热处理装置和热处理方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供热处理装置和热处理方法。本发明专利技术的一个方式的热处理装置包括：收纳基片的处理容器；设置于上述处理容器的周围的加热装置；对上述处理容器与上述加热装置之间的空间吹出冷却流体的多个吹出装置；和开闭件，其同时开闭上述多个吹出装置的至少2个以上，与各上述吹出装置对应地形成有隙缝。本发明专利技术中，从低温至高温的温度控制性提高。

Heat treatment device and method

【技术实现步骤摘要】
热处理装置和热处理方法
本专利技术涉及热处理装置和热处理方法。
技术介绍
已知一种技术，其中在对多个基片一并进行热处理的竖式热处理装置中，具有设置于处理容器的周围的加热装置以及对处理容器与加热器之间吹出冷却气体的冷却装置(例如参照专利文献1、2)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2002-75890号公报专利文献2：日本特开平7-263369号公报
技术实现思路
专利技术要解决的技术问题本专利技术提供一种在从低温至高温的温度控制性提高的技术。用于解决技术问题的技术方案本专利技术的一个方式的热处理装置包括：收纳基片的处理容器；设置于上述处理容器的周围的加热装置；对上述处理容器与上述加热装置之间的空间吹出冷却流体的多个吹出装置；和开闭件，其同时开闭上述多个吹出装置的至少2个以上，与各上述吹出装置对应地形成有隙缝。专利技术效果依照本专利技术，从低温至高温的期间温度控制性提高。附图说明图1是表示热处理装置的构成例的概略图(1)。图2是表示热处理装置的构成例的概略图(2)。图3是图1的热处理装置中的支流部的入口的说明图。图4是图1的热处理装置中的开闭组合件的说明图。图5是表示用开闭件覆盖着支流部的入口的状态的图。图6是表示送风机的转速与风量的关系的图。图7是表示热处理装置的动作的一例的图。图8是表示实验例1的温度特性和加热器输出特性的图。r>图9是表示实验例2的温度特性和加热器输出特性的图。图10是表示实验例3的温度特性和加热器输出特性的图。图11是表示实验例4的温度特性和加热器输出特性的图。图12是表示实验例5的温度特性和加热器输出特性的图。附图标记说明1热处理装置10处理容器20加热装置30吹出装置31支流部32吹出孔33蝶阀40流体流路42热交换器43送风机50开闭组合件51开闭件51a隙缝53驱动部60排热部70温度检测装置80控制部A空间。具体实施方式以下，参照附图，对本专利技术的非限定性的例示的实施方式进行说明。在所有附图中，对相同或相应的部件或零件，标注相同或相应的附图标记，省略重复的说明。(热处理装置)对热处理装置的构成例进行说明。图1和图2是表示热处理装置的构成例的概略图。如图1所示，热处理装置1包括处理容器10、加热装置20、吹出装置30、流体流路40、开闭组合件50、排热部60、温度检测装置70和控制部80。处理容器10是竖长的，收纳作为基片的半导体晶片(以下称为“晶片”。)。晶片例如以在高度方向具有规定间隔的状态下被保持于晶舟的状态，被收纳在处理容器10内。处理容器10例如具有内管和外管以同轴状配置的双重管结构，该内管是下端部开放的有顶的圆筒形状的内管，该外管是下端部开放且覆盖内管的外侧的有顶的圆筒形状的外管。但是，处理容器10也可以为单重管结构。处理容器10由石英等耐热性材料形成。处理容器10用包含压力调节阀、真空泵等的排气装置，将其内部减压至规定压力。此外，在处理容器10内，由包含气体导入配管、开闭阀、流量控制器等的气体供给部，导入成膜气体、蚀刻气体等处理气体、和非活性气体等吹扫气体。加热装置20设置于处理容器10的周围，加热处理容器10内的晶片。加热装置20包括隔热件21和发热体22。隔热件21具有圆筒形状，以二氧化硅和氧化铝为主成分而形成。其中，隔热件21的形状和材料没有限定。发热体22具有线形形状，以螺旋状或蛇行状设置于隔热件21的内侧壁。发热体22优选在处理容器10的高度方向上以被分割为多个区域的方式设置。由此，对多个区域的每一个能够控制温度。此外，为了保持隔热件21的形状并加强隔热件21，可以用不锈钢等金属制的外皮覆盖隔热件21的外周。另外，为了抑制加热装置20对外部的热影响，可以用水冷套覆盖外皮的外周。吹出装置30对处理容器10与加热装置20之间的空间A吹出冷却流体(例如空气)。吹出装置30沿处理容器10的长度方向设置有多个(图示的例子中为6个)。吹出装置30的个数没有限定，但是在发热体22被分割为多个区域的情况下，优选吹出装置30与多个区域对应地形成。例如，在发热体22被分割为6个区域的情况下，优选支流部31与发热体22的区域的数量对应地设置有6个。吹出装置30包括支流部31、吹出孔32和蝶阀33。支流部31是与后述的流体流路40连通的管道。在支流部31的入口31a的周围，如图3所示，设置有由橡胶等形成的密封部件31b。此外，图3是图1的热处理装置1中的支流部31的入口31a的说明图，是从设置开闭组合件50的一侧观察支流部31时的图。吹出孔32贯通加热装置20的隔热件21，一端与支流部31连通，另一端与空间A连通。吹出孔32向处理容器10在大致水平方向吹出冷却流体。对1个支流部31形成了1个吹出孔32。但是，也可以为对1个支流部31形成2个以上的吹出孔32。在多个支流部31分别设置有蝶阀33。蝶阀33通过改变阀体相对于支流部31内的冷却流体的流动方向的角度，来控制在支流部31内流动的冷却流体的流量。蝶阀33例如是具有使阀体旋转的杆或柄的手动式的。流体流路40对多个吹出装置30供给冷却流体。流体流路40的上游侧与后述的排热部60连通，下游侧与多个吹出装置30连通。在流体流路40从上游侧按如下顺序设置有开闭阀41、热交换器42、送风机43、缓冲空间44。开闭弁41开闭流体流路40。热交换器42将由排热部60排出的冷却流体冷却。送风机43将由热交换器42冷却的冷却流体送入缓冲空间44。缓冲空间44与多个吹出装置30连通，将由送风机43送入的冷却流体分流到多个吹出装置30。开闭组合件50同时开闭多个吹出装置30。开闭组合件50包括多个开闭件51、连结部52和驱动部53。开闭件51设置于流体流路40的缓冲空间44。各开闭件51与多个支流部31分别对应地设置。各开闭件51由能够覆盖支流部31的入口31a的大小的板状部件形成。如图4所示，在各开闭件51形成有矩形形状的隙缝51a。此外，图4是图1的热处理装置1中的开闭组合件50的说明图，是从吹出装置30一侧观察开闭组合件50时的图。连结部52连结并支承多个开闭件51。驱动部53与连结部52连结。驱动部53通过使连结部52移动，来使开闭件51在覆盖多个支流部31的入口31a的关闭位置(参照图1)和离开多个支流部31的入口31a的打开位置(参照图2)之间移动。如图5所示，在关闭位置，开闭件51的外周部与密封部件31b紧贴，隙缝51a与支流部31的入口31a重合。由此，冷却流体经由隙缝51a流入支流部31。此外，图5是表示用开闭件51覆盖支流部31的入口31a的状态的图，是从驱动部53侧观察开闭件本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种热处理装置，其特征在于，包括：/n收纳基片的处理容器；/n设置于所述处理容器的周围的加热装置；/n对所述处理容器与所述加热装置之间的空间吹出冷却流体的多个吹出装置；和/n开闭件，其同时开闭所述多个吹出装置的至少2个以上，与各所述吹出装置对应地形成有隙缝。/n

【技术特征摘要】
20181127 JP 2018-2216141.一种热处理装置，其特征在于，包括：
收纳基片的处理容器；
设置于所述处理容器的周围的加热装置；
对所述处理容器与所述加热装置之间的空间吹出冷却流体的多个吹出装置；和
开闭件，其同时开闭所述多个吹出装置的至少2个以上，与各所述吹出装置对应地形成有隙缝。


2.如权利要求1所述的热处理装置，其特征在于：
还包括对所述多个吹出装置供给冷却流体的流体流路，
所述开闭件设置于所述流体流路。


3.如权利要求2所述的热处理装置，其特征在于：
所述吹出装置包括：
与所述流体流路连通的支流部；和
吹出孔，其贯通所述加热装置，一端与所述支流部连通，另一端与所述空间连通，
在所述支流部设置有蝶阀。


4.如权利要求2或者3所述的热处理装置，其特征在于：
包括送风机，其设置于所述流体流路，对所述多个吹出装置送入所述冷却流体。


5.如权利要求2至4中任一项所述的热处理装置，其特征在于，包括：
排热部，其一端在比所述多个吹出装置靠上方处与所述空间连通，另一端与所述流体流路连通，将所述空间内的冷却流体排出；和
热交换器，其设置于所述流体流路，将由所述排热部排出的冷却流体冷却。


6.如权利要求1至5中任一项所述的热处理装置，其特征在于，：
包括驱动部，其使所述开闭件在覆盖所述多个吹出装置的关闭位置与离开所述多个吹出装置的...

【专利技术属性】
技术研发人员：山口达也，菊池康晃，吉井弘治，中嶋亘，马场则夫，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP