硅片承载花篮制造技术

本公开提供一种硅片承载花篮，涉及硅片承载结构技术领域。包括两个端板和连接于两个端板之间的插片杆件，插片杆件相对设置于硅片承载花篮的两侧，每侧的插片杆件均具有呈上下排布的第一组花篮齿和第二组花篮齿，第一组花篮齿和第二组花篮齿均包括多个自一个端板向另一端板方向依次间隔设置的花篮齿，相邻的两个花篮齿之间具有齿间隙，第二组花篮齿的花篮齿的位置与第一组花篮齿的齿间隙的位置相对应。本公开提供的硅片承载花篮能够更好地去除花篮齿与花篮齿之间集聚的水分，从而解决了硅片在烘干时，花篮齿与花篮齿之间的聚集的水不易干燥的问题，同时还能有效解决硅片在插片和清洗过程中相邻硅片之间粘连的问题。

Silicon loaded flower basket

【技术实现步骤摘要】
硅片承载花篮
本公开涉及一种硅片承载结构
，具体涉及硅片承载花篮。
技术介绍
目前的硅片承载花篮中，插片杆件部分含有间隔分布的花篮齿，放置在花篮中的多个硅片被花篮齿隔开。由于插片杆件上的花篮齿分布在同一条直线上，硅片边缘同一位置处正反两侧均与花篮齿相互作用，在该处与花篮齿之间聚集大量的水，花篮齿密度大使得该处聚集的水不易流动扩散，从而使得现有的承载花篮中的硅片存在烘干耗时长、或干燥后出现残留水印的问题，同时还存在相邻硅片在插片和清洗过程中容易粘连的问题。
技术实现思路
本公开的目的在于克服现有技术的不足，提供一种硅片承载花篮，该硅片承载花篮能够避免或减少花篮齿之间集聚的水，从而解决了硅片在烘干时，花篮齿与花篮齿之间的聚集的水不易干燥的问题、以及硅片水印不良的问题，同时还能有效解决硅片在插片和清洗过程的相邻硅片之间粘连的问题。本公开提供的一种硅片承载花篮，包括两个端板和连接于两个端板之间的插片杆件，所述插片杆件相对设置于所述硅片承载花篮的两侧，每侧的所述插片杆件均具有呈上下排布的第一组花篮齿和第二组花篮齿，所述第一组花篮齿和第二组花篮齿均包括多个自一个端板向另一端板方向依次间隔设置的花篮齿，相邻的两个花篮齿之间具有齿间隙，所述第二组花篮齿的花篮齿的位置与所述第一组花篮齿的齿间隙的位置相对应。本公开提供的一种硅片承载花篮，还包括如下附属技术方案：其中，所述第一组花篮齿和所述第二组花篮齿中，相邻的两个花篮齿之间的距离相同，相邻的两个花篮齿之间的距离也相同；所述第一组花篮齿的相邻的两个花篮齿之间的距离与所述第二组花篮齿的相邻的两个花篮齿之间的距离相同。其中，所述第二组花篮齿的花篮齿设置于所述第一组花篮齿的齿间隙中心线所在的位置。其中，所述插片杆件包括多根插片杆，所述花篮齿自一侧的插片杆向另一侧的插片杆方向延伸；所述插片杆件包括四根插片杆，分别连接在端板的上方和下方；或，所述插片杆件包括六根插片杆，分别设置在端板的上方、下方和中间。其中，所述上下排布的第一组花篮齿和第二组花篮齿，分别设置于位于所述硅片承载花篮同一侧的多根不同的插片杆上，或者，所述第一组花篮齿和第二组花篮齿设置于同一根插片杆上。其中，一侧的所述插片杆件上的第一组花篮齿的花篮齿与另一侧的所述插片杆件上的第一组花篮齿的花篮齿的数量和大小均相同，一侧的所述插片杆件上的第二组花篮齿的花篮齿与另一侧的所述插片杆件上的第二组花篮齿的花篮齿的数量和大小也均相同；一侧的所述插片杆件上的第一组花篮齿的花篮齿该在插片杆件上的位置与另一侧的插片杆件上的第一组花篮齿的花篮齿在该插片杆件上的位置也相同，一侧的所述插片杆件上的第二组花篮齿的花篮齿在该插片杆件上的位置与另一侧的所述插片杆件上的第二组花篮齿的花篮齿在该插片杆件上的位置也相同。其中，所述插片杆件上的第一组花篮齿的花篮齿与第二组花篮齿的花篮齿上平行于所述插片杆件的截面的面积均沿着远离所述插片杆件的方向逐渐减小。其中，所述第一组花篮齿的花篮齿与第二组花篮齿的花篮齿上平行于所述插片杆件的截面的形状均为圆形、椭圆形、半圆形、半椭圆形或多边形。其中，两个所述端板之间还设置有与两个所述端板均连接的承载杆，所述承载杆连接在靠近所述端板底部的位置。其中，两个所述端板的外侧均设置有与所述插片杆件对应的固定组件，所述固定组件将所述插片杆件固定于所述端板；两个所述端板之间还连接有拉杆，所述拉杆用于对承载花篮起支撑加固作用。本公开的实施包括以下技术效果：本公开提供的硅片承载花篮，通过在每侧的插片杆件上均设置具有呈上下排布的第一组花篮齿和第二组花篮齿，该第一组花篮齿和第二组花篮齿均包括多个自一个端板向另一端板方向依次间隔设置的花篮齿，由于上排的第一组花篮齿的花篮齿与下排第二组花篮齿的齿间隙位置对应，以使得相邻的花篮齿之间形成放置硅片的缝隙，从而可以实现稳定地承载硅片。同时，本公开中的承载花篮与现有的承载花篮相比，不同直线上、沿插片杆件的延伸方向上相邻的两个花篮齿之间的中心间距保持不变、且第二组花篮齿的花篮齿的位置与第一组花篮齿的齿间隙的位置相对应，从而使得第一组花篮齿或第二组花篮齿中相邻两个花篮齿之间的间距变为原来的2倍，有利于水流动扩散，进而避免花篮齿与承靠于该花篮齿的硅片之间积水，从而有效地解决了硅片在插片和清洗过程中相邻硅片之间粘连的问题，并能避免花篮齿之间出现水珠聚集的现象和水印不良的问题，且有利于硅片的烘干。附图说明图1为本公开的硅片承载花篮的结构示意图。图2为图1中A处的局部放大图。图3为本公开的插片杆件的一个角度的结构示意图。图4为本公开的插片杆件的另一个角度的结构示意图。图中，1-端板，2-插片杆件，3-第一组花篮齿，4-第二组花篮齿，5-花篮齿，6-齿间隙，7-承载杆，8-固定组件，9-拉杆，10-凹槽，21-第一插片杆，22-第二插片杆，23-第三插片杆，24-第四插片杆。具体实施方式这里将详细地对示例性实施例进行说明，其示例表示在附图中。下面的描述涉及附图时，除非另有表示，不同附图中的相同数字表示相同或相似的要素。以下示例性实施例中所描述的实施方式并不代表与本公开相一致的所有实施方式。相反，它们仅是与如所附权利要求书中所详述的、本公开的一些方面相一致的装置和方法的例子。如图1-4所示，本公开提供的一种硅片承载花篮，包括两个端板1和连接于两个端板1之间的插片杆件2，所述插片杆件2相对设置于所述硅片承载花篮的两侧。每侧的所述插片杆件2均具有呈上下排布的第一组花篮齿3和第二组花篮齿4，所述第一组花篮齿3和第二组花篮齿4均包括多个自一个端板1向另一端板1方向依次间隔设置的花篮齿5，相邻的两个花篮齿5之间具有齿间隙6。所述第二组花篮齿4的花篮齿5的位置与所述第一组花篮齿3的齿间隙6的位置相对应。本公开提供的硅片承载花篮，通过在每侧的插片杆件2上均设置具有呈上下排布的第一组花篮齿3和第二组花篮齿4，第一组花篮齿3和第二组花篮齿4沿图中的Z方向依次设置。第一组花篮齿3和第二组花篮齿4均包括多个自一个端板1向另一端板2方向，即，图中X方向依次间隔设置的花篮齿5。由于上排的第一组花篮齿3的花篮齿5与下排的第二组花篮齿4的齿间隙6位置对应，以使得Z方向上相邻的花篮齿5之间形成放置硅片的缝隙，从而可以实现稳定地承载硅片。同时，本公开中的承载花篮的与现有的承载花篮相比，Z方向上相邻的两个花篮齿5之间的中心间距保持不变，但第二组花篮齿4的花篮齿5的位置与第一组花篮齿3的花篮齿的齿间隙6的位置相对应，以使得X方向上的相邻两个花篮齿5之间的间距变为原来的2倍，有利于水流动扩散，进而避免花篮齿与承靠于该花篮齿的硅片之间积水，从而不仅有效地解决了硅片在插片和清洗过程中相邻硅片之间粘连的问题，并能避免花篮齿5之间出现水珠聚集的现象和水印不良的问题，且有利于硅片的烘干。在一些实施例中，如图2-4所示，在第一组花篮齿3中，相邻的两个花篮齿5之间的距离相同本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片承载花篮，包括两个端板和连接于两个端板之间的插片杆件，其特征在于，所述插片杆件相对设置于所述硅片承载花篮的两侧，每侧的所述插片杆件均具有呈上下排布的第一组花篮齿和第二组花篮齿，所述第一组花篮齿和第二组花篮齿均包括多个自一个端板向另一端板方向依次间隔设置的花篮齿，相邻的两个花篮齿之间具有齿间隙，所述第二组花篮齿的花篮齿的位置与所述第一组花篮齿的齿间隙的位置相对应。/n

【技术特征摘要】
1.一种硅片承载花篮，包括两个端板和连接于两个端板之间的插片杆件，其特征在于，所述插片杆件相对设置于所述硅片承载花篮的两侧，每侧的所述插片杆件均具有呈上下排布的第一组花篮齿和第二组花篮齿，所述第一组花篮齿和第二组花篮齿均包括多个自一个端板向另一端板方向依次间隔设置的花篮齿，相邻的两个花篮齿之间具有齿间隙，所述第二组花篮齿的花篮齿的位置与所述第一组花篮齿的齿间隙的位置相对应。


2.根据权利要求1所述的硅片承载花篮，其特征在于，所述第一组花篮齿和所述第二组花篮齿中，相邻的两个花篮齿之间的距离相同，所述第一组花篮齿的相邻的两个花篮齿之间的距离与所述第二组花篮齿的相邻的两个花篮齿之间的距离相同。


3.根据权利要求2所述的硅片承载花篮，其特征在于，所述第二组花篮齿的花篮齿设置于所述第一组花篮齿的齿间隙中心线所在的位置。


4.根据权利要求1-3中任一项所述的硅片承载花篮，其特征在于，所述插片杆件包括多根插片杆，所述花篮齿自一侧的插片杆向另一侧的插片杆方向延伸；所述插片杆件包括四根插片杆，分别连接在端板的上方和下方；或，所述插片杆件包括六根插片杆，分别设置在端板的上方、下方和中间。


5.根据权利要求4所述的硅片承载花篮，其特征在于，所述上下排布的第一组花篮齿和第二组花篮齿，分别设置于位于所述硅片承载花篮同一侧的多根不同的插片杆上，或者，所述第一组花篮齿和第二组花篮齿设置于同一根插片杆上。


6.根据权利要求1-3中任一项所...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏超锋，成路，李瑛，任新刚，王东旭，
申请(专利权)人：隆基绿能科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：陕西;61