微元件的转移装置制造方法及图纸

本申请提供了一种微元件的转移装置，包括真空腔体，真空腔体内形成有真空空间，真空腔体上形成有连通真空空间和外界的多个真空吸孔；真空吸孔用于吸取微元件；多个可动质量块，设置于真空腔体内，每一可动质量块对应一真空吸孔设置；多个电极组件，固定于真空腔体内，每一电极组对应一真空吸孔设置；其中，在电极组件未通电时，可动质量块悬置于真空吸孔上方，且打开真空吸孔；在电极组件通电时，可动质量块被电极组件吸引或排斥而移动，以封堵真空吸孔。本申请微元件转移装置可控制每个真空吸孔的打开关闭，以实现对微元件的转移。

Transfer device of micro element

【技术实现步骤摘要】
微元件的转移装置
本申请涉及微元件的转移
，特别是涉及一种微元件的转移装置。
技术介绍
人们日常生活所使用的设备中，元件微小化成为发展趋势之一，例如在显示设备中应用微型发光二极管(Micro-LED)，即表示在显示面板上集成多个微小尺寸的微型发光二极管(LED，LiquidEmittingDiode)，微型发光二极管具有极高的发光效率和寿命，因此，越来越多的企业开始研发微型发光二极管显示面板，微型发光二极管有希望成为下一代显示技术。现有技术中，由于制备工艺的限制，其无法很好地实现微型元件的转移。
技术实现思路
本申请提供一种微元件的转移装置及转移系统，以解决现有技术中无法实现微元件的转移问题。为解决上述技术问题，本申请提供一种微元件的转移装置，包括：真空腔体，真空腔体内形成有真空空间，真空腔体上形成有连通真空空间和外界的多个真空吸孔；真空吸孔用于吸取微元件；多个可动质量块，设置于真空腔体内，每一可动质量块对应一真空吸孔设置；多个电极组件，固定于真空腔体内，每一电极组对应一真空吸孔设置；其中，在电极组件未通电时，可动质量块悬置于真空吸孔上方，且打开真空吸孔；在电极组件通电时，可动质量块被电极组件吸引或排斥而移动，以封堵真空吸孔。本申请微元件的转移装置设置悬置于真空吸孔上方的可动质量块，通过电极组件来控制可动质量块的移动，以封堵或打开真空吸孔，打开的即可吸附微元件，继而实现对微元件的转移。进一步地，通过选择性的控制部分电极组件通电，使得部分可动质量块移动以封堵真空吸孔，其他未封堵的真空吸孔可对微元件选择性的吸取转移，因而本申请可实现对微元件的选择性吸取转移。附图说明为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本申请微元件的转移装置一实施例的结构示意图；图2是本申请微元件的转移装置另一实施例的结构示意图；图3是本申请微元件的转移装置又一实施例的结构示意图；图4是图3所示转移装置实施例选择性吸取微元件的示意图；图5是图3所示转移装置实施例中可动质量块的一种设置方式的结构示意图；图6是图3所示转移装置实施例中可动质量块的另一种设置方式的结构示意图；图7是图3所示转移装置实施例中可动质量块的又一种设置方式的结构示意图；图8是图3所示转移装置实施例中可动质量块的又一种设置方式的结构示意图；图9是图3所示转移装置实施例制造工艺的流程示意图；图10是图9所示流程的制造过程示意图。具体实施方式下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。本申请的转移装置用于实现微元件的转移，以微型发光二极管显示面板为例，本申请转移装置能够实现微型发光二极管的转移，进一步能够实现批量的微型发光二极管的选择性转移。其他与微型发光二极管有相同微小特征的微元件均可采用本申请的转移装置实现转移。微型发光二极管即本申请所述的微元件在显示面板中用于实现像素的自发光，一个微元件用作一个像素点，在当前显示面板中，像素点个数一般成千上万，因而对应在显示面板上所设置的微元件也有成千上万个。本申请提出的转移装置中设置悬置于真空吸孔上方的可动质量块，通过电极组件来控制每个可动质量块的移动，从而封堵或打开真空吸孔，实现对微元件的吸取转移；进一步的，本申请转移装置中可选择性的控制部分电极组件通电，从而使部分可动质量块移动以封堵部分真空吸孔，其他未封堵的真空吸孔则可对其对应的微元件进行吸取转移，继而实现多个微元件的选择性吸取转移。具体来说，请参阅图1，图1是本申请微元件的转移装置一实施例的结构示意图。本实施例转移装置100包括真空腔体11、多个可动质量块12和多个电极组件13。其中，真空腔体11内形成有真空空间111，即真空腔体11连接有真空泵，以使得真空腔体11内部形成真空空间111。真空腔体11上则形成有联通真空空间和外界的多个真空吸孔112，当真空泵抽取真空腔体11使真空腔体11形成真空空间时，可通过该真空吸孔112吸取微元件。多个可动质量块12设置于真空腔体11内，即连接于真空腔体11内，位于真空空间111中，每一可动质量块12对应一真空吸孔112设置，即一个可动质量块12用于控制一个真空吸孔112的打开关闭。多个电极组件13也固定于真空腔体11内，每一电极组件13对应一真空吸孔112设置，也即一个电极组件13对应控制一个真空吸孔112的打开关闭。实现真空吸孔112打开关闭的控制是通过对电极组件13进行通放电控制实现的，在电极组件13未通电时，可动质量块12悬置在真空吸孔112上方，可动质量块12为悬空设置，并未堵塞真空吸孔112，此时真空吸孔112连通真空腔体11，即真空吸孔112处于打开状态，可吸取微元件。在电极组件13通电时，可动质量块12则被电极组件13吸引或排斥而发生移动，以封堵真空吸孔112；电极组件13可以是片状导电材料，可动质量块12也可对应为片状导电材料，当电极组件13通电时，电极组件13产生静电，对可动质量块12产生静电吸附作用力。电极组件13还可是导电线圈，可动质量块12可对应为片状磁铁，当电极组件13通电时，电极组件13形成磁场，可对可动质量块12产生吸附或排斥作用力。本申请转移装置100还连接有或内部设置有控制电路，以实现对电极组件13的通电控制。在实现对微元件的转移时，可通过控制每个电极组件的通放电，以控制每个可动质量块12对真空吸孔112的打开封堵，从而实现对微元件的选择性吸取转移。具体来说，在图1所示实施例中，真空腔体11采用方形箱体的结构，包括相对设置的上壁113和下壁114，多个真空吸孔112均设置在下壁114上，且当转移装置100应用于Micro-LED的转移时，多个真空吸孔112也对应Micro-LED的排列方式呈阵列排布。电极组件13包括闭合电极131，图1中闭合电极131设置在下壁114内表面，且真空吸孔112贯穿闭合电极131，当控制闭合电极131通电时，可动质量块12被吸附至闭合电极131上，即由悬置在真空吸孔112上，移动到封堵真空吸孔112。当控制闭合电极131接地放电时，闭合电极131对可动质量块12没有吸附作用力，此时可动质量块12可恢复到悬置于真空吸孔112上的状态即打开真空吸孔112。该实施例利用一个闭合电极、该闭合电极的静电吸附作用、以及可动质量块12的悬置状态来控制真空吸孔112的打开关闭，继而实现微元件选择性的吸取转移。除了可利用闭合电极131的吸引力，还可利用电本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微元件的转移装置，其特征在于，所述转移装置包括：/n真空腔体，所述真空腔体内形成有真空空间，所述真空腔体上形成有连通所述真空空间和外界的多个真空吸孔；所述真空吸孔用于吸取所述微元件；/n多个可动质量块，设置于所述真空腔体内，每一所述可动质量块对应一所述真空吸孔设置；/n多个电极组件，固定于所述真空腔体内，每一所述电极组对应一所述真空吸孔设置；/n其中，在所述电极组件未通电时，所述可动质量块悬置于所述真空吸孔上方，且打开所述真空吸孔；在所述电极组件通电时，所述可动质量块被所述电极组件吸引或排斥而移动，以封堵所述真空吸孔。/n

【技术特征摘要】
1.一种微元件的转移装置，其特征在于，所述转移装置包括：
真空腔体，所述真空腔体内形成有真空空间，所述真空腔体上形成有连通所述真空空间和外界的多个真空吸孔；所述真空吸孔用于吸取所述微元件；
多个可动质量块，设置于所述真空腔体内，每一所述可动质量块对应一所述真空吸孔设置；
多个电极组件，固定于所述真空腔体内，每一所述电极组对应一所述真空吸孔设置；
其中，在所述电极组件未通电时，所述可动质量块悬置于所述真空吸孔上方，且打开所述真空吸孔；在所述电极组件通电时，所述可动质量块被所述电极组件吸引或排斥而移动，以封堵所述真空吸孔。


2.根据权利要求1所述的转移装置，其特征在于，所述真空腔体包括相对设置的上壁和下壁，所述多个真空吸孔均形成在所述下壁上。


3.根据权利要求2所述的转移装置，其特征在于，所述电极组件包括闭合电极，设置在所述下壁内表面，所述真空吸孔贯穿所述闭合电极，在所述闭合电极通电时，所述可动质量块吸附于所述闭合电极上，封堵所述真空吸孔；
或者，设置在所述上壁内表面，对应所述真空吸孔设置，在所述闭合电极通电时，所述可动质量块在所述闭合电极的排斥下封堵于所述真空吸孔。


4.根据权利要求3所述的转移装置，其特征在于，所述电极组件进一步包括：通路电极，与所述闭合电极相对设置，设置在所述上...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈博，邢汝博，郭恩卿，韦冬，李晓伟，陈波，
申请(专利权)人：昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司，昆山国显光电有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32