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本实用新型涉及一种用于晶圆载具充气的盘面，包括一带有若干安装孔的盘面，盘面上设有若干固定在盘面上的固定充气口和位置可调节的活动充气口，固定充气口和活动充气口均分别与充气设备连通；提供了一种可通用的用于晶圆载具充气的盘面。...
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