本实用新型专利技术涉及一种用于晶圆载具充气的盘面，包括一带有若干安装孔的盘面，盘面上设有若干固定在盘面上的固定充气口和位置可调节的活动充气口，固定充气口和活动充气口均分别与充气设备连通；提供了一种可通用的用于晶圆载具充气的盘面。
A kind of disk used for charging wafer carrier
【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆载具充气的盘面
本技术涉及一种晶圆充气设备，尤其涉及一种用于晶圆载具充气的盘面。
技术介绍
半导体行业随着工艺制程的提高，对传送晶圆片的载具需要更严格的控制载具内部的湿度和含氧量，以最大可能性的降低晶圆片和氧气和湿度的接触以免产生氧化反应。对载具进行充氮气是目前最重要的工艺，对载具进行充氮气的设备逐渐成为晶圆行业的必备设备。晶圆载具的充气盘面是在芯片制造的传送过程中对芯片进行净化，控制芯片在传送载具所处环境中的湿度和含氧量，以避免晶圆的氧化，以实现芯片更高工艺要求。由于晶圆厂所使用的晶圆传送载具有多种型号，很多晶圆厂有不同型号的载具，每种型号的载具充气口位置都不同，导致一种充气设备只能对一种型号的载具进行充氮气，而有两种型号载具的晶圆厂需要购制对应的两种型号的充氮气设备，需要更多的资金和放置场地。有鉴于上述的缺陷，本设计人，积极加以研究创新，以期创设一种使充气设备可以共用不同的载具，可大大降低晶圆厂的成本，并可大大减少对晶圆厂昂贵的无尘空间的占用的用于晶圆载具充气的盘面，使其更具有产业上的利用价值。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本技术的目的是提供一种可通用的用于晶圆载具充气的盘面。本技术的用于晶圆载具充气的盘面，包括一带有若干安装孔的盘面，所述盘面上设有若干固定在所述盘面上的固定充气口和位置可调节的活动充气口，所述固定充气口和活动充气口均分别与充气设备连通。进一步的，所述固定充气口包括固定在所述盘面上的空心底盘以及一贯穿所述空心底盘和盘面的管道，所述管道一端从空心底盘和盘面穿出，所述管道的另一端连接到所述充气设备。进一步的，所述活动充气口包括活动固定在所述盘面上的活动底盘以及一贯穿所述活动底盘和盘面的管道，所述管道一端从活动底盘和盘面穿出，所述管道的另一端连接到所述充气设备。更进一步的，所述活动底盘通过调节螺栓固定在所述盘面上。进一步的，所述盘面的四个角上分别设有两个固定在所述盘面上的固定充气口和两个位置可调节的活动充气口，所述盘面的底面上的所述安装孔处还设有由两个所述固定充气口和两个所述活动充气口围绕的第一传感器。更进一步的，所述第一传感器为存在传感器。进一步的，每一个所述固定充气口或者活动充气口旁边的所述盘面上均设有第二传感器。更进一步的，所述第二传感器是位置传感器。进一步的，所述盘面上还设有RFID天线。借由上述方案，本技术至少具有以下优点：晶圆厂所使用的晶圆传送载具有多种型号，很多晶圆厂有不同型号的载具，每种型号的载具充气口位置都不同，导致一种充气设备只能对一种型号的载具进行充氮气，而有两种型号载具的晶圆厂需要购制对应的两种型号的充氮气设备，需要更多的资金和放置场地，本技术提供的一种用于晶圆载具充气的盘面使充气设备可以共用不同的载具，可大大降低晶圆厂的成本，并可大大减少对晶圆厂昂贵的无尘空间的占用。上述说明仅是本技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本技术的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本技术的较佳实施例并配合附图详细说明如后。附图说明图1是用于晶圆载具充气的盘面的俯视图；图2是用于晶圆载具充气的盘面的仰视图。图中各附图标记的含义如下。1盘面2安装孔3空心底盘4管道5活动底盘6活动孔位7调节螺栓8第一传感器9第二传感器10RFID天线具体实施方式下面结合附图和实施例，对本技术的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本技术，但不用来限制本技术的范围。图1和图2所示的一种用于晶圆载具充气的盘面，包括一带有若干安装孔2的盘面1，盘面1上设有若干固定在盘面1上的固定充气口和位置可调节的活动充气口，固定充气口和活动充气口均分别与充气设备连通。本技术提供的用于晶圆载具充气的盘面的原理如下：1、对位置可调节的活动充气口进行在盘面1上位置的调节，到盘面1上的合适位置；2、将固定充气口和活动充气口相互配合，实现不同型号的带有晶圆的载具的同时充气；3、充气完毕。在本实施例中，为了连通充气设备，对位于盘面1上的固定充气口处的带有晶圆的载具进行充气，固定充气口包括固定在盘面1上的空心底盘3以及一贯穿空心底盘3和盘面1的管道4，管道4一端从空心底盘3和盘面1穿出，管道4的另一端连接到充气设备。在本实施例中，为了连通充气设备，对位于盘面1上的活动充气口处的带有晶圆的载具进行充气，活动充气口包括活动固定在盘面1上的活动底盘5以及一贯穿活动底盘5和盘面1的管道4，管道4一端从活动底盘5和盘面1穿出，管道4的另一端连接到充气设备。在本实施例中，为了方便调节和固定盘面1上活动充气口的位置，盘面1上开设有一定宽度的用于容纳活动底盘5的活动孔位6，活动底盘5通过调节螺栓7固定在盘面1上。在本实施例中，为了分散固定充气口和活动充气口，最大限度的扩大用于晶圆载具充气的盘面的适用范围，盘面1的四个角上分别设有两个固定在盘面1上的固定充气口和两个位置可调节的活动充气口，盘面1的底面上的安装孔2处还设有由两个固定充气口和两个活动充气口围绕的第一传感器8，第一传感器8为存在传感器；这样，无论是活动充气口还是固定充气口在对带有晶圆的载具进行充气，第一传感器8都能检测到该载具，并发出信号，方便固定充气口和活动充气口进行及时充气。在本实施例中，为了感应到在每一个固定充气口或者每一个活动充气口处进行充气的带有晶圆的载具，每一个固定充气口或者活动充气口旁边的盘面1上均设有第二传感器9，第二传感器9是位置传感器。在本实施例中，为了方便进行通讯，盘面1上还设有RFID天线10。以上所述仅是本技术的优选实施方式，并不用于限制本技术，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本技术技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本技术的保护范围。本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种用于晶圆载具充气的盘面，其特征在于：包括一带有若干安装孔的盘面，所述盘面上设有若干固定在所述盘面上的固定充气口和位置可调节的活动充气口，所述固定充气口和活动充气口均分别与充气设备连通。/n
【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆载具充气的盘面，其特征在于：包括一带有若干安装孔的盘面，所述盘面上设有若干固定在所述盘面上的固定充气口和位置可调节的活动充气口，所述固定充气口和活动充气口均分别与充气设备连通。
2.根据权利要求1所述的用于晶圆载具充气的盘面，其特征在于：所述固定充气口包括固定在所述盘面上的空心底盘以及一贯穿所述空心底盘和盘面的管道，所述管道一端从空心底盘和盘面穿出，所述管道的另一端连接到所述充气设备。
3.根据权利要求1所述的用于晶圆载具充气的盘面，其特征在于：所述活动充气口包括活动固定在所述盘面上的活动底盘以及一贯穿所述活动底盘和盘面的管道，所述管道一端从活动底盘和盘面穿出，所述管道的另一端连接到所述充气设备。
4.根据权利要求3所述的用于晶圆载具充气的盘面，其特征在于：所述活动底盘通过调节螺栓...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨安广，廖鸿文，
申请(专利权)人：昆山芯物联电子通讯有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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