其中，第一流体通道用于通过自流体入口至流体出口的内部流体，内部流体的流速大于转移头内吸附通道处的流体流速，从而在转移头内外形成压差以吸附微元件。通过上述方式，本发明专利技术能够提高微元件的转移效率。

Transfer device and transfer method of micro element

【技术实现步骤摘要】
微元件的转移装置以及转移方法
本专利技术涉及微元件处理
，特别是涉及一种微元件的转移装置以及微元件的转移方法。
技术介绍
发光二极管(LightEmittingDiode，LED)是一种光电半导体元件，其具有低功耗、尺寸小亮度高、易与集成电路匹配、可靠性高等优点，作为光源被广泛应用。并且，随着LED技术的成熟，直接利用LED作为自发光显示点像素的LED显示器或MicroLED(微型发光二极管)显示器的技术也逐渐被广泛应用。其中，MicroLED显示屏综合了TFT-LCD和LED显示屏的技术特点，其显示原理是将LED结构设计进行薄膜化、微小化、阵列化，之后将MicroLED从最初的生长衬底上转移到电路基板上，目前MicroLED技术发展的难点之一就在于MicroLED的转移过程。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术主要解决的技术问题是提供一种微元件的转移装置以及微元件的转移方法，能够提高微元件的转移效率。为解决上述技术问题，本专利技术采用的一个技术方案是：提供一种微元件的转移装置，该转移装置包括：主体以及本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微元件的转移装置，其特征在于，所述转移装置包括：/n主体以及转移头；/n所述主体设有第一流体通道以及连接所述第一流体通道的流体入口、流体出口；/n所述转移头与所述主体连接，其内部设有吸附通道，所述吸附通道的第一端用于吸附所述微元件，其第二端与所述第一流体通道连通；/n其中，所述第一流体通道用于通过自所述流体入口至所述流体出口的内部流体，所述内部流体的流速大于所述转移头内吸附通道处的流体流速，从而在所述转移头内外形成压差以吸附所述微元件。/n

【技术特征摘要】
1.一种微元件的转移装置，其特征在于，所述转移装置包括：
主体以及转移头；
所述主体设有第一流体通道以及连接所述第一流体通道的流体入口、流体出口；
所述转移头与所述主体连接，其内部设有吸附通道，所述吸附通道的第一端用于吸附所述微元件，其第二端与所述第一流体通道连通；
其中，所述第一流体通道用于通过自所述流体入口至所述流体出口的内部流体，所述内部流体的流速大于所述转移头内吸附通道处的流体流速，从而在所述转移头内外形成压差以吸附所述微元件。


2.根据权利要求1所述的转移装置，其特征在于，所述第一流体通道划分有多个所述第一通道区域以及多个所述第二通道区域，所述第一通道区域与所述第二通道区域交替设置，各所述第一通道区域的所述第一流体通道部分连通一所述转移头的吸附通道。


3.根据权利要求2所述的转移装置，其特征在于，所述第一通道区域的通道竖截面面积小于所述第二通道区域的通道竖截面面积。


4.根据权利要求3所述的转移装置，其特征在于，所述第一通道区域的通道竖截面面积在越邻近连通所述吸附通道位置处越小。


5.根据权利要求1所述的转移装置，其特征在于，所述吸附通道的第一端的端口面积大于所述第二端的端口面积。


6.根据权利要求5所述的转移装置，其特征在于，所述吸附通道的通道横截面面积自所述吸附通道的...

【专利技术属性】
技术研发人员：颜明哲，郭双，
申请(专利权)人：昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司，昆山国显光电有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32