【技术实现步骤摘要】
热处理装置和热处理方法
本专利技术涉及热处理装置和热处理方法。
技术介绍
已知一种技术，其中在对多个基片一并进行热处理的竖式热处理装置中，具有设置于处理容器的周围的加热装置以及对处理容器与加热器之间吹出冷却气体的冷却装置(例如参照专利文献1、2)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2002-75890号公报专利文献2：日本特开平7-263369号公报
技术实现思路
专利技术要解决的技术问题本专利技术提供一种在从低温至高温的温度控制性提高的技术。用于解决技术问题的技术方案本专利技术的一个方式的热处理装置包括：收纳基片的处理容器；设置于上述处理容器的周围的加热装置；对上述处理容器与上述加热装置之间的空间吹出冷却流体的多个吹出装置；和开闭件，其同时开闭上述多个吹出装置的至少2个以上，与各上述吹出装置对应地形成有隙缝。专利技术效果依照本专利技术，从低温至高温的期间温度控制性提高。附图说明图1是表示热处理装...
【技术保护点】
1.一种热处理装置，其特征在于，包括：/n收纳基片的处理容器；/n设置于所述处理容器的周围的加热装置；/n对所述处理容器与所述加热装置之间的空间吹出冷却流体的多个吹出装置；和/n开闭件，其同时开闭所述多个吹出装置的至少2个以上，与各所述吹出装置对应地形成有隙缝。/n
【技术特征摘要】
20181127 JP 2018-2216141.一种热处理装置，其特征在于，包括：
收纳基片的处理容器；
设置于所述处理容器的周围的加热装置；
对所述处理容器与所述加热装置之间的空间吹出冷却流体的多个吹出装置；和
开闭件，其同时开闭所述多个吹出装置的至少2个以上，与各所述吹出装置对应地形成有隙缝。
2.如权利要求1所述的热处理装置，其特征在于：
还包括对所述多个吹出装置供给冷却流体的流体流路，
所述开闭件设置于所述流体流路。
3.如权利要求2所述的热处理装置，其特征在于：
所述吹出装置包括：
与所述流体流路连通的支流部；和
吹出孔，其贯通所述加热装置，一端与所述支流部连通，另一端与所述空间连通，
在所述支流部设置有蝶阀。
4.如权利要求2或者3所述的热处理装置，其特征在于：
包括送风机，其设置于所述流体流路，对所述多个吹出装置送入所述冷却流体。
5.如权利要求2至4中任一项所述的热处理装置，其特征在于，包括：
排热部，其一端在比所述多个吹出装置靠上方处与所述空间连通，另一端与所述流体流路连通，将所述空间内的冷却流体排出；和
热交换器，其设置于所述流体流路，将由所述排热部排出的冷却流体冷却。
6.如权利要求1至5中任一项所述的热处理装置，其特征在于，：
包括驱动部，其使所述开闭件在覆盖所述多个吹出装置的关闭位置与离开所述多个吹出装置的...
【专利技术属性】
技术研发人员：山口达也，菊池康晃，吉井弘治，中嶋亘，马场则夫，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。