一种PFA清洗花篮制造技术

本实用新型专利技术属于半导体晶片清洗装置技术领域，具体为一种PFA清洗花篮，包括第一侧板、第二侧板、以及设置在第一侧板和第二侧板之间的第一槽齿板和第二槽齿板，第一槽齿板包括第一竖直部、倾斜部和第二竖直部，第一竖直部和倾斜部上设有若干等间距的容置槽，第一竖直部和倾斜部的连接处设有横筋，第一竖直部外侧面的中间部位设有八字形连接骨，八字形连接骨位于容置槽内，相邻两个八字形连接骨交错设置，形成上下两排八字形连接骨。本实用新型专利技术解决了现有花篮强度低，易破碎的问题，而且通过在结构上进行改进，使得液体在清洗空间内的流动性更好，通风性更好，达到较好的清洗半导体的目的。

PFA cleaning basket

【技术实现步骤摘要】
一种PFA清洗花篮
本技术属于半导体晶片清洗装置
，具体为一种PFA清洗花篮。
技术介绍
随着半导体技术的发展，产品性能的不断提高和改善，对半导体的表面质量要求越来越严格，迫使行业内的清洗装置也在逐步的改善。现有的半导体清洗花篮，将半导体晶片放置在清洗花篮中，通常为保证半导体晶片能充分接触清洗液，清洗花篮的槽齿与外界都是连通的，槽齿之间无加强筋等，强度较低，易破碎，而且现有清洗花篮的结构使得清洗空间的通风性不好，清洗液的流动也不好。
技术实现思路
为解决上述
技术介绍
中的问题，本技术提供有一种PFA清洗花篮，解决了现有花篮强度低，易破碎的问题，而且通过在结构上增加清洗花篮本体外部容置槽顶部离地面的距离，以及在第一侧板和第二侧板上设置特殊的凹位，使得液体在清洗空间内的流动性更好，通风性更好，达到较好的清洗半导体的目的。本技术采用以下技术方案：一种PFA清洗花篮，包括第一侧板、与第一侧板平行设置的第二侧板、以及设置在第一侧板和第二侧板之间的第一槽齿板和第二槽齿板，第一侧板、第二侧板、第一槽齿板、以及第二槽齿板共同围成清洗空间，清洗空间呈上宽下窄的形状，方便晶圆半导体的放入，其中，第一槽齿板包括第一竖直部、倾斜部和第二竖直部，第一竖直部和倾斜部上设有若干等间距的容置槽，第一竖直部和倾斜部的连接处设有横筋，第一竖直部外侧面的中间部位设有八字形连接骨，八字形连接骨位于容置槽齿内，相邻两个八字形连接骨交错设置，形成上下两排八字形连接骨。进一步的，第二槽齿板与第一槽齿板对称设置。进一步的，八字型连接骨的八字形角度为90°，八字形连接骨包括长端面和短端面，长端面设置在容置槽内，短端面与第一槽齿板的外侧面齐平。进一步的，第一竖直部外侧面的容置槽顶部离地面的距离为119.5mm。进一步的，第一侧板和第二侧板的上部均设有U形凹位，且两个U形凹位对称设置。进一步的，第一侧板的下部设有拱形凹位，第二侧板的下部设有倒U形凹位。进一步的，第一侧板下部的拱形凹位呈半椭圆形形状。进一步的，第一槽齿板和第二槽齿板的上端均设有挂耳。进一步的，第二竖直部的下端设有底部支撑脚。与现有技术相比，本技术的有益效果在于：1.本技术的第一竖直部与倾斜部的过渡处设有横筋，增强了清洗花篮的强度，而且在第一竖直部的外侧面设有八字形连接骨，八字形连接骨位于容置槽内，连接相邻的容置槽，且相邻八字形连接骨交错设置，形成上下两排八字形连接骨，一方面可增强清洗花篮竖直部的强度，在使用过程中不易损坏，另一方面交错设置的八字形连接骨，使清洗空间内的清洗液流通更顺畅，通风更顺畅。2.本技术的第一竖直部外侧面的容置槽的顶部离地面的距离为119.5mm，相比现有清洗花篮提高了容置槽顶部离地面的距离，进一步增加了清洗空间与外界的空气流通，清洗效果更好。3.本技术的第一侧板和第二侧板上部设有U形凹位，且两个U形凹位对称设置，使得本清洗花篮的通透性更好，另外在第一侧板下部的拱形凹位为椭圆形，使得拱形凹位的最高点距离U形凹位的最低点之间的距离相对变大，使得侧板的强度更高。附图说明为了更清楚的说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见的，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它附图。图1为本技术清洗花篮的整体结构图；图2为本技术清洗花篮的第一槽齿板侧视图；图3为本技术清洗花篮的第二侧板侧视图；其中，1-第一侧板，11-U形凹位，12-拱形凹位，2-第二侧板，21-倒U形凹位，3-第一槽齿板，31-第一竖直部，32-倾斜部，33-第二竖直部，34-容置槽，35-横筋，36-八字形连接骨，4-第二槽齿板，5-挂耳，6-底部支撑脚。具体实施方式下面将结合本技术中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通的技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术的保护范围。如图1至2所示，一种PFA清洗花篮，包括第一侧板1、与第一侧板1平行设置的第二侧板2、以及设置在第一侧板1和第二侧板2之间的第一槽齿板3和第二槽齿板4，第一侧板1、第二侧板2、第一槽齿板3、以及第二槽齿板4共同围成清洗空间，清洗空间呈上宽下窄的形状，方便圆晶半导体很方便的放入清洗空间，其中，第一槽齿板3包括第一竖直部31、倾斜部32和第二竖直部33，第一竖直部31和倾斜部32上设有若干等间距的容置槽34，第一竖直部31和倾斜部32的连接处设有横筋35，第一竖直部31外侧面的中间部位设有八字形连接骨36，八字形连接骨36位于容置槽34内，相邻两个八字形连接骨36交错设置，形成上下两排八字形连接骨。可以了解，本技术的PFA清洗花篮中所说的PFA是一种塑料，即少量全氟丙基全氟乙烯基醚与聚四氟乙烯的共聚物。本实施例的第一竖直部31与倾斜部32的过渡处设有横筋35，增强了清洗花篮的强度，而且在第一竖直部31的外侧面设有八字形连接骨36，八字形连接骨36位于容置槽34内，连接相邻的容置槽34，且相邻八字形连接骨交错设置，形成上下两排八字形连接骨，一方面可增强清洗花篮竖直部的强度，在使用过程中不易损坏，另一方面交错设置的八字形连接骨，使清洗空间内的清洗液流通更顺畅，通风更顺畅。优选的，容置槽34的内侧面设有倒圆角，设置倒圆角可避免刮伤需要清洗的圆晶半导体。具体的，第二槽齿板4与第一槽齿板3对称设置，即第二槽齿板4也包括包括第一竖直部31、倾斜部32和第二竖直部33，第一竖直部31和倾斜部32上设有若干等间距的竖向容置槽34，第一竖直部31和倾斜部32的连接处设有横筋35，第一竖直部31外侧面的中间部位设有八字形连接骨36，八字形连接骨36位于容置槽34内，相邻两个八字形连接骨36交错设置，形成上下两排八字形连接骨。优选的，八字型连接骨36的八字形角度为90°，八字形连接骨包括长端面和短端面，长端面设置在容置槽内，短端面与第一槽齿板的外侧面齐平，通常情况下，连接处的转角在90°的时候强度最好，角度过小强度减小，角度过大强度不好还浪费材料。当然在其他实施例中八字形连接骨的八字形角度也可为其他角度，比如锐角活钝角，都在本技术的保护范围之内。具体的，第一竖直部1外侧面的容置槽34顶部离地面的距离为119.5mm，相比现有清洗花篮提高了容置槽34顶部离地面的距离，进一步增加了清洗空间与外界的空气流通，清洗效果更好。具体的，第一侧板1和第二侧板2的上部均设有U形凹位11，且两个U形凹位11对称设置，第一侧板1的下部设有拱形凹位12，第二侧板2的下部设有倒U形凹位21。优选的，拱形凹位12本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种PFA清洗花篮，包括第一侧板、与所述第一侧板平行设置的第二侧板、以及设置在所述第一侧板和所述第二侧板之间的第一槽齿板和第二槽齿板，所述第一侧板、第二侧板、第一槽齿板、以及第二槽齿板共同围成清洗空间，其特征在于，所述第一槽齿板包括第一竖直部、倾斜部和第二竖直部，所述第一竖直部和所述倾斜部上设有若干等间距的容置槽，所述第一竖直部和所述倾斜部的连接处设有横筋，所述第一竖直部外侧面的中间部位设有八字形连接骨，所述八字形连接骨位于所述容置槽内，相邻两个所述八字形连接骨交错设置，形成上下两排八字形连接骨。/n

【技术特征摘要】
1.一种PFA清洗花篮，包括第一侧板、与所述第一侧板平行设置的第二侧板、以及设置在所述第一侧板和所述第二侧板之间的第一槽齿板和第二槽齿板，所述第一侧板、第二侧板、第一槽齿板、以及第二槽齿板共同围成清洗空间，其特征在于，所述第一槽齿板包括第一竖直部、倾斜部和第二竖直部，所述第一竖直部和所述倾斜部上设有若干等间距的容置槽，所述第一竖直部和所述倾斜部的连接处设有横筋，所述第一竖直部外侧面的中间部位设有八字形连接骨，所述八字形连接骨位于所述容置槽内，相邻两个所述八字形连接骨交错设置，形成上下两排八字形连接骨。


2.根据权利要求1所述的PFA清洗花篮，其特征在于，所述第二槽齿板与所述第一槽齿板对称设置。


3.根据权利要求1所述的PFA清洗花篮，其特征在于，所述八字形连接骨的八字形角度为90°，所述八字形连接骨包括长端面和短端面，所述长端面设置在所述容置槽内，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁黔云，
申请(专利权)人：深圳市迈捷微科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44