微元件的转移装置制造方法及图纸

本申请提供了一种微元件的转移装置，包括真空腔体，真空腔体内形成有真空空间，真空腔体上形成有连通真空空间和外界的多个真空吸孔；真空吸孔用于吸取微元件；多个可动质量块，设置于真空腔体内，每一可动质量块对应一真空吸孔设置；多个电极组件，固定于真空腔体内，每一电极组对应一真空吸孔设置；其中，在电极组件未通电时，可动质量块悬置于真空吸孔上方，且打开真空吸孔；在电极组件通电时，可动质量块被电极组件吸引或排斥而移动，以封堵真空吸孔。本申请微元件转移装置可控制每个真空吸孔的打开关闭，以实现对微元件的转移。

Transfer device of micro element

【技术实现步骤摘要】
微元件的转移装置
本申请涉及微元件的转移
，特别是涉及一种微元件的转移装置。
技术介绍
人们日常生活所使用的设备中，元件微小化成为发展趋势之一，例如在显示设备中应用微型发光二极管(Micro-LED)，即表示在显示面板上集成多个微小尺寸的微型发光二极管(LED，LiquidEmittingDiode)，微型发光二极管具有极高的发光效率和寿命，因此，越来越多的企业开始研发微型发光二极管显示面板，微型发光二极管有希望成为下一代显示技术。现有技术中，由于制备工艺的限制，其无法很好地实现微型元件的转移。
技术实现思路
本申请提供一种微元件的转移装置及转移系统，以解决现有技术中无法实现微元件的转移问题。为解决上述技术问题，本申请提供一种微元件的转移装置，包括：真空腔体，真空腔体内形成有真空空间，真空腔体上形成有连通真空空间和外界的多个真空吸孔；真空吸孔用于吸取微元件；多个可动质量块，设置于真空腔体内，每一可动质量块对应一真空吸孔设置；多个电极组件，固定于真空腔体内，每一电极组对应一真空吸孔设置；其中，在电本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微元件的转移装置，其特征在于，所述转移装置包括：/n真空腔体，所述真空腔体内形成有真空空间，所述真空腔体上形成有连通所述真空空间和外界的多个真空吸孔；所述真空吸孔用于吸取所述微元件；/n多个可动质量块，设置于所述真空腔体内，每一所述可动质量块对应一所述真空吸孔设置；/n多个电极组件，固定于所述真空腔体内，每一所述电极组对应一所述真空吸孔设置；/n其中，在所述电极组件未通电时，所述可动质量块悬置于所述真空吸孔上方，且打开所述真空吸孔；在所述电极组件通电时，所述可动质量块被所述电极组件吸引或排斥而移动，以封堵所述真空吸孔。/n

【技术特征摘要】
1.一种微元件的转移装置，其特征在于，所述转移装置包括：
真空腔体，所述真空腔体内形成有真空空间，所述真空腔体上形成有连通所述真空空间和外界的多个真空吸孔；所述真空吸孔用于吸取所述微元件；
多个可动质量块，设置于所述真空腔体内，每一所述可动质量块对应一所述真空吸孔设置；
多个电极组件，固定于所述真空腔体内，每一所述电极组对应一所述真空吸孔设置；
其中，在所述电极组件未通电时，所述可动质量块悬置于所述真空吸孔上方，且打开所述真空吸孔；在所述电极组件通电时，所述可动质量块被所述电极组件吸引或排斥而移动，以封堵所述真空吸孔。


2.根据权利要求1所述的转移装置，其特征在于，所述真空腔体包括相对设置的上壁和下壁，所述多个真空吸孔均形成在所述下壁上。


3.根据权利要求2所述的转移装置，其特征在于，所述电极组件包括闭合电极，设置在所述下壁内表面，所述真空吸孔贯穿所述闭合电极，在所述闭合电极通电时，所述可动质量块吸附于所述闭合电极上，封堵所述真空吸孔；
或者，设置在所述上壁内表面，对应所述真空吸孔设置，在所述闭合电极通电时，所述可动质量块在所述闭合电极的排斥下封堵于所述真空吸孔。


4.根据权利要求3所述的转移装置，其特征在于，所述电极组件进一步包括：通路电极，与所述闭合电极相对设置，设置在所述上...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈博，邢汝博，郭恩卿，韦冬，李晓伟，陈波，
申请(专利权)人：昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司，昆山国显光电有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32