基板收纳容器制造技术

本发明专利技术提供一种基板收纳容器，该基板收纳容器在将盖体安装于容器主体、将基板从支撑部举起并支撑时，能够有效地将来自基板按压部的按压力传递至基板接收部。基板收纳容器1具备：容器主体10，其在正面具有开口11，并且在内侧形成有支撑基板W的支撑部12；以及位于比支撑部12更靠近背面壁侧的基板接收部13；以及盖体20，其具有按压构件21，按压构件21形成有按压基板W的基板按压部210；其中，在以盖体20为正面进行观察时，基板接收部13以及基板按压部210位于从通过容器主体10的中心C的上下方向的中心线Z(Y)开始，在左右方向上的0mm以上80mm以下的范围。

Base plate storage container

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】基板收纳容器
本专利技术涉及一种收纳两片以上的基板的基板收纳容器。
技术介绍
基板收纳容器是一种将半导体晶片等的基板收纳于其内部空间，用于进行在仓库的保管、在半导体加工装置之间进行搬送、以及在工厂之间进行运输等。因此，基板收纳容器形成为保护所收纳的基板免受运输时的振动、冲击等。作为这样的基板收纳容器，已知的有在容器主体的正面具有开口，还具备用于封闭开口的盖体；并且，具有设置在容器主体的两侧面的用于支撑基板的支撑部以及基板接收部、设置于盖体的基板按压部；其中，在将盖体安装于容器主体时，将基板夹在基板按压部与基板接收部之间，从支撑部举起基板并进行支撑。(例如，参照专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利特开2004-304122号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的问题但是，在这些基板收纳容器中，沿上下方向引导基板的基板接收部被设置在容器主体的两侧面，由于来自设置于盖体的基板按压部的按压力斜向分散，因此，无法有效地传递至基板接收部，所以需要大的按压力。因此，本专利技术是鉴于以上课题而完成的，其目的在于提供一种当将盖体安装到容器主体、并从支撑部举起基板并支撑基板时，能够有效地将来自基板按压部的按压力传递至基板接收部的基板收纳容器。解决问题的技术手段(1)本专利技术所涉及的一个实施方式是一种基板收纳容器，其具备：容器主体，其在正面具有开口，并且在内侧形成有支撑基板的支撑部，以及与位于比所述支撑部更靠近背面壁侧的基板接收部；以及盖体，其具有按压构件，所述按压构件形成有按压所述基板的基板按压部；其中，在将所述盖体安装于所述容器主体时，所述基板收纳容器通过所述基板按压部和所述基板接收部从所述支撑部举起并支撑所述基板，并且，当从所述容器主体上取下所述盖体时，所述基板由所述支撑部支撑；在以所述盖体为正面进行观察时，所述基板接收部以及所述基板按压部位于从通过容器主体的中心的上下方向的中心线开始，在左右方向上的0mm以上80mm以下的范围；其中，将所述基板收纳于所述基板收纳容器中的状态下的所述基板的中心相对应的位置定义为所述容器主体的中心。(2)本专利技术所涉及的另一个实施方式是一种基板收纳容器，其具备：容器主体，其在正面具有开口，并且在内侧形成有支撑基板的支撑部，以及与位于比所述支撑部更靠近背面壁侧的基板接收部；以及盖体，其具有按压构件，所述按压构件形成有按压所述基板的基板按压部；其中，在将所述盖体安装于所述容器主体时，所述基板收纳容器通过所述基板按压部和所述基板接收部从所述支撑部举起并支撑所述基板，并且，当从所述容器主体上取下所述盖体时，所述基板由所述支撑部支撑；所述基板接收部以及所述基板按压部位于：相对于作用在与所述基板的接触部上的前后方向的按压力，在所述接触部中的法线方向上的反作用力成分大于在所述接触部中的切线方向的反作用力成分；其中，将盖体和容器主体的背面壁的连接方向定义为前后方向。(3)如上述(1)或者(2)的实施方式中所述的基板收纳容器，其中，在以所述盖体为正面进行观察时，所述基板按压部可以位于从所述容器主体的中心开始，在左右方向上的0°以上30°以下的范围。(4)如上述(1)至(3)的任一实施方式中所述的基板收纳容器，其中，在以所述背面壁为正面进行观察时，所述基板接收部可以位于自所述容器主体的中心开始，在左右方向上的20°以上30°以下的范围。(5)如上述(1)至(4)的任一实施方式中所述的基板收纳容器，其中，所述基板的直径可以为300mm。专利技术效果根据本专利技术，可提供一种在将盖体安装于容器主体，将基板从支撑部举起并支撑时，能够有效地将来自基板按压部的按压力传递至基板接收部的基板收纳容器。附图说明图1是表示第一实施方式的基板收纳容器的分解概略立体图。图2A是表示将盖体安装到基板收纳容器时的附图，(a)为主视图，(b)为俯视图，(c)为A-A剖视图。图2B是表示将盖体安装到基板收纳容器时的附图，(d)为B-B剖视图，(e)为G部分的放大剖视图，(f)为H部分的放大剖视图，(g)为I部分的放大剖视图。图3A是表示取下盖体时的基板收纳容器的附图，(a)为主视图，(b)为俯视图，(c)为E-E剖视图。图3B是表示取下盖体时的基板收纳容器的附图，(d)为F-F剖视图，(e)为J部分的放大剖视图，(f)为K部分的放大剖视图。图4是表示基板收纳容器中的基板的支撑状态的水平剖视图。图5是表示第二实施方式的基板收纳容器中的基板的支撑状态的水平剖视图。具体实施方式以下，参照附图对本专利技术的实施方式进行详细说明。另外，在本说明书的实施方式中，在整个内容中，对相同的部件标注相同的附图标记。(第一实施方式)首先，对基板收纳容器1进行说明。图1是表示基板收纳容器1的分解概略立体图。图2A是表示将盖体20安装到基板收纳容器1时的附图，(a)为主视图，(b)为俯视图，(c)为A-A剖视图。图2B是表示将盖体20安装到基板收纳容器1时的附图，(d)为B-B剖视图，(e)为G部分的放大剖视图，(f)为H部分的放大剖视图，(g)为I部分的放大剖视图。此外，在图1中，从盖体20侧观察沿水平方向收纳有基板W的表面的基板收纳容器1时，将左右方向作为X轴方向，上下方向作为Z轴方向，将连接盖体20与背面壁10b的前后方向作为Y轴方向。在以下附图中，根据需要示出了X轴，Y轴和Z轴。图1所示的基板收纳容器1具备收纳两片以上的基板W，其具备容器主体10以及盖体20。收纳在基板收纳容器1中的基板W是直径为300mm的半导体晶片或掩模玻璃等，但并不局限于此。容器主体10为包含形成正面的开口11的开口框10a、背面壁10b、右侧壁10c、左侧壁10d、顶面壁10e、以及底面壁10f的箱状的容器，是所谓的前开式箱型的容器。在容器主体10形成有用于支撑基板W的一对支撑部12，以及一对基板接收部13。此外，尽管未在图1中示出，但是一对中的另一个支撑部12以及基板接收部13形成在对称位置。支撑部12对向形成于右侧壁10c和左侧壁10d的内侧的两个位置(参照图2A的(c))。另外，该支撑部12由所谓的槽齿构成，并且由在高度方向上所形成的两个以上的凹槽构成(参照图2B的(d))。而且，基板W被插入每个凹槽中从而被收纳。基板接收部13并排形成于背面壁10b的两个位置处(参照图2A的(c))，且比支撑部12更靠近背面壁10b侧(参照图2B的(d))。在该基板接收部13也形成有两个以上的凹槽，该凹槽的数量以与形成于支撑部12的凹槽的数量相对应。另一方面，盖体20封闭容器主体10的开口11，从而形成基板收纳容器1的内部空间。另外，在容器主体10与盖体20之间配置有未图示的的密封垫圈。在将盖体20安装于容器主体10上时，密封垫圈能够确保基板收纳容器1的气密性，并且可以减少灰尘，湿气等从外部侵入基板收纳容器1中。盖体20具有按压构件21，在该本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板收纳容器，其特征在于具备：/n容器主体，其在正面具有开口，并且在内侧形成有支撑基板的支撑部，以及与位于比所述支撑部更靠近背面壁侧的基板接收部；以及/n盖体，其具有按压构件，所述按压构件形成有按压所述基板的基板按压部；/n其中，在将所述盖体安装于所述容器主体时，所述基板收纳容器通过所述基板按压部和所述基板接收部从所述支撑部举起并支撑所述基板，并且，当从所述容器主体上取下所述盖体时，所述基板由所述支撑部支撑；/n在以所述盖体为正面进行观察时，所述基板接收部以及所述基板按压部位于从通过容器主体的中心的上下方向的中心线开始，在左右方向上的0mm以上80mm以下的范围；其中，将所述基板收纳于所述基板收纳容器中的状态下的所述基板的中心相对应的位置定义为所述容器主体的中心。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171116 JP 2017-2211261.一种基板收纳容器，其特征在于具备：
容器主体，其在正面具有开口，并且在内侧形成有支撑基板的支撑部，以及与位于比所述支撑部更靠近背面壁侧的基板接收部；以及
盖体，其具有按压构件，所述按压构件形成有按压所述基板的基板按压部；
其中，在将所述盖体安装于所述容器主体时，所述基板收纳容器通过所述基板按压部和所述基板接收部从所述支撑部举起并支撑所述基板，并且，当从所述容器主体上取下所述盖体时，所述基板由所述支撑部支撑；
在以所述盖体为正面进行观察时，所述基板接收部以及所述基板按压部位于从通过容器主体的中心的上下方向的中心线开始，在左右方向上的0mm以上80mm以下的范围；其中，将所述基板收纳于所述基板收纳容器中的状态下的所述基板的中心相对应的位置定义为所述容器主体的中心。


2.一种基板收纳容器，其特征在于具备：
容器主体，其在正面具有开口，并且在内侧形成有支撑基板的支撑部，以及与位于比所述支撑部更靠近背面壁侧的基板接收部；以及
盖体，其具有按压构件，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：大贯和正，三村博，戸田顺也，须田贵志，
申请(专利权)人：信越聚合物株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP