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本申请提供了一种微元件的转移装置，包括真空腔体，真空腔体内形成有真空空间，真空腔体上形成有连通真空空间和外界的多个真空吸孔；真空吸孔用于吸取微元件；多个可动质量块，设置于真空腔体内，每一可动质量块对应一真空吸孔设置；多个电极组件，固定于真空...该专利属于昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司;昆山国显光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司;昆山国显光电有限公司授权不得商用。