一种扩散石英舟制造技术

技术编号:24277538 阅读:64 留言:0更新日期:2020-05-23 15:35
本实用新型专利技术公开了一种扩散石英舟,其包括支撑件、卡接组件和承接件,支撑件的个数为至少两个,至少两个支撑件间隔设置,支撑件的长度方向与扩散气流的流向平行,卡接组件为多个,多个卡接组件沿支撑件的长度方向间隔设置,每个卡接组件包括两个间隔设置的卡接件,每个卡接件的两端分别连接在相邻设置的两个支撑件上,每个卡接件上均设有多个卡接槽,两个卡接件上的卡接槽一一对应设置。承接件为多个,多个承接件与多个卡接组件一一对应设置且位于卡接组件的下部,每个承接件位于同一个卡接组件内的两个卡接件之间,承接件上设有多个承接槽。该扩散石英舟能够较好地保证扩散的均匀程度,提升硅片的良品率,还能在增加承载量,提高产能。

A kind of diffusion stone boat

【技术实现步骤摘要】
一种扩散石英舟
本技术涉及光伏设备
,尤其涉及一种扩散石英舟。
技术介绍
扩散作为太阳能电池制造过程中重要一环,它的核心作用便是产生PN结。当形成PN结后,其空间电荷区中的自建电场便可将光生载流子分离开,使得电子和空穴在流动后不再回到原处,形成光生电流,实现光电转换。目前扩散的石英舟插片方向与进舟方向垂直,这样就会使得硅片的扩散面与气流方向是垂直的。在常压扩散下,在硅片的间距较小时气流在硅片之间容易出现流速紊乱,会导致两面扩散方阻差异较大。与此同时,硅片间距较小时,中心方阻会显著高于边缘方阻,使得扩散均匀性较差。目前,为了弥补均匀性较差的问题需要适当增加片间距,但增大片间距降低了石英舟的承载量,从而降低了产能。
技术实现思路
本技术的目的在于提出一种扩散石英舟,该扩散石英舟能够较好地保证扩散的均匀程度,提升硅片的良品率,还能增加承载量,提高产能。为实现上述技术效果,本技术的扩散石英舟的技术方案如下:一种扩散石英舟,包括:支撑件,所述支撑件的个数为至少两个,至少两个所述支撑件间隔设置,所述支撑件的长度方向与扩散气流的流向平行;卡接组件,所述卡接组件为多个,多个所述卡接组件沿所述支撑件的长度方向间隔设置,每个所述卡接组件包括两个沿所述支撑件的长度方向间隔设置的卡接件,每个所述卡接件的两端分别连接在相邻设置的两个所述支撑件上,每个所述卡接件上均设有多个卡接槽,两个所述卡接件上的所述卡接槽一一对应设置,每个所述卡接槽沿所述支撑件的长度方向延伸,且能够容纳两个硅片;承接件,所述承接件为多个,多个所述承接件与多个所述卡接组件一一对应设置且位于所述卡接组件的下方,每个所述承接件位于同一个所述卡接组件的两个所述卡接件之间,所述承接件上设有多个承接槽,每个所述承接槽沿所述支撑件的长度方向延伸且能够容纳两个所述硅片。在一些实施例中,所述卡接槽与所述承接槽在所述支撑件的长度方向上错开设置。在一些具体的实施例中,在所述支撑件的长度方向上,所述卡接槽的中心线与所述承接槽的中心线之间的距离为50um-100um。在一些实施例中,相邻两个所述卡接组件的靠近彼此设置的两个所述卡接件一体成型。在一些实施例中,每个所述卡接槽的宽度为500umm-600um。在一些实施例中,所述支撑件的高度为160um-200um。在一些实施例中,所述卡接件上设有沿其长度方向间隔分布的多个卡接齿,相邻两个所述卡接齿之间限定出所述卡接槽。在一些具体的实施例中,所述卡接齿沿所述支撑件的长度方向的尺寸为80um-100um。在一些实施例中,所述承接件上设有沿其长度方向间隔分布的多个承接齿,相邻两个所述承接齿之间限定出所述承接槽。在一些具体的实施例中,所述承接齿沿所述支撑件的长度方向的尺寸为80um-100um。本技术实施例的扩散石英舟,由于卡接槽和承载槽的延伸方向与扩散气流的流向平行设置,避免了硅片中心方阻大于边缘方阻的现象发生,从而保证了同一个硅片的扩散面上的扩散反应较为均匀;较好地避免了气流在放置在相邻卡接槽内的硅片之间出现紊流,当减少两个卡接槽之间的间距仍可保证扩散的均匀性,从而在不改变扩散石英舟整体尺寸的前提下提升其承载能力,提升了单管产能。本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出,部分将从下面的描述中变得明显,或通过本技术的实践了解到。附图说明图1是本技术具体实施方式提供的扩散石英舟的结构示意图。图2是本技术具体实施方式提供的扩散石英舟的局部结构示意图。图3是本技术具体实施方式提供的扩散石英舟与硅片配合示意图。图4是本技术具体实施方式提供的扩散石英舟与硅片的另一配合示意图。附图标记:1、支撑件;2、卡接组件;21、卡接件;211、卡接齿;2111、卡接槽;3、承接件;31、承接齿;311、承接槽;100、硅片。具体实施方式为使本技术解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚,下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案。在本技术的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术的限制。此外,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征,用于区别描述特征,无顺序之分,无轻重之分。在本技术的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上。在本技术的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。下面参考图1-图4描述本技术实施例的扩散石英舟的具体结构。如图1-图2所示,本技术实施例的扩散石英舟包括支撑件1、卡接组件2和承接件3,支撑件1的个数为至少两个,至少两个支撑件1间隔设置,支撑件1的长度方向与扩散气流的流向平行,卡接组件2为多个,多个卡接组件2沿支撑件1的长度方向间隔设置,每个卡接组件2包括两个沿支撑件的长度方向间隔设置的卡接件21,每个卡接件21的两端分别连接在相邻设置的两个支撑件1上,每个卡接件21上均设有多个卡接槽2111,两个卡接件21上的卡接槽2111一一对应设置,每个卡接槽2111沿支撑件1的长度方向延伸,且容纳两个硅片100。承接件3为多个,多个承接件3与多个卡接组件2一一对应设置且位于卡接组件2的下方,每个承接件3位于同一个卡接组件2的两个卡接件21之间,承接件3上设有多个承接槽311,每个所述承接槽311沿支撑件1的长度方向延伸,且能够容纳两个硅片100。首先,这里需要说明的是,在实际使用中,硅片100插片的方式一般有两种,一种是方形插片,一种是棱形插片。对于常压扩散,当硅片100与气流方向垂直时,由于气流量比较大,棱形插片上端容易出现位于粘片的情况导致方阻异常的现象。可以理解的是,在现有技术中,石英舟的长度方向为舟杆的长度方向,而舟片沿舟杆的长度方向间隔插入石英舟内。然后将石英舟放入扩散管道内后,扩散气流的流向与硅片100的扩散面是垂直的,这样就会出现扩散均匀性较差的现象。而在本技术的实施例中,扩散石英舟的长度方向为支撑件1的长度方向,而支撑件1的长度方向与卡接件21的长度方向是垂本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种扩散石英舟,其特征在于,包括:/n支撑件(1),所述支撑件(1)的个数为至少两个,至少两个所述支撑件(1)间隔设置,所述支撑件(1)的长度方向与扩散气流的流向平行;/n卡接组件(2),所述卡接组件(2)为多个,多个所述卡接组件(2)沿所述支撑件(1)的长度方向间隔设置,每个所述卡接组件(2)包括两个沿所述支撑件(1)的长度方向间隔设置的卡接件(21),每个所述卡接件(21)的两端分别连接在相邻设置的两个所述支撑件(1)上,每个所述卡接件(21)上均设有多个卡接槽(2111),两个所述卡接件(21)上的所述卡接槽(2111)一一对应设置,每个所述卡接槽(2111)沿所述支撑件(1)的长度方向延伸且能够容纳两个硅片(100);/n承接件(3),所述承接件(3)为多个,多个所述承接件(3)与多个所述卡接组件(2)一一对应设置且位于所述卡接组件(2)的下方,每个所述承接件(3)位于同一个所述卡接组件(2)的两个所述卡接件(21)之间,所述承接件(3)上设有多个承接槽(311),每个所述承接槽(311)沿所述支撑件(1)的长度方向延伸且能够容纳两个所述硅片(100)。/n

【技术特征摘要】
1.一种扩散石英舟,其特征在于,包括:
支撑件(1),所述支撑件(1)的个数为至少两个,至少两个所述支撑件(1)间隔设置,所述支撑件(1)的长度方向与扩散气流的流向平行;
卡接组件(2),所述卡接组件(2)为多个,多个所述卡接组件(2)沿所述支撑件(1)的长度方向间隔设置,每个所述卡接组件(2)包括两个沿所述支撑件(1)的长度方向间隔设置的卡接件(21),每个所述卡接件(21)的两端分别连接在相邻设置的两个所述支撑件(1)上,每个所述卡接件(21)上均设有多个卡接槽(2111),两个所述卡接件(21)上的所述卡接槽(2111)一一对应设置,每个所述卡接槽(2111)沿所述支撑件(1)的长度方向延伸且能够容纳两个硅片(100);
承接件(3),所述承接件(3)为多个,多个所述承接件(3)与多个所述卡接组件(2)一一对应设置且位于所述卡接组件(2)的下方,每个所述承接件(3)位于同一个所述卡接组件(2)的两个所述卡接件(21)之间,所述承接件(3)上设有多个承接槽(311),每个所述承接槽(311)沿所述支撑件(1)的长度方向延伸且能够容纳两个所述硅片(100)。


2.根据权利要求1所述的扩散石英舟,其特征在于,所述卡接槽(2111)与所述承接槽(311)在所述支撑件(1)的长度方向上错开设置。


3.根据权利要求2所述的扩散石英舟,其特征在于,...

【专利技术属性】
技术研发人员:李兵沈雯邓伟伟
申请(专利权)人:苏州阿特斯阳光电力科技有限公司阿特斯阳光电力集团有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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