下载硅片承载花篮的技术资料

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本公开提供一种硅片承载花篮,涉及硅片承载结构技术领域。包括两个端板和连接于两个端板之间的插片杆件,插片杆件相对设置于硅片承载花篮的两侧,每侧的插片杆件均具有呈上下排布的第一组花篮齿和第二组花篮齿,第一组花篮齿和第二组花篮齿均包括多个自一个端...
该专利属于隆基绿能科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过隆基绿能科技股份有限公司授权不得商用。

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